基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法

2023-10-10 13:10:59 2

基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法
【專利摘要】本發明是有關於一種防止基板在傳送移載時落下或碎裂發生的基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法。該基板分斷裝置包含：第1傳送部及第2傳送部，沿基板的搬送方向即第1方向隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態下卷繞於多個輥子而進行旋轉的帶部；刻劃單元，設置於該間隔；以及跳動輥子單元，在第1方向，設置在上遊側第2傳送部與下遊側第2傳送部之間，至少具備第1輥子與第2輥子；該第1輥子位於該第2傳送部的帶部外側，且該第2輥子位於該第2傳送部的帶部內側；該第1輥子及該第2輥子，在與該第1方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動。本發明還提供一種基板分斷裝置的基板搬送方法。
【專利說明】基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法
[0001] 本申請是申請號為201310116487. 5的名稱為"基板分斷裝置及基板分斷裝置的 基板搬送方法"的發明專利申請的分案申請，原申請的申請日是2013年04月03日。

【技術領域】
[0002] 本發明有關於對包含使用於液晶顯示裝置等顯示面板的玻璃基板等母板的各種 材料的母板進行分斷、搬送的基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法，更有關於在 對已刻劃、分斷的脆性材料基板進行搬送至下一階段時，能夠對基板在不造成損傷、良好的 狀態下進行搬送的基板分斷裝置及基板搬送方法。

【背景技術】
[0003] -般而言，液晶顯示裝置等顯示面板，通常使用脆性材料基板即玻璃基板形成。液 晶顯示裝置，藉由將一對玻璃基板隔有適當的間隔而接合，且在該間隔內封入液晶而成為 顯示面板。在製造如此的顯示面板時，是藉由對已接合母玻璃基板的接合母基板進行分斷， 而進行從接合母基板製作成多個顯示面板的加工。用於分斷如此的接合母基板的基板分斷 裝置，揭示於韓國公開特許公報第2006-0125915號（以下，稱為專利文獻1)。
[0004] 圖1，概略地表示揭示於專利文獻1的圖32的基板分斷裝置的主要構成的立體圖。 參照圖1，基板分斷裝置200具備定位單元部220、刻劃單元部240、裂斷傳送（conveyor)部 260、蒸氣（steam)裂斷單元部280、面板反轉單元部320及面板端子分離部340。
[0005] 在將配置有定位單元部220側設定為基板搬入側、將配置有面板端子分離部340 側設定為基板搬出側時，基板在由基板搬入側的定位單元部220供給後，一邊依序往刻劃 單元部240、裂斷傳送部260、蒸氣裂斷單元部280、基板搬送單元部300、面板反轉單元部 320及面板端子分離部340搬送，一邊進行基板分斷作業，之後往基板搬出側搬送。
[0006] 亦即，由於設置於設置臺230上方的定位單元部220供給的基板，載置於形成在定 位單元部220的多個基板支持單元（未圖示）上，在將基板的位置定位於設置於基板支持 單元的帶部（belt)(未圖示）上後，藉由帶部的旋轉動作而往下一階段即刻劃單元部240 搬送。
[0007] 另一方面，刻劃單元部240,具有在設置臺250上方沿X方向設置的分斷裝置導引 體242,以及將該分斷裝置導引體242夾於其間並沿Y方向配置的第1基板支持單元部241A 及第2基板支持單元部241B。此外，第1基板支持單元部241A的第1基板支持單元244A 與第2基板支持單元部241B的第2基板支持單元244B，分別相對於構架（frame) 243A及構 架243B平行地配置。
[0008] 在此情形，從定位單元部220往刻劃單元部240搬送的基板，載置於第1基板支持 單元部241A的第1基板支持單元244A，且藉由夾器（clamp)裝置251而夾持。之後，一旦 使設置於第1基板支持單元244A的帶部旋轉，同時使夾器裝置251沿Y方向移動，藉此使 基板通過分斷裝置導引體242而刻劃，且刻劃後的基板往第2基板支持單元部241B的第2 基板支持單元244B搬送。
[0009] 已往第2基板支持單元244B搬送的基板，藉由設置於第2基板支持單元244B的 帶部旋轉，往與第2基板支持單元244B的帶部分離而設置的裂斷傳送部260的帶部261搬 送，之後藉由蒸氣裂斷單元部280使基板完全地分斷，且經過基板搬送單元部300、面板反 轉單元部320及面板端子分離部340,藉由機器人等往基板搬出側搬送。
[0010] 此外，一般而言，已完成刻劃作業且往第2基板支持單元244B的帶部上搬送的基 板，藉由第2基板支持單元244B的帶部與裂斷傳送部260的帶部261的旋轉而往裂斷傳送 部260搬送。已完成往裂斷傳送部260搬送的基板，在裂斷傳送部260的帶部261的旋轉 已停止的狀態，藉由蒸氣裂斷單元280而裂斷後，藉由拾起（pick-up)機器人等拾起，且往 基板搬送單元部300排出。此外，即使在裂斷傳送部260的帶部261的旋轉已停止的狀態， 為了基板的刻劃，構成刻劃單元部240的第1基板支持單元244A及第2基板支持單元244B 的帶部仍以持續旋轉的方式控制。
[0011] 專利文獻1 :韓國公開專利公報第2006-0125915號。
[0012] 但是，在如此般的現有習知的基板分斷裝置中，已刻劃的基板從刻劃單元部240 往裂斷傳送部260搬送時，更具體而言，從第2基板支持單元244B往裂斷傳送部260搬送 時，由於在第2基板支持單元244B的帶部與裂斷傳送部260的帶部261之間進行帶部的移 載，使得在第2基板支持單元244B與裂斷傳送部260之間端材落下、或基板破裂的玻璃碎 屑等產生。關於如此般的帶部移載的問題點，參照圖2更具體地進行說明。
[0013] 圖2概略地表示在現有習知的基板分斷裝置中，將基板從刻劃單元部往拾起傳送 部搬送過程的示意圖。在圖2中，符號100表示對由基板搬入側搬送的基板進行接受、定位 及/或旋轉的供材部，符號110與120分別表示上遊側刻劃部及下遊側刻劃部，而符號130 表示對已分斷的基板藉由機器人等進行拾起而排出的拾起傳送部。
[0014] 參照圖2,在現有習知的基板分斷裝置中，被把持於基板把持機構114的基板，一 邊往返移動於上遊側刻劃部110與下遊側刻劃部120之間，一邊藉由設置於刻劃梁116的 刻劃頭118而刻劃。然後，載置於下遊側刻劃部120的傳送帶134上的完成刻劃的基板 102a，往拾起傳送部130的傳送帶135搬送。
[0015] 但是，由於在下遊側刻劃部120的傳送帶134與拾起傳送部130的傳送帶135之 間，存在傳送移載部，因此在基板102a往拾起傳送部135上的基板102b的位置搬送時，使 得從已刻劃的基板102a落下端材。此外，基板102a從下遊側刻劃部120往拾起傳送部130 上移載時，使得基板l〇2a產生上下起伏，藉此導致基板102a的已刻劃部分彼此相互碰撞而 產生基板的一部分破裂的玻璃碎屑。即使例如將下遊側刻劃部120及拾起傳送部130的與 地面的高度設計為相等，實際上，下遊側刻劃部120與拾起傳送部130的高度仍有些微地差 異，或者任一方傾斜地設置，因此使得玻璃碎屑產生。尤其是，最近在處理薄型化基板的情 形較多，如此般的問題更為明顯。


【發明內容】

[0016] 本發明的目的在於提供一種可防止因傳送裝置的移載而導致端材落下或基板碎 裂的問題，且可將已刻劃基板不造成損傷地搬送至下一階段的基板分斷裝置及基板搬送方 法。
[0017] 本發明的目的及解決其技術問題是採用以下技術方案來實現的。本發明提供一種 基板分斷裝置，包含：第1傳送部及第2傳送部，在設置臺上，沿基板的搬送方向即第1方向 相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態下卷繞於多個輥子（roller)而進行旋 轉的帶部；刻劃單元，設置於該第1傳送部與第2傳送部之間並對該基板進行刻劃；以及跳 動輥子（dancer-roller)單元，在該第1方向，設置在位於該第2傳送部的上遊側的上遊側 第2傳送部與位於下遊側的下遊側第2傳送部之間，且至少具備第1輥子及第2輥子；該第 1輥子位於該第2傳送部的帶部外側；該第2輥子位於該第2傳送部的帶部內側；該第1輥 子及該第2輥子，在與該第1方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動，且形 成為一體的該上遊側第2傳送部與該下遊側第2傳送部，可成為互為不同的動作狀態。
[0018] 本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。
[0019] 較佳的，前述的基板分斷裝置，其中該第1輥子及第2輥子在該第2方向相互地往 相反方向移動時，該第1輥子的移動距離與第2輥子的移動距離相同。
[0020] 較佳的，前述的基板分斷裝置，其中該第1輥子及第2輥子的至少一者，一邊維持 該第2傳送部的帶部的張力，一邊與該帶部接觸。
[0021] 較佳的，前述的基板分斷裝置，其中該第1輥子及第2輥子，在夾著與齒輪驅動馬 達連結的小齒輪而相互地對向配置的狀態下，分別與嚙合於該小齒輪的第1齒條及第2齒 條結合。
[0022] 較佳的，前述的基板分斷裝置，其中在該多個輥子中，包含第3輥子，且該第3輥子 卷繞有該下遊側第2傳送部的帶部，且該第3輥子連結帶部驅動馬達。
[0023] 較佳的，前述的基板分斷裝置，其中在該跳動輥子單元中，設置有使該上遊側第2 傳送部的帶部的旋轉停止的第1制動器（stopper)，以及使該下遊側第2傳送部的帶部的旋 轉停止的第2制動器。
[0024] 本發明的目的及解決其技術問題還採用以下技術方案來實現的。本發明還提供一 種基板搬送方法，在包含具備在設置臺上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配 置且在載置該基板的狀態下卷繞於多個輥子而進行旋轉的帶部的第1傳送部及第2傳送 部，以及設置於該第1傳送部與該第2傳送部之間並對該基板進行刻劃的刻劃單元的基板 分斷裝置中，將載置於該第2傳送部的帶部上的基板往該第1方向進行搬送，其中在該基板 分斷裝置中，在該第1方向，在位於該第2傳送部的上遊側的上遊側第2傳送部與位於下遊 側的下遊側第2傳送部之間，具備在與該第1方向交叉的第2方向可相互地往相反方向移 動的至少具有第1輥子與第2輥子的跳動輥子單元，且在使該第1輥子位於該第2傳送部 的帶部外側，且使該第2輥子位於該第2傳送部的帶部內側的狀態下，使該第1輥子與第2 輥子相互地往相反方向移動，藉此使形成為一體的該上遊側第2傳送部與下遊側第2傳送 部相互地以不同的方式動作。
[0025] 本發明的目的及解決其技術問題還可採用以下技術措施進一步實現。
[0026] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中藉由使該第1輥子與第2輥子往返移動，在 使下遊側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使上遊側第2傳送部的帶部往順時針方向或 逆時針方向旋轉，且對載置於該上遊側第2傳送部的帶部上的基板進行刻劃；在該進行 刻劃的階段，對置於停止狀態的下遊側第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板進行卸載 (unload);藉由一邊使卷繞有該下遊側第2傳送部的帶部的第3輥子旋轉，一邊使該第1輥 子及第2輥子移動，在使上遊側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使該下遊側第2傳送部的 帶部旋轉，對留置於該下遊側第2傳送部的帶部上的端材進行卸載；亦在該端材卸載後，使 該第3輥子持續旋轉，使載置於該上遊側第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板往該下遊 側第2傳送部的帶部上進行搬送。
[0027] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中該第3輥子連結帶部驅動馬達，且在對該基板 進行刻劃的階段，使該帶部驅動馬達的動作停止。
[0028] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中在對該端材進行卸載的階段，使該帶部驅動馬 達動作。
[0029] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中在該跳動輥子單元，設置使該上遊側第2傳送 部的帶部的旋轉停止的第1制動器，以及使該下遊側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第2 制動器，且在對該基板進行刻劃的階段，使該第2制動器動作。
[0030] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中在對該端材進行卸載的階段，使該第1制動器 動作。
[0031] 較佳的，前述的基板搬送方法，其中已刻劃的基板在往該下遊側第2傳送部的帶 部搬送的階段，使該第1制動器及第2制動器的動作完全解除。
[0032] 藉由上述技術方案，本發明基板分斷裝置及基板搬送方法至少具有下列優點及有 益效果：根據本發明，藉由在形成為一體的第2傳送部的上遊側第2傳送部與下遊側第2傳 送部之間具備跳動輥子單元，可以不具有現有習知的存在於下遊側刻劃部與拾起傳送部之 間的傳送移載部的方式，將基板從上遊側第2傳送部往下遊側第2傳送部進行搬送。如此， 可防止端材的落下或玻璃碎屑等的產生。此外，亦可防止因傳送移載部而產生基板表面上 的傷痕或損傷。此外，根據本發明，可使上遊側第2傳送部與下遊側第2傳送部相互地以不 同的方式動作，因此即使在為了對下遊側第2傳送部上的基板進行拾起而使下遊側第2傳 送部停止的狀態下，亦可於上遊側第2傳送部對基板的刻劃作業持續進行。因此，可提高基 板分斷裝置的整體的處理效率。
[0033] 上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段， 而可依照說明書的內容予以實施，並且為了讓本發明的上述和其他目的、特徵和優點能夠 更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，並配合附圖，詳細說明如下。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0034] 圖1 :概略地表示現有習知的基板分斷裝置的主要構成的立體圖。
[0035] 圖2 :概略地表示在現有習知的基板分斷裝置中，將已刻劃的基板往拾起傳送部 搬送的示意圖。
[0036] 圖3 :概略地表示本發明實施例的基板分斷裝置的主要構成的側視圖。
[0037] 圖4(a)至圖4(d):概略地表示本發明實施例的基板分斷裝置的基板搬送過程的 示意圖。
[0038] 圖5 :本發明實施例的設置有跳動輥子單元的基板分斷裝置的部分立體圖。
[0039] 圖6 :本發明實施例的跳動輥子單元的立體圖。
[0040] 圖7 :本發明實施例的跳動輥子單元的側視圖。
[0041] 圖8 :表示在本發明實施例的跳動輥子單元中，第1輥子下降且第2輥子上升的跳 動棍子單元的側剖面圖。
[0042] 圖9 :表示在本發明實施例的跳動輥子單元中，第1輥子上升且第2輥子下降的跳 動棍子單元的側剖面圖。
[0043]【主要元件符號說明】
[0044] 2、2a:基板 10:第1傳送部
[0045] 14:夾頭梁 16:夾頭
[0046] 18:帶部 20:第2傳送部
[0047] 21:輥子 21a:第3輥子
[0048] 22:上遊側第2傳送部（刻劃後傳送部）
[0049] 22a:刻劃後傳送構架23:跳動輥子單元
[0050] 23a:第1輥子 23b:第2輥子
[0051] 24:下遊側第2傳送部（拾起傳送部）
[0052] 24a:拾起傳送構架 25a:拾起X軸機器人
[0053] 25b:拾起Y軸機器人 25c:拾起Z軸機器人
[0054] 27:拾起手 28:帶部
[0055] 30:刻劃單元 32:刻劃梁
[0056] 34:刻劃頭 40:帶部驅動馬達
[0057] 50a:第1制動器 50b:第2制動器
[0058] 52:帶部制動器副軸 54:齒條及小齒輪
[0059] 232:齒輪驅動馬達 234:小齒輪
[0060] 236a:第1齒條 236b:第2齒條
[0061] 238:導件

【具體實施方式】
[0062] 為更進一步闡述本發明為達成預定發明目的所採取的技術手段及功效，以下結 合附圖及較佳實施例，對依據本發明提出的一種基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送 方法的【具體實施方式】、結構、特徵及其功效，詳細說明如後。
[0063] 以下，參照附圖，針對本發明的實施例詳細地進行說明。但本發明可以各種不同的 形態具體呈現，並不限定於此處說明的實施例。在圖示中，為了對本發明進行簡單且清楚的 說明，省略了與說明無關的部分，且針對貫通說明書整體為相同或類似的構成元件標記相 同的參照符號。此外，在本發明的實施例中，對已揭示於專利文獻1等現有習知的基板分斷 裝置的在構成上的不同點為中心進行說明，關於與現有習知的基板分斷裝置為相同或類似 的構成，省略其說明。另一方面，在本發明的實施例中，"基板"包含分斷成多個基板的母基 板，此外還包含鋼板等金屬基板、木板、塑膠基板及陶瓷基板、半導體基板、玻璃基板等脆性 材料基板等單板。此外，並不限定於如此的單板，亦包含接合一對基板的接合基板，以及積 層一對基板的積層基板。
[0064] 圖3,概略地表示本發明實施例的基板分斷裝置的主要構成的側視圖。參照圖3， 本實施例的基板分斷裝置，包含第1傳送部10及第2傳送部20、刻劃單元30及跳動輥子單 元23。第1傳送部10及第2傳送部20,在設置臺（未圖示）上沿基板搬送方向即第1方 向（在圖3中+Y方向）相互地隔著間隔配置。在第1傳送部10,設置有卷繞於多個輥子11 而進行旋轉的帶部18,在第2傳送部20,設置有卷繞於多個輥子21而進行旋轉的帶部28。 而且，在本實施例中，以如下方式構成：多個輥子21之中，第3輥子21a連結有帶部驅動馬 達40,因此藉由該帶部驅動馬達40的動作控制第3輥子21a的旋轉，藉此使帶部28進行旋 轉。
[0065] 在第1傳送部10與第2傳送部20之間，配置刻劃單元30。刻劃單元30,具備在橫 切設置臺的方向（在圖3中+X方向）延長而設置的刻劃梁32,以及安裝於該刻劃梁32並 可沿刻劃梁32延伸的方向移動的刻劃頭34。此外，在該第1傳送部10的帶部18上，設置 有沿第1方向設置成可往前後（在圖3中+Y方向及-Y方向）移動的夾頭（chuck)梁14， 以及形成於該夾頭梁14 一側並把持基板2的夾頭16。而且，夾頭梁14朝向刻劃單元30而 前後方向進行移動，藉此使被把持於夾頭16的基板2 -邊通過刻劃頭34的下部，一邊進行 刻劃。
[0066] 在本實施例中，第2傳送部20在基板的搬送方向區分成位於上遊側的上遊側第2 傳送部22 (以下，亦稱亥lj劃後傳送部），以及位於下遊側的下遊側第2傳送部24 (以下，亦稱 拾起傳送部）。
[0067] 刻劃後傳送部22,載置從第1傳送部10通過刻劃單元30刻劃的基板部分；拾起 傳送部24,以例如藉由拾起機器人等拾得基板的方式，暫時地載置從刻劃後傳送部22傳送 來的基板2a部分。
[0068] 如此進行互為不同功能的刻劃後傳送部22及拾起傳送部24,雖在本實施例中通 過帶部28而作為第2傳送部20並形成為一體，但其可通過配置在刻劃後傳送部22與拾起 傳送部24之間的跳動輥子單元23。
[0069] 跳動輥子單元23,設置於刻劃後傳送部22與拾起傳送部24之間，且至少具有一對 第1輥子23a及第2輥子23b。在圖3中，雖僅圖示一對第1輥子23a及第2輥子23b，但 本發明並不限定於此，亦可適用於具備2對以上輥子的跳動輥子單元。此外，在圖3中，第1 輥子23a位於第2傳送部20的外側亦即帶部28的軌道外側，第2輥子23b位於第2傳送 部20的內側亦即帶部28的軌道內側，但本發明並不限定於此，亦可適用於第1輥子23a位 於帶部28的軌道內側，第2輥子23b位於帶部28的軌道外側的構成。
[0070] 跳動輥子單元23的第1輥子23a及第2輥子23b，形成為可於與基板的搬送方向 即與第1方向交叉的第2方向（在圖3中+Z方向或-Z方向）移動。此外，第1輥子23a 及第2輥子23b，以在進行移動時相互地往相反方向移動的方式形成。例如，以一旦第1輥 子23a往-Z方向移動，貝U第2棍子23b往+Z方向移動，而一旦第1棍子23a往+Z方向移 動，則第2輥子23b往-Z方向移動的方式，將第1輥子23a及第2輥子23b相互連動地結 合。關於該結合構成，將詳述於後。
[0071] 如此，在刻劃後傳送部22與拾起傳送部24之間，形成具備有形成可相互地往相反 方向移動的第1輥子23a及第2輥子23b的跳動輥子單元23,藉此，第2刻劃部20的帶部 28的移動，在刻劃後傳送部22及拾起傳送部24中可控制成各自獨立。亦即，可控制成如下 的方式：刻劃後傳送部22的帶部28進行旋轉，但拾起傳送部24的帶部28為停止，或與此 相反地，拾起傳送部24的帶部28進行旋轉，但刻劃後傳送部22的帶部28為停止。藉此， 刻劃後傳送部22及拾起傳送部24,雖以不具有傳送移載的方式而形成為一體的構成（由1 個帶部28構成的構成），但動作狀態可以互為不同的方式控制。
[0072] 因此，可將載置於刻劃後傳送部22上的完成刻劃的基板，沿著帶部28以不具有往 拾起傳送部24移載的方式進行搬送。因此，具有如下的效果：可防止如現有習知的基板分 斷裝置，將基板從下遊側的刻劃部往拾起傳送部搬送時，傳送部的移載導致端材的落下或 玻璃碎屑等的問題，且亦可防止傳送部的移載導致基板表面造成損傷的問題。針對此，參照 圖4 (a)至圖4 (d)，更具體地進行說明。
[0073] 圖4(a)至圖4(d)，概略地表示本發明實施例的基板分斷裝置的基板搬送過程的 示意圖。圖4(a)，表示開始對基板進行刻劃階段的示意圖。參照圖4(a)，成為刻劃對象的 基板2被把持於夾頭16。此外，在拾起傳送部24上載置已完成刻劃的基板2a而待拾起。
[0074] 另一方面，在本實施例的跳動輥子單元23,設置有以第1輥子23a為基準而形成 於刻劃後傳送部22側的第1制動器50a，以及以第1輥子23a為基準而形成於拾起傳送部 24側的第2制動器50b。第1制動器50a及第2制動器50b，用於使第2傳送部20的帶部 28的旋轉確實地停止，在圖4(a)中，第2制動器50b下降而使拾起傳送部24的帶部28的 旋轉確實地停止。
[0075] 圖4 (b)，表示對基板2進行刻劃，同時對拾起傳送部24上的基板2a進行拾起而往 搬送傳送部（未圖示）等下一階段進行卸載階段的示意圖。
[0076] 參照圖4 (a)及圖4 (b)，夾頭梁14沿基板搬送方向（在圖4 (b)中+Y方向）移動， 藉此，被把持於夾頭16的基板2亦通過刻劃頭34的下部。與此同時，第1輥子23a往-Z 方向移動，第2棍子23b往與第1棍子23a的移動方向相反的+Z方向移動。
[0077] 此時，帶部驅動馬達40的動作為開啟，由於帶部28確實地卷繞於第3輥子21a，因 此在第1輥子23a及第2輥子23b進行移動時，僅刻劃後傳送部22側的帶部28動作，且拾 起傳送部24側的帶部28為不動作。如圖4(b)所示，亦可為：使第2制動器50b下降，而使 拾起傳送部24的帶部28更確實地停止。
[0078] 此外，在本實施例中，第1輥子23a及第2輥子23b移動的距離，形成為彼此相同。 亦即，一旦第1輥子23a僅往-Z方向移動距離L，則第2輥子23b亦以往+Z方向移動距離 L的方式而調整。藉此，一邊使第1輥子23a往-Z方向移動的距離與第2輥子23b往+Z方 向移動的距離抵銷，一邊則僅刻劃後傳送部22的帶部28以第1輥子23a或第2輥子23b 的移動距離的程度往順時針方向進行旋轉。藉此，被把持於夾頭16的基板2,亦可於通過刻 劃頭34的下部而到達刻劃後傳送部22之後，在刻劃後傳送部22的帶部28上持續進行移 動。
[0079] 之後，一旦夾頭梁14及夾頭16往與基板的搬送方向相反方向（在圖4(b)中-Y方 向）後退，與此同時，第1輥子23a再度往+Z方向移動，且第2輥子23b再度往-Z方向移 動，藉此，刻劃後傳送部22的帶部28以第1輥子23a或第2輥子23b的移動距離的程度， 再度往逆時針方向進行旋轉。然後，藉由重複如此過程，刻劃被把持於夾頭16的基板2的 整面。
[0080] 另一方面，拾起傳送部24的帶部28,如前述，即使第1輥子23a及第2輥子23b進 行移動，其動作被固定。因此，即使在基板刻劃的過程中，載置於拾起傳送部24的帶部28 上的已完成刻劃作業的基板2a，亦可藉由例如拾起機器人等拾起，並往下一階段卸載。
[0081] 圖4(c)，表示已完成刻劃作業而夾頭梁14及夾頭16返回至初期位置，且殘留於拾 起傳送部24的帶部28上的端材往破碎機移送階段的示意圖。參照圖4(b)及圖4(c)，已完 成刻劃作業的基板2,夾頭16的把持被解除並載置於刻劃後傳送部22的帶部28上，夾頭 16及夾頭梁14則返回至初期位置。
[0082] 此時，一旦使帶部驅動馬達40動作，使第3輥子21a往順時針方向旋轉，並且使第 1輥子23a往+Z方向移動，使第2輥子23b往-Z方向移動，則僅拾起傳送部24的帶部28 為順時針旋轉，刻劃後傳送部22的帶部28為維持停止狀態。藉此，可在位於刻劃後傳送部 22的帶部28上的基板2為停止的狀態下，僅使留置於拾起傳送部24的帶部28上的端材往 破碎機移送。
[0083] 此外，在該情形，以第2制動器50b上升且第1制動器50a下降的方式進行調整， 藉此，亦可不對拾起傳送部24的帶部28的旋轉進行限制，而僅使刻劃後傳送部22的帶部 28的移動更確實地停止。
[0084] 圖4 (d)，表示使新的基板往第1傳送部10上裝載，使載置於刻劃後傳送部22的帶 部28上的基板往拾起傳送部24搬送階段的示意圖。參照圖4(d)，在第1傳送部10,將新 的基板2裝載於第1傳送部10的帶部18上，並被把持於已返回初期位置的夾頭梁14及夾 頭16。
[0085] 在第2傳送部20, 一旦第1輥子23a往+Z方向持續移動並解除與帶部28的接觸， 則帶部28恢復至非彎曲的平坦狀態，在載置基板並搬送的刻劃後傳送部22的帶部28與拾 起傳送部24的帶部28之間成為不具有傳送移載部。而且，使第1制動器50a上升而解除與 帶部28的接觸。此時，帶部驅動馬達40由於持續動作中，藉由拾起傳送部24的帶部28進 行旋轉，刻劃後傳送部22的帶部28亦同時進行旋轉，藉此，可將載置於刻劃後傳送部22的 帶部28上的完成刻劃的基板，以不具有傳送移載的方式往拾起傳送部24的帶部28搬送。 因此，可對已刻劃的基板不造成損傷地往下一階段（例如，拾起階段）的搬送部進行移送。
[0086] 另一方面，在本實施例中，第1輥子23a及第2輥子23b之中的至少一者，一邊維 持帶部28的張力一邊進行接觸。藉此，藉由第1輥子23a及第2輥子23b的移動，帶部28 亦可在維持有張力的狀態下進行旋轉，且載置於帶部28上的基板亦可圓滑地進行搬送。
[0087] 此外，在其他實施例中，第1輥子23a及第2輥子23b亦可利用可於卷繞有帶部28 的狀態下，藉由旋轉使帶部28移動的其他手段而構成。
[0088] 圖5,本發明實施例的設置有跳動輥子單元的基板分斷裝置的部分立體圖。參照圖 5,沿基板搬送方向即第1方向而在刻劃後傳送構架22a上設置刻劃後傳送部22,且在拾起 傳送構架24a上設置拾起傳送部24。在拾起傳送部24,設置有可分別於X、Y、Z軸移動的 拾起X軸機器人25a、拾起Y軸機器人25b及拾起Z軸機器人25c，藉由拾起手27拾起的基 板，藉由所述多個機器人的移動而移往所欲移往的位置而卸載。
[0089] 而且，在刻劃後傳送部22與拾起傳送部24之間設置跳動輥子單元23。關於跳動 輥子單元23,參照圖6及圖7進行說明。
[0090] 圖6,本發明實施例的跳動輥子單元23的立體圖，圖7,本發明實施例的跳動輥子 單元23的側視圖。參照圖6及圖7,本發明實施例的跳動輥子單元23,包含與齒輪驅動馬 達232連結的小齒輪（pinion) 234,以及在與該小齒輪234嚙合的狀態下夾著該小齒輪234 並相互地對向配置的第1齒條（rack) 236a及第2齒條236b。而且，第1齒條236a通過連 結構件結合第1輥子23a，且第2齒條236b通過連結構件結合第2輥子23b。因此，一旦借 由齒輪驅動馬達232的動作而小齒輪234進行旋轉，第1齒條236a及第2齒條236b於Z 方向相互地往相反方向動作，第1輥子23a及第2輥子23b亦沿導件238往第1齒條236a 及第2齒條236b動作的方向動作。
[0091] 此外，在跳動輥子單元23的上部具備控制帶部28移動的第1制動器50a及第2 制動器50b。第1制動器50a及第2制動器50b，與連結於帶部制動器副軸52的齒條及小 齒輪54結合。因此，藉由齒條及小齒輪54的動作，第1制動器50a及第2制動器50b亦進 行上升或下降。
[0092] 圖8,表示在本發明實施例中，第1輥子下降且第2輥子上升的跳動輥子單元的側 剖面圖；圖9,表示在本發明實施例中，第1輥子上升且第2輥子下降的跳動輥子單元的側 剖面圖。
[0093] 參照圖8,藉由第1輥子23a往-Z方向下降而帶部28亦一同下降，與此同時，借 由第2輥子23b往+Z方向上升而帶部28亦一同上升。此外，參照圖9,然後，一旦第1輥 子23a往+Z方向上升則帶部28恢復成維持張力的平坦狀態，與此同時，第2輥子23b往-Z 方向下降而帶部28亦一同下降。藉由如此的第1輥子23a及第2輥子23b的移動，即使是 一個帶部28,亦可對位於跳動輥子單元23的上遊側的帶部28的動作與位於跳動輥子單元 23的下遊側的帶部28的動作以互為不同的方式進行控制。因此，可對置於帶部28上的完 成刻劃的基板以不具有傳送移載的方式往下一階段進行搬送，藉此，可防止因傳送移載導 致的端材落下或玻璃碎屑等問題。
[0094] 以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，並非對本發明作任何形式上的限制，雖 然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本發明，任何熟悉本專業的技術人 員，在不脫離本發明技術方案範圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾 為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質 對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本發明技術方案的範圍內。
【權利要求】
1. 一種基板分斷裝置，其特徵在於其包含： 第1傳送部及第2傳送部，在設置臺上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔 配置，且具備在載置該基板的狀態下卷繞於多個輥子而進行旋轉的帶部； 刻劃單元，設置於該第1傳送部與第2傳送部之間並對該基板進行刻劃； 跳動輥子單元，在該第1方向，設置在位於該第2傳送部的上遊側的上遊側第2傳送部 與位於下遊側的下遊側第2傳送部之間，且至少具備一對第1輥子及第2輥子； 第1制動器，使該上遊側第2傳送部的帶部的旋轉移動停止；以及 第2制動器，使該下遊側第2傳送部的帶部的旋轉移動停止； 該第1輥子及該第2輥子，在與該第1方向交叉的第2方向，形成為可移動，且形成為 一體的該上遊側第2傳送部與該下遊側第2傳送部，可成為互為不同的動作狀態。
2. 如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特徵在於其中該第1輥子及第2輥子，在該第 2方向移動時，該第1輥子的移動距離與第2輥子的移動距離相同。
3. 如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特徵在於其中該第1輥子及第2輥子的至少 一者，一邊維持該第2傳送部的帶部張力，一邊與該帶部接觸。
4. 如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特徵在於其中該第1輥子及第2輥子，在夾 著與齒輪驅動馬達連結的小齒輪而相互地對向配置的狀態下，分別與嚙合於該小齒輪的第 1齒條及第2齒條結合。
5. 如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特徵在於其中在該多個輥子中包含第3輥子， 該第3輥子卷繞有該下遊側第2傳送部的帶部，且該第3輥子連結帶部驅動馬達。
6. 如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特徵在於其中在該跳動輥子單元中，設置有 該第1制動器，以及該第2制動器。
7. -種基板搬送方法，在包含具備在設置臺上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔 著間隔配置且在載置該基板的狀態下卷繞於多個輥子而進行旋轉的帶部的第1傳送部及 第2傳送部，以及設置於該第1傳送部與該第2傳送部之間並對該基板進行刻劃的刻劃單 元的基板分斷裝置中，將載置於該第2傳送部的帶部上的基板往該第1方向進行搬送，其特 徵在於： 在該基板分斷裝置中，在該第1方向，在位於該第2傳送部的上遊側的上遊側第2傳送 部與位於下遊側的下遊側第2傳送部之間，具備在與該第1方向交叉的第2方向可移動的 至少具有一對第1輥子與第2輥子的跳動輥子單元、使該上遊側第2傳送部的帶部的旋轉 移動停止的第1制動器、以及使該下遊側第2傳送部的帶部的旋轉移動停止的第2制動器； 使該第1輥子與第2輥子移動，藉此使形成為一體的該上遊側第2傳送部與下遊側第 2傳送部以互為不同的方式動作。
8. 如權利要求7所述的基板搬送方法，其特徵在於其中藉由該第1輥子與第2輥子的 往返移動，在使該下遊側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使該上遊側第2傳送部的帶部 往順時針方向或逆時針方向旋轉，且對載置於該上遊側第2傳送部的帶部上的基板進行刻 劃； 在該進行刻劃的階段，對置於停止狀態的下遊側第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基 板進行卸載； 藉由一邊使卷繞有該下遊側第2傳送部的帶部的第3輥子旋轉，一邊使該第1輥子及 第2輥子移動，在使上遊側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使該下遊側第2傳送部的帶部 旋轉，對留置於該下遊側第2傳送部的帶部上的端材進行卸載； 亦在該端材卸載後，使該第3輥子持續旋轉，使載置於該上遊側第2傳送部的帶部上的 完成刻劃的基板往該下遊側第2傳送部的帶部上進行搬送。
9. 如權利要求8所述的基板搬送方法，其特徵在於其中該第3輥子連結帶部驅動馬達， 且在對該基板進行刻劃的階段，使該帶部驅動馬達的動作停止。
10. 如權利要求9所述的基板搬送方法，其特徵在於其中在對該端材進行卸載的階段， 使該帶部驅動馬達動作。
11. 如權利要求8所述的基板搬送方法，其特徵在於其中在該跳動輥子單元，設置該第 1制動器，以及該第2制動器，且在對該基板進行刻劃的階段，使該第2制動器動作。
12. 如權利要求11所述的基板搬送方法，其特徵在於其中在對該端材進行卸載的階 段，使該第1制動器動作。
13. 如權利要求12所述的基板搬送方法，其特徵在於其中在已刻劃的基板往該下遊側 第2傳送部的帶部搬送的階段，使該第1制動器及第2制動器的動作完全解除。
【文檔編號】C03B33/02GK104150756SQ201410364679
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2013年4月3日 優先權日:2012年6月1日
【發明者】西尾仁孝 申請人:三星鑽石工業股份有限公司