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多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法與流程

2023-10-10 03:00:09 2


本發明屬於複合材料預製體製備技術領域,具體涉及一種多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法。



背景技術:

多晶矽氫化爐內的熱場環境溫度高達1200℃,是普通材料無法承受的高溫區域。氫化爐熱場有碳/碳加熱器、碳/碳隔熱罩、碳/碳保溫筒、碳/碳隔熱底板等產品,作為用來為爐內提供穩定熱源的碳/碳加熱器具有至關重要的作用。傳統的多晶矽氫化爐內採用石墨加熱器來給爐體增溫,石墨材料具有純度高、耐高溫、導電導熱性好、化學穩定性好等優點,最先被用到多晶矽爐熱場裝置部件材料一般採用高純石墨,要求高純度、高強度、高密度,密度一般大於1.8g/cm3,純度極高的要求解決了多晶矽爐在加熱期間雜質的影響。

目前,高純石墨價格比較昂貴,主要依賴進口,對於此類加熱器的異形件來說加工難度大,原料浪費嚴重,組裝部件整體一致性差,發熱效率差,電阻率不穩定,耐高溫熱振性差,由於脆性強極其容易斷裂破碎,使得更換頻繁,成本劇增。



技術實現要素:

本發明所要解決的技術問題在於針對上述現有技術的不足,提供一種多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法。該方法採用U型網胎/碳布複合料、線型網胎/碳布複合料和碳纖維長絲三種材料間隔鋪層、逐層針刺的工藝方法,能夠解決U型預製體圓弧部門厚度與豎直部分不一致的問題,而圓弧部分網胎/碳布複合料的不連續造成的強力減弱能夠有碳纖維長絲完美的替代。

為解決上述技術問題,本發明採用的技術方案是:一種多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法,其特徵在於,該方法包括以下步驟:

步驟一、在U型墊層外鋪設一層U型網胎/碳布複合料,然後進行針刺處理,之後在針刺後的U型網胎/碳布複合料的左右兩側均鋪設一層線型網胎/碳布複合料,然後進行針刺處理,接著在針刺後的線型網胎/碳布複合料外鋪設一層U型碳纖維長絲,然後進行針刺處理,從而在U型墊層外得到一個單元層;

步驟二、重複步驟一中所述的鋪設和針刺過程,直至在U型墊層外得到多個單元層,最終得到多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體。

上述的多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法,其特徵在於,步驟一中所述U型碳布/網胎複合料和線型碳布/網胎複合料均由碳布和碳纖維網胎經預刺複合而成,所述預刺的針刺密度為2針/cm2;所述碳布採用碳纖維織造技術製成,碳布為平紋、斜紋、緞紋或無緯布,碳布的面密度為200g/m2~480g/m2;所述碳纖維網胎採用碳纖維無紡技術製成,碳纖維網胎的面密度為30g/m2~200g/m2。

上述的多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法,其特徵在於,所述U型碳纖維長絲為3K、6K、12K、24K或50K碳纖維長絲。

上述的多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法,其特徵在於,步驟一中所述針刺處理的工藝參數為:針刺密度15針/cm2~45針/cm2,層間密度5層/cm~18層/cm。

上述的多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法,其特徵在於,步驟二中所述多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的體積密度為0.2g/cm3~0.68g/cm3,剝離強度為0.2kN/m~0.9kN/m。

本發明與現有技術相比具有以下優點:

1、本發明採用U型網胎/碳布複合料、線型網胎/碳布複合料和碳纖維長絲三種材料間隔鋪層、逐層針刺的工藝方法,能夠解決U型預製體圓弧部分厚度與豎直部分不一致的問題,而圓弧部分網胎/碳布複合料的不連續造成的強力減弱能夠有碳纖維長絲完美的替代。

2、利用本發明所製備的預製體不易分層、層間密度均勻、強度高、質量輕、抗熱握性能好、電阻率穩定、發熱效率高、可多次反覆使用在熱場環境中。

3、本發明設計性強,整體結構一次成型,且在U型線性趨向上均布有連續碳纖維長絲,有助於提高整個加熱器預製體的結構穩定性,方便拆卸,使用壽命長。

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步詳細說明。

附圖說明

圖1為本發明多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的結構示意圖。

附圖標記說明:

1—U型墊層; 2—U型網胎/碳布複合料;

3—線型網胎/碳布複合料; 4—U型碳纖維長絲。

具體實施方式

實施例1

結合圖1,本實施例多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法包括以下步驟:

步驟一、在U型墊層1外鋪設一層U型網胎/碳布複合料2,然後進行針刺處理,之後在針刺後的U型網胎/碳布複合料2的左右兩側均鋪設一層線型網胎/碳布複合料3,然後進行針刺處理,接著在針刺後的線型網胎/碳布複合料3外鋪設一層U型碳纖維長絲4,然後進行針刺處理,從而在U型墊層1外得到一個單元層;

本實施例中,所述U型碳布/網胎複合料2和線型碳布/網胎複合料3均由碳布和碳纖維網胎經預刺複合而成;所述碳布採用碳纖維織造技術製成,碳布為平紋,碳布的面密度為360g/m2;所述碳纖維網胎採用碳纖維無紡技術製成,碳纖維網胎的面密度為50g/m2;所述預刺的針刺密度為2針/cm2;

本實施例中,所述U型碳纖維長絲4為3K碳纖維長絲;

本實施例中,所述針刺處理的工藝參數為:針刺密度15針/cm2,層間密度15層/cm;

步驟二、重複步驟一中所述的鋪設和針刺過程,直至在U型墊層外得到多個單元層,最終得到體積密度為0.45g/cm3,剝離強度為0.52kN/m的多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體。

實施例2

結合圖1,本實施例多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法包括以下步驟:

步驟一、在U型墊層1外鋪設一層U型網胎/碳布複合料2,然後進行針刺處理,之後在針刺後的U型網胎/碳布複合料2的左右兩側均鋪設一層線型網胎/碳布複合料3,然後進行針刺處理,接著在針刺後的線型網胎/碳布複合料3外鋪設一層U型碳纖維長絲4,然後進行針刺處理,從而在U型墊層1外得到一個單元層;

本實施例中,所述U型碳布/網胎複合料2和線型碳布/網胎複合料3均由碳布和碳纖維網胎經預刺複合而成;所述碳布採用碳纖維織造技術製成,碳布為斜紋,碳布的面密度為480g/m2;所述碳纖維網胎採用碳纖維無紡技術製成,碳纖維網胎的面密度為100g/m2;所述預刺的針刺密度為2針/cm2;

本實施例中,所述U型碳纖維長絲4為6K碳纖維長絲;

本實施例中,所述針刺處理的工藝參數為:針刺密度30針/cm2,層間密度10層/cm;

步驟二、重複步驟一中所述的鋪設和針刺過程,直至在U型墊層外得到多個單元層,最終得到體積密度為0.56g/cm3,剝離強度為0.48kN/m的多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體。

實施例3

結合圖1,本實施例多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法包括以下步驟:

步驟一、在U型墊層1外鋪設一層U型網胎/碳布複合料2,然後進行針刺處理,之後在針刺後的U型網胎/碳布複合料2的左右兩側均鋪設一層線型網胎/碳布複合料3,然後進行針刺處理,接著在針刺後的線型網胎/碳布複合料3外鋪設一層U型碳纖維長絲4,然後進行針刺處理,從而在U型墊層1外得到一個單元層;

本實施例中,所述U型碳布/網胎複合料2和線型碳布/網胎複合料3均由碳布和碳纖維網胎經預刺複合而成;所述碳布採用碳纖維織造技術製成,碳布為緞紋,碳布的面密度為200g/m2;所述碳纖維網胎採用碳纖維無紡技術製成,碳纖維網胎的面密度為30g/m2;所述預刺的針刺密度為2針/cm2;

本實施例中,所述U型碳纖維長絲4為12K碳纖維長絲;

本實施例中,所述針刺處理的工藝參數為:針刺密度20針/cm2針/cm2,層間密度18層/cm;

步驟二、重複步驟一中所述的鋪設和針刺過程,直至在U型墊層外得到多個單元層,最終得到體積密度為0.62g/cm3,剝離強度為0.74kN/m的多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體。

實施例4

結合圖1,本實施例多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法包括以下步驟:

步驟一、在U型墊層1外鋪設一層U型網胎/碳布複合料2,然後進行針刺處理,之後在針刺後的U型網胎/碳布複合料2的左右兩側均鋪設一層線型網胎/碳布複合料3,然後進行針刺處理,接著在針刺後的線型網胎/碳布複合料3外鋪設一層U型碳纖維長絲4,然後進行針刺處理,從而在U型墊層1外得到一個單元層;

本實施例中,所述U型碳布/網胎複合料2和線型碳布/網胎複合料3均由碳布和碳纖維網胎經預刺複合而成;所述碳布採用碳纖維織造技術製成,碳布為無緯布,碳布的面密度為300g/m2;所述碳纖維網胎採用碳纖維無紡技術製成,碳纖維網胎的面密度為150g/m2;所述預刺的針刺密度為2針/cm2;

本實施例中,所述U型碳纖維長絲4為24K碳纖維長絲;

本實施例中,所述針刺處理的工藝參數為:針刺密度30針/cm2,層間密度9層/cm;

步驟二、重複步驟一中所述的鋪設和針刺過程,直至在U型墊層外得到多個單元層,最終得到體積密度為0.55g/cm3,剝離強度為0.84kN/m的多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體。

實施例5

結合圖1,本實施例多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體的製備方法包括以下步驟:

步驟一、在U型墊層1外鋪設一層U型網胎/碳布複合料2,然後進行針刺處理,之後在針刺後的U型網胎/碳布複合料2的左右兩側均鋪設一層線型網胎/碳布複合料3,然後進行針刺處理,接著在針刺後的線型網胎/碳布複合料3外鋪設一層U型碳纖維長絲4,然後進行針刺處理,從而在U型墊層1外得到一個單元層;

本實施例中,所述U型碳布/網胎複合料2和線型碳布/網胎複合料3均由碳布和碳纖維網胎經預刺複合而成;所述碳布採用碳纖維織造技術製成,碳布為平紋,碳布的面密度為480g/m2;所述碳纖維網胎採用碳纖維無紡技術製成,碳纖維網胎的面密度為200g/m2;所述預刺的針刺密度為2針/cm2;

本實施例中,所述U型碳纖維長絲4為12K碳纖維長絲;

本實施例中,所述針刺處理的工藝參數為:針刺密度45針/cm2,層間密度8層/cm;

步驟二、重複步驟一中所述的鋪設和針刺過程,直至在U型墊層外得到多個單元層,最終得到體積密度為0.65g/cm3,剝離強度為0.87kN/m的多晶矽氫化爐用碳纖維U型加熱器預製體。

以上所述,僅是本發明的較佳實施例,並非對本發明作任何限制。凡是根據發明技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效變化,均仍屬於本發明技術方案的保護範圍內。

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