吸引卡盤、以及具備該吸引卡盤的工件的移載裝置製造方法

2023-10-08 21:51:14 2

吸引卡盤、以及具備該吸引卡盤的工件的移載裝置製造方法
【專利摘要】本發明提供一種輕型並且在吸附時與放下時薄板工件不與卡盤的邊緣接觸的吸引卡盤。本發明的一個實施方式的吸引卡盤（10）具備平板狀的主體（11）和對置面（31）。在主體（11）的內部形成有壓縮空氣的流路。對置面（31）是主體（11）在與工件（90）對置的一側所具備的面，且形成有多個通過噴出壓縮空氣而產生負壓的作為吸引元件的凹部（41）。在與對置面（31）垂直的方向觀察時，該對置面（31）構成為與工件（90）相似的形狀（或者比工件（90）的形狀向外側偏移的形狀），以便能夠完全包含工件（90）的形狀。在與對置面（31）垂直的方向觀察時，全部的凹部（41）以能夠包含於工件（90）的形狀的方式配置。
【專利說明】吸引卡盤、以及具備該吸引卡盤的工件的移載裝置
【技術領域】
[0001]本發明主要涉及吸引薄的平板狀的工件並對其以非接觸的狀態進行保持的吸引卡盤。
【背景技術】
[0002]為了移載太陽能電池晶片、燃料電池單元或二次電池的電極或者隔離物等薄的平板狀的工件(薄板工件)，以往提出了作為末端執行器而採用利用了伯努利效應的伯努利卡盤的移載裝置(例如，參照專利文獻I)。
[0003]本申請的 申請人:提出例如專利文獻2所公開的並聯機構機器人作為移載裝置的移載機構，並且，提出專利文獻3所公開的伯努利卡盤作為吸引卡盤。
[0004]對於伯努利卡盤而言，在其構造上無法避免所吸引的薄板工件上下振動，但在薄板工件的吸附動作時或放下時，如果伯努利卡盤的尺寸比工件小，則振動的薄板工件與伯努利卡盤的外邊緣(邊緣)接觸，有時會導致工件的損傷、性能劣化。
[0005]特別是上述的並聯機構是使用三條臂來使末端執行器高速地移動的結構，為了發揮其特徵，作為末端執行器而被採用的伯努利卡盤也必須是輕型的卡盤。作為用於實現這樣的輕型化的伯努利卡盤的構造，以專利文獻4?6為代表提出了多種構造。
[0006]專利文獻1:日本特許第3981241號公報
[0007]專利文獻2:日本再表2008-59659號公報
[0008]專利文獻3:日本特許第4538849號公報
[0009]專利文獻4:日本特開2007-324442號公報
[0010]專利文獻5:日本特開2008-119758號公報
[0011]專利文獻6:日本特開2005-74606號公報

【發明內容】

[0012]本發明是鑑於以上的情況而完成的，其主要目的在於提供輕型並且在吸附時與放開時薄板工件不與卡盤的邊緣接觸的吸引卡盤。
[0013]本發明要解決的課題如上所述，以下對用於解決該課題的方法和其效果進行說明。
[0014]根據本發明的第一觀點，提供以下結構的吸引卡盤。即，該吸引卡盤吸引薄的平板狀的工件並以非接觸狀態保持該工件。該吸引卡盤具備平板狀的主體和對置面。在上述主體的內部形成有壓縮氣體的流路。上述對置面是上述主體在與上述工件對置的一側具備的面，且形成有多個通過噴出上述壓縮氣體而產生負壓的作為吸引元件的凹部。在與上述對置面垂直的方向觀察時，該對置面以能夠完全地包含上述工件的形狀的方式構成為與上述工件相似的形狀或者比上述工件的形狀向外側偏移的形狀。在與上述對置面垂直的方向觀察時，全部的上述凹部都以能夠包含於上述工件的形狀的方式配置。
[0015]由此，能夠很好地防止工件與對置面的外緣、凹部的邊緣碰觸而破損的情況。另夕卜，能夠高效地發揮凹部的吸引作用，穩定地保持工件。而且，由於通過形成於對置面的凹部進行吸引作用，所以容易實現輕型化以及小型化。
[0016]在上述的吸引卡盤中，優選在與上述對置面垂直的方向觀察時，該對置面的形狀以及上述工件的形狀是直角四邊形。
[0017]由此，能夠無破損且平穩地保持廣泛使用的形狀即直角四邊形的工件。
[0018]在上述的吸引卡盤中，優選以下的結構。即，在上述凹部的周圍，在上述對置面上開設有用於將從該凹部噴出的壓縮氣體排出的排氣孔。在與上述對置面垂直的方向觀察時，全部的上述排氣孔都以能夠包含於上述工件的形狀的方式配置。
[0019]由此，能夠高效地發揮凹部的吸引作用。另外，能夠以更少的流量實現同等的吸引力，從而也適用於在必須抑制流量的淨化室環境下的使用。而且，能夠很好地防止工件與排氣孔的緣碰觸而破損的情況。
[0020]在上述的吸引卡盤中，優選在與上述對置面垂直的方向觀察時，多個上述凹部以與上述對置面的形狀所具有的邊平行的方式排列。
[0021]由此，能夠相對於工件均勻地發揮凹部的吸引作用，所以能夠實現工件的穩定的保持。
[0022]在上述的吸引卡盤中，優選以下的結構。即，上述凹部形成為圓筒狀。上述主體具備噴出流路，其使壓縮氣體以沿著該凹部的內壁的方向噴出。
[0023]由此，能夠通過簡單的結構在凹部的內部形成良好的迴旋流。
[0024]在上述的吸引卡盤中，優選上述噴出流路沿著與上述對置面平行的方向形成。
[0025]由此，能夠實現流路構造的簡單化以及小型化。
[0026]在上述的吸引卡盤中，優選相對於一個上述凹部形成有多條上述噴出流路。
[0027]由此，能夠在凹部中形成強力且穩定的迴旋流。
[0028]在上述的吸引卡盤中，優選以下的結構。即，上述主體通過將包括形成有上述對置面的第一板和連接於上述壓縮氣體的供給源即壓縮氣體源的第二板在內的多張板在厚度方向上接合而構成。在上述第一板的上述對置面開設形成上述凹部的至少一部分的開口孔。上述噴出流路配置於上述對置面與上述第二板之間的位置。在上述第二板，在與上述第一板相反的一側配置與上述壓縮氣體源連接的連接口，並且，在朝向上述第一板側的面形成構成供給流路的供給槽，該供給流路用於將被導入上述連接口的壓縮氣體向上述噴出流路引導。
[0029]由此，能夠實現結構簡單的流路構造。
[0030]在上述的吸引卡盤中，優選以下的結構。即，在上述第一板與上述第二板之間配置中間板。在上述中間板以沿厚度方向貫通該中間板的方式形成構成上述噴出流路的狹縫。
[0031]由此，能夠以簡單的結構形成噴出流路。
[0032]在上述的吸引卡盤中，優選以下的結構。即，在上述第一板與上述第二板之間配置第三板。在上述第三板形成用於將上述噴出流路與上述供給槽連接的連接孔。上述第三板的厚度方向一側的面構成上述噴出流路的內壁的一部分。上述第三板的厚度方向的另一側的面將上述供給槽的敞開側封閉從而構成上述供給流路。
[0033]由此，能夠以簡單的結構形成壓縮氣體的流路。
[0034]在上述的吸引卡盤中，至少具有一條與多條上述噴出流路連接的上述供給流路。[0035]由此，能夠從供給流路向多條噴出流路供給壓縮氣體，因而能夠實現從壓縮氣體源到連接口的流路的簡單化。
[0036]在上述的吸引卡盤中，優選以下的結構。即，該吸引卡盤具備多條上述供給流路。由通過各上述供給流路而連接的上述連接口與上述噴出流路所構成的組合相互獨立。
[0037]由此，通過變更供給壓縮氣體的連接口，能夠簡單地控制在何處的凹部產生吸引作用。
[0038]在上述的吸引卡盤中，優選上述多張板都是金屬制，且通過將該多張板以全部重疊的狀態進行擴散接合而構成上述主體。
[0039]由此，能夠以簡單的工序形成在內部形成有壓縮氣體的流路的主體。
[0040]在上述的吸引卡盤中，優選上述多張板由從不鏽鋼、鋁合金或者鈦合金選擇出的材料形成。
[0041]由此，能夠提供低成本的吸引卡盤。
[0042]在上述的吸引卡盤中，優選上述多張板全部由相同的金屬材料形成。
[0043]由此，能夠提供形變小且尺寸精度良好的吸引卡盤。
[0044]在上述的吸引卡盤中，上述凹部以及上述噴出流路中的至少一方能夠通過蝕刻而形成。
[0045]在該情況下，能夠容易地製成流路構造。
[0046]然而，在上述的吸引卡盤中，上述凹部以及上述噴出流路中的至少一方也能夠通過機械加工而形成。
[0047]在該情況下，能夠提高流路構造的形狀的自由度。
[0048]在上述的吸引卡盤中，優選上述連接口以及上述供給槽中的至少一方通過機械加工而形成。
[0049]由此，能夠提高流路構造的形狀的自由度。
[0050]根據本發明的第二觀點，提供以下結構的工件的移載裝置。即，該移載裝置具備上述的吸引卡盤和壓縮氣體源。上述壓縮氣體源是對上述吸引卡盤供給上述壓縮氣體的供給源。從位於上述對置面的中央部的凹部噴出的上述壓縮氣體的噴出量比從位於上述對置面的端部的凹部噴出的上述壓縮氣體的噴出量大。
[0051]由此，能夠以更加接近平坦的形狀保持工件。
[0052]根據本發明的第三觀點，提供以下結構的工件的移載裝置。即，該移載裝置具備上述的吸引卡盤和壓縮氣體源。上述壓縮氣體源是對上述吸引卡盤供給上述壓縮氣體的供給源。該移載裝置構成為，從多張上述工件層疊而成的工件束分離最上層的一張工件並將其保持於上述吸引卡盤。移載裝置向配置於上述吸引卡盤的多個上述凹部中的、位於上述對置面的端部的凹部供給上述壓縮氣體，然後，向位於上述對置面的中央部的凹部供給上述壓縮氣體，從而保持位於上述工件束的最上層的上述工件。
[0053]由此，能夠以從端部向上翻起的方式吸引並保持工件，從而能夠實現穩定的移載作業。
[0054]在上述的工件的移載裝置中，優選具備朝向上述工件束的側面吹送壓縮氣體的吹
送裝置。
[0055]由此，工件從工件束的分離變得容易，從而能夠實現穩定的移載作業。[0056]在上述的工件的移載裝置中，優選具備用於使由上述吸引卡盤保持的工件移動的並聯機構。
[0057]由此，能夠將上述的吸引卡盤的結構所產生的效果應用於並聯機構式的移載機器人。
[0058]在上述的工件的移載裝置中，優選具備用於使由上述吸引卡盤保持的工件移動的SCARA型臂。
[0059]由此，能夠將上述的吸引卡盤的結構所產生的效果應用於SCARA型臂式的移載機器人。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0060]圖1是表示作為本發明的一個實施方式的移載裝置的移載機器人的立體圖。
[0061]圖2是表示移載機器人所具備的工件供給裝置的立體圖。
[0062]圖3是從上側觀察吸引卡盤的立體圖。
[0063]圖4是表示構成吸引卡盤的四張板的從下側觀察的分解立體圖。
[0064]圖5是表示形成於吸引卡盤的主體內部的壓縮空氣的流路的示意剖視圖。
[0065]圖6是表示形成於吸引卡盤的主體內部的壓縮空氣的流路的放大立體圖。
[0066]圖7的(a)是吸引卡盤的仰視圖，(b)是吸引卡盤的側視圖。
[0067]圖8是表示從吸引卡盤的凹部噴出的迴旋流的方向的放大仰視圖。
[0068]圖9是表示在吸引卡盤保持工件時從全部的凹部同時開始吸引的情況的參考側視圖。
[0069]圖10是表示在吸引卡盤保持工件時從位於該工件的端部的凹部依次開始吸引的側視圖。
[0070]圖11是表示從位於工件的端部的凹部開始吸引的例子的仰視圖。
[0071]圖12是表示對工件束的側面吹送空氣的情況的側視圖。
[0072]圖13是表示本實施方式與參考例的吸引卡盤中的流量與吸引力的關係的坐標圖。
[0073]圖14是表示在將工件保持於吸引卡盤的狀態下測量該工件的變形的結果的坐標圖。
[0074]圖15是表示在將工件保持於吸引卡盤的狀態下測量該工件的振動加速度的結果的坐標圖。
[0075]圖16是表示將吸弓I卡盤應用於具有SCARA型臂的移載機器人的變形例的俯視圖。【具體實施方式】
[0076]接下來，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。圖1是表示作為本發明的一個實施方式的移載裝置的移載機器人I的立體圖。圖2是表示移載機器人I所具備的工件供給裝置5的立體圖。
[0077]如圖1所示，本實施方式的移載機器人(移載裝置)I具備安裝了吸引卡盤(伯努利卡盤)10的並聯機構(parallelmechanism) 2。該並聯機構2作為主要的結構而具備基座部件101、支承部件103、電動馬達104、臂支承部件105、臂主體106以及端板114。另外，如圖2所示，移載機器人I具備工件供給裝置5，該工件供給裝置5能夠對並聯機構2供給作為移載的對象的平板狀的工件90。此外，在圖2中，為了易於表示出部件的位置關係而圖示出了從並聯機構2卸下後的狀態的吸引卡盤10。
[0078]作為本實施方式的移載機器人I所處理的工件90，假定其形成為薄的平板狀。作為工件90的例子，能夠列舉出太陽能電池晶片、燃料電池的單元、二次電池的電極、隔離物、矽晶片等，但並不局限於這些。
[0079]圖1所示的上述並聯機構2能夠使配置於該基座部件101的下方的作為輸出部件的端板114在以基座部件101為基準的規定的作業區域內移動。上述吸引卡盤10是能夠通過供給壓縮空氣(壓縮氣體)來吸附工件90從而對其非接觸地保持的裝置，且安裝為能夠相對於上述端板114旋轉。
[0080]基座部件101是用於支承並聯機構2的部件，俯視觀察時，配置於端板114的移動範圍的大致中央。另外，在該基座部件101上形成有水平的安裝面102。
[0081]在移載機器人I所具備的未圖示的框架上形成有水平的被安裝面P1。通過該結構而經由上述安裝面102將基座部件101固定於被安裝面P1，從而能夠將並聯機構2設置為懸掛狀。
[0082]在基座部件101的下表面側固定有三個支承部件103。這些支承部件103以基座部件101的俯視觀察下的中央部為中心，在周向上以形成等間隔的方式排列並安裝有三個。在該支承部件103上分別支承有帶減速器的電動馬達104。這些電動馬達104以使輸出軸(即、減速器的輸出軸)的軸線Cl成為水平的方式配置。另外，俯視觀察時，並聯機構2所具有的三個電動馬達104的上述軸線Cl配置為呈以基座部件101的中央部為中心的正三角形。
[0083]在各電動馬達104的輸出軸上固定有臂支承部件105。該臂支承部件105以使軸線與電動馬達104的輸出軸一致的方式配置，通過驅動電動馬達104而以軸線Cl為中心旋轉。
[0084]在臂支承部件105上分別固定有能夠彎曲的臂主體106。該臂主體106具備第一臂107以及第二臂108。
[0085]第一臂107構成為細長的部件，且其長度方向一端固定於臂支承部件105。第一臂107以其長度方向與臂支承部件105的軸線(電動馬達104的軸線Cl)相互正交、且在俯視觀察時從與上述臂支承部件105的連接部分向外側延伸的方式配置。
[0086]第二臂108具備一對相互平行地配置的細長的杆109。第二臂108的一端(B卩、上述各杆109的一端)被第一臂107的端部支承。
[0087]構成第二臂108的一對杆109分別經由球窩接頭110而與第一臂107連結，因此能夠向任意方向旋轉。以將一對球窩接頭110彼此連結的線(作為臂主體106的彎曲伸展的基準的軸線C2)相對於電動馬達104的軸線Cl平行的方式配置。
[0088]此外，作為第一臂107以及第二臂108，能夠採用例如由碳纖維強化塑料構成為中空的圓筒狀的結構。
[0089]在第二臂108的一端，一對杆109彼此通過連結部件111而相互連結，同樣，在另一端，一對杆109彼此通過連結部件112而相互連結。這些連結部件111、112具備未圖示的例如彈簧等施力部件，從而對一對杆109彼此以互相拉拽的方式施力。這些連結部件111、112防止各杆109以該杆109的中心軸為中心旋轉。
[0090]端板114是在俯視觀察下形成為近似正三角形狀的平板狀的部件，且能夠將吸引卡盤10安裝為能夠旋轉。該端板114安裝於三個臂主體106的前端，且以該端板114的下表面成為水平的姿勢被保持。
[0091]對於三角形形狀的端板114而言，其三條邊的部分經由球窩接頭116而與三個第二臂108 (三對杆109)各自的端部連結。構成第二臂108的一對杆109長度相等，所以連結一對球窩接頭116的軸線C3總是與對應的臂主體106的上述軸線C2平行。因此，臂主體106的前端側的軸線C3也相對於電動馬達104的軸線Cl平行。
[0092]這意味著三角形形狀的端板114所具有的三條邊總是相對於對應的電動馬達104的軸線Cl平行。因此，無論三個第一臂107分別以軸線Cl為中心怎樣轉動，端板114也總是能夠維持其下表面(安裝吸引卡盤10的表面)為水平的姿勢。
[0093]在俯視觀察下的上述基座部件101的中央部固定有帶減速器的電動馬達121。電動馬達121的輸出軸(即、減速器的輸出軸)朝向鉛垂下方，沿上下方向配置的旋轉軸杆120的上端經由萬向接頭122而與該輸出軸的下端連結。
[0094]在端板114的中心部以能夠旋轉的方式支承有旋轉輸出軸117。該旋轉輸出軸117的旋轉軸線相對於端板114垂直地配置。另外，旋轉軸杆120的下端經由萬向接頭123而與上述旋轉輸出軸117連結。
[0095]該旋轉軸杆120具備未圖示的花鍵機構，能夠與端板114的移動對應地伸縮，另一方面，能夠將電動馬達121的旋轉傳遞到旋轉輸出軸117。因此，通過電動馬達121的驅動，能夠使吸引卡盤10相對於端板114旋轉。
[0096]接下來，對吸引卡盤10的詳細結構進行說明。圖3是從上側觀察的吸引卡盤10的立體圖。圖4是表示構成吸引卡盤10的四張板25?28的從下側觀察的分解立體圖。圖5是表示形成於吸引卡盤10的主體11內部的壓縮空氣的流路的示意剖視圖。圖6是表示形成於吸引卡盤10的主體11內部的壓縮空氣的流路的放大立體圖。圖7的(a)是吸引卡盤的仰視圖，圖7的(b)是吸引卡盤的側視圖。圖8是表示從吸引卡盤10的凹部41噴出的迴旋流的方向的放大仰視圖。
[0097]如圖2以及圖3所示，吸引卡盤10具備平板狀的主體11，該主體11由將多張板以層疊的狀態接合而成的板層疊體12所構成。該板層疊體12從靠近工件90 —側(下側)依次具備表面板(第一板)25、噴嘴板(中間板)26、連接板(第三板)27以及分配板(第二板)28。
[0098]在上述主體11 (板層疊體12)的上表面固定有安裝軸13。通過將該安裝軸13連結於上述旋轉輸出軸117，從而能夠將吸引卡盤10安裝於並聯機構2。
[0099]如圖4所示，在表面板25的下表面形成有能夠與工件90直接對置的對置面31。該對置面31構成為與主體11的厚度方向垂直的矩形形狀(直角四邊形形狀)的平坦的面。另夕卜，在表面板25上以在厚度方向貫通的方式形成有用於噴出迴旋流的圓形孔(開口孔)32。
[0100]如圖4?圖6所示，在噴嘴板26上，以在厚度方向上貫通的方式形成有位置及大小與表面板25的圓形孔32 —致的圓形孔33、沿該圓形孔33的切線方向形成的細長的直線形的狹縫34、以及用於向狹縫34供給壓縮空氣的圓形的流入孔35。如圖6等所示，狹縫34以及流入孔35相對於一個圓形孔33而設置有兩個。狹縫34的長度方向的一端與圓形孔33連接，另一方面，另一端與流入孔35連接。
[0101]在連接板27上以在厚度方向上貫通的方式形成有圓形的小連接孔36。該連接孔36配置於與形成於上述噴嘴板26的流入孔35所對應的位置。
[0102]如圖3所示，在分配板28上且在朝向與上述表面板25相反的一側的面(朝向與對置面31相反的一側的面)上，開口有多個圓形的連接口 37。該連接口 37經由接頭部件71、配管72以及未圖示的電磁閥與適當的壓縮空氣源(例如壓縮機)連接。另外，如圖4所示，在分配板28的上述表面板25側的面(對置面31側的面)上形成有多個分配槽(供給槽)38。此外，壓縮空氣源能夠與輸送的工件90的種類等對應地適當變更為其他壓縮氣體源，例如能夠由液氮罐等代替。
[0103]另外，在表面板25、噴嘴板26、連接板27以及分配板28上分別以貫通狀的方式形成有排出孔39。這些排出孔39以使位置相互對應的方式配置。
[0104]在以上的結構中，通過層疊四張板25?28而使表面板25的圓形孔32與噴嘴板26的圓形孔33對齊，並且使噴嘴板26的圓形孔33的一側被連接板27關閉，其結果是，形成在上述對置面31上開口的圓形的凹部41 (參照圖6)。
[0105]另外，由於分配槽38的敞開部分被連接板27關閉，所以該分配槽38的部分形成有將連接口 37與連接孔36連接的分配流路(供給流路)43。
[0106]而且,形成於噴嘴板26的狹縫34的厚度方向一側被表面板25關閉，厚度方向另一側被連接板27關閉，因此在該狹縫34的部分形成有用於向凹部41內噴射壓縮空氣的噴嘴流路(噴出流路)44。該噴嘴流路44配置於表面板25與分配板28之間(對置面31與分配板28之間)的位置，並且以與主體11所具有的對置面31平行的方式配置。
[0107]綜上所述，凹部41經由分配流路43 (分配槽38)、連接孔36、流入孔35以及噴嘴流路44 (狹縫34)而與形成於分配板28的連接口 37連接。
[0108]另外，如圖5所示，通過使四張板25?28的排出孔39對齊，從而形成在厚度方向上貫通整個板層疊體12的排氣孔42。該排氣孔42用於將從上述凹部41朝向下方噴出的空氣朝上方釋放。
[0109]從成本等觀點考慮，優選使用金屬作為上述四張板25?28的材料。作為板25?28的材料的具體例子，能夠列舉出從不鏽鋼、鋁合金或者鈦合金中選擇出的材料。而且，通過將四張板25?28以全部重疊的狀態擴散接合，從而構成板層疊體12 (主體11)，且在其內部構成壓縮空氣的流路。
[0110]為了提供形變小且尺寸精度良好的吸引卡盤10，優選使用全部相同材料作為四張板25?28的材料。這是因為，假設在對不同種類金屬進行擴散接合的情況下，有可能由於接合後的殘餘應變而產生彎曲等變形。在本實施方式中，均使用不鏽鋼作為四張板25?28的材料。
[0111]此外，對於形成於四張板25?28的圓形孔32、圓形孔33、狹縫34、流入孔35、連接孔36、連接口 37、分配槽38以及排出孔39，例如可以通過蝕刻形成，也可以通過衝孔以及鑽孔等機械加工而形成。這樣,作為流路的加工方法,能夠考慮質量、成本等來適當地選擇適於製作所希望的形狀的加工方法。
[0112]對於上述的構成的主體11而言，如果以靠近對置面31的狀態對工件束91的最上層的工件90向連接口 37供給壓縮空氣，則空氣從噴嘴流路44 (狹縫34)以沿著圓筒狀的凹部41的內壁的方向被噴射。噴射出的空氣沿著圓形的凹部41的內壁面迴旋而前進，從凹部41的開口端排出。
[0113]如圖5所示，向對置面31與工件90之間的空間噴出的空氣流經過排氣孔42後向上方排出。由此，沿著凹部41的內壁面前進的空氣流在朝向上述對置面31排出時流速增大，所以凹部41的內部壓力降低。由於因此時形成的負壓而產生的對工件90的吸引力和由凹部41排出的空氣層的存在，所以工件90以與吸引卡盤10非接觸的方式被保持。這樣，凹部41作為吸引卡盤10的吸引部件而發揮作用。
[0114]如圖7的(a)所示，吸引卡盤10的主體11所具備的對置面31具有矩形(直角四邊形)、更具體而言是正方形的輪廓。該對置面31的形狀與作為移載的對象的工件90(圖7的點劃線)相似。另外，在從與對置面31垂直的方向觀察時，該對置面31形成為比工件90稍大，其結果是，對置面31能夠完全地包含工件90的形狀。換言之，對置面31形成為從工件90朝向外側偏移規定距離的形狀。
[0115]由此，能夠有效地防止工件90的損傷。S卩，在將工件90以非接觸狀態保持於吸引卡盤10並且使其與端板114共同移動的情況下，例如由於慣性對工件90產生作用等情況，從而可能會導致該工件90與吸引卡盤10的對置面31接觸。然而，在本實施方式中，由於對置面31構成為比工件90大，所以即使工件90與對置面31的平坦的部分接觸，也能夠防止其與對置面31的外邊緣的部分(尖的邊緣的部分)接觸而受到損傷。
[0116]在本實施方式中，上述凹部41以在縱向以及橫向(也就是說，與對置面31的輪廓、即直角四邊形的各邊平行的方向)上以等間隔規則地排列的方式配置於對置面31。而且，配置於對置面31的全部的凹部41配置於工件90的形狀所能夠包含的區域(即、圖7的(a)的點劃線所示的工件90的形狀的內側)。
[0117]由此，使由凹部41產生的吸引力與排斥力對工件90高效地發揮作用，從而能夠以較強的力穩定地以非接觸的方式保持該工件90。另外，由於通過形成於對置面31的凹部41進行吸引作用，所以容易實現吸引卡盤10的輕型化以及小型化。而且，即使萬一在工件90與對置面31接觸的情況下，也能夠防止工件90的周緣部與凹部41的開口部周緣接觸。
[0118]上述排氣孔42以相對於凹部41在圖7的(a)的縱向上鄰接的方式配置在凹部41與凹部41之間。通過這樣在凹部41的周圍配置排氣孔42，能夠經由排氣孔42將從上述凹部41向吸引卡盤10與工件90之間噴出的空氣平穩地排出，從而能夠實現穩定的吸引力。而且，全部的排氣孔42配置於工件90的形狀所能夠包含的區域。因此，與凹部41相同，能夠防止工件90的周緣部與排氣孔42的開口部周緣接觸。
[0119]圖8是對從底面觀察吸引卡盤10的情況局部放大地表示的圖。如上所述，各凹部41具有圓形的內壁，且以與該內壁在切線方向上連接的方式形成噴嘴流路44 (上述的狹縫34)。對於每個凹部41形成有兩條噴嘴流路44，各噴嘴流路44的端部以使相位相互錯開180°的方式在凹部41的內壁開口。這樣，從多個噴嘴流路44同時對一個凹部41噴出空氣，從而能夠在凹部41內形成穩定的迴旋流。
[0120]而且，在本實施方式中，在比較在對置面31上相互鄰接地開口的兩個凹部41時，上述凹部41以噴嘴流路44連接於凹部41的方向相互相反的方式而構成。具體地說，在配置於圖8的左上角的凹部41中，噴嘴流路44以能夠在凹部41內形成順時針的迴旋流的方式連接於該凹部41。另一方面，在其右側或者下側鄰接的凹部41中，噴嘴流路44以能夠在凹部41內形成逆時針的迴旋流的方式連接於該凹部41。這樣，在本實施方式的吸引卡盤10中，使所形成的迴旋流的方向相反的凹部41交替排列地配置，所以能夠實現不易妨礙相互的流動的結構，並且能夠減少吸引力的不均勻。另外，雖然各迴旋流產生欲使工件90在水平面內旋轉的力，但通過配置數量相同的形成順時針的迴旋流的凹部41和形成逆時針的迴旋流的凹部41，能夠以使該力相互抵消的方式發揮作用。由此，能夠防止工件90的不必要的旋轉。
[0121]然而，由上述分配槽38 (圖4)構成的分配流路43以與將對置面31分割成2X4後的區域分別對應的方式共計形成有八個。各分配流路43將一個連接口 37與在該區域開口的八個對於凹部41的連接孔36 (共計16個)連接。
[0122]而且，在本實施方式中構成為，在對工件90進行保持時，不是同時對所有的連接口 37供給壓縮空氣，而是首先對位於對置面31的一端側的連接口 37供給壓縮空氣，然後對中央側的連接口 37供給壓縮空氣。這樣的吸引的時間差能夠通過使用上述電磁閥適當地控制對各連接口 37供給壓縮空氣的時機來實現。
[0123]以下，對其效果進行說明。圖9是表示同時對所有的連接口 37供給壓縮空氣的情況的側視圖。如該圖9所示，如果一旦想要吸引工件90的整個表面而將其拉起，則由於在層疊的工件90與工件90之間容易產生負壓，所以下側的工件90也被連帶地提起，從而成為相對於吸附的阻力或工件90的位置混亂等的原因。
[0124]在該點上，在本實施方式中，通過對分別連接於連接口 37的電磁閥的開閉進行適當的控制，從而如圖10所示首先對一端側的連接口 37供給壓縮空氣，然後對鄰接的連接口37供給壓縮空氣，以此類推，邊設置時間差邊進行壓縮空氣的供給。通過這樣對吸引設置時間差，從而能夠從端部向上翻起地保持工件90，進而能夠防止下側的工件90被連帶地提起，實現順暢的移載作業。
[0125]圖11是示意地表示在吸引工件90的吸附動作時向凹部41供給壓縮空氣的順序的仰視圖。圖11的(a)與本實施方式(圖10)相當，依次向一側的凹部41、中央側的凹部41、另一側的凹部41供給壓縮空氣。另一方面，如圖11的(b)所示，也可以從對置面31的四個角中的一個開始依次向剩餘的四個角供給壓縮空氣。另外，也可以不是向位於置面31的一端的凹部41而是向位於兩端的凹部41同時供給壓縮空氣，然後再對中央側的凹部41供給壓縮空氣。
[0126]接下來，對用於限制被保持的工件90的移動的結構進行說明。如圖3等所示，在主體11的邊緣部固定有多個引導部件17，多個引導部件17以包圍該主體11的方式相互空出間隔地配置。引導部件17在形成為矩形的主體11的各邊上分別配置兩個，並且以夾著主體11而對置的方式配置。另外，引導部件17以與形成為平板狀的主體11的厚度方向垂直的方式配置，其下端比主體11的下表面(對置面31)更向下方突出。在輸送被保持於吸引卡盤10的工件90時，上述引導部件17限制工件90在與主體11的下表面(對置面31)平行的方向上相對移動。
[0127]接下來，參照圖2等對工件供給裝置5進行說明。該工件供給裝置5作為主要的結構而具備支承臺81、升降工作檯82、線性致動器83以及空氣噴嘴(吹送裝置)84。
[0128]在支承臺81的上部支承有能夠在其上載置盒92的升降工作檯82。在該升降工作檯82上連結有安裝於支承臺81的線性致動器83。另外，在升降工作檯82上安裝有多個線性導向件85，升降工作檯82通過該線性導向件85的引導而能夠在上下方向上滑動移動。根據該結構，能夠通過驅動線性致動器83來使升降工作檯82升降。
[0129]在升降工作檯82上以通過適當的定位機構而定位的狀態載置有收納層疊狀態的多張工件90的盒92。此外，在以下的說明中，將像這樣在厚度方向上層疊多張的狀態的工件90特別稱為工件束91。
[0130]在支承臺81的側部垂直地安裝有噴嘴支承部件86，該噴嘴支承部件86的上端部安裝有空氣噴嘴84。空氣噴嘴84具有中空圓筒狀的筒體87，且在該筒體87上貫通狀地形成有多個吹出孔88。該吹出孔88沿著筒體87的軸線方向以相互隔開相等的間隔地排成一列的方式配置。
[0131]空氣噴嘴84的筒體87配置於與盒92幾乎相同的高度，並且以其軸線成為水平的方式配置並由噴嘴支承部件86支承。另外，筒體87的長度方向端部經由配管89以及未圖示電磁閥而連接於壓縮空氣源(壓縮氣體源)。根據該結構，通過打開電磁閥向筒體87的內部供給壓縮空氣，而能夠使空氣從吹出孔88噴出並向放置於盒92內的工件束91的側面吹
送空氣。
[0132]此外，空氣噴嘴84的筒體87被噴嘴支承部件86支承為能夠以其軸線為中心而旋轉。因此，通過使筒體87旋轉，能夠調整吹出孔88的方向以使空氣流良好地作用於工件束91的側面。
[0133]該吹出孔88對空氣的吹出通過與吸引卡盤IO的具有時間差的吸引並用而發揮特別優異的效果。即，如圖12所示，在將空氣流從吹出孔88吹出而與工件束91的端部接觸的前後，首先只對靠近該空氣流所接觸的一側的端部側的凹部41供給壓縮空氣，然後，以使吸引區域向相反一側的端部擴展的方式依次向凹部41供給壓縮空氣。由此，能夠容易地將工件90的端部向上翻起，從而相對於吸引卡盤10順利地保持該工件90。
[0134]接下來，對使用了本實施方式的吸引卡盤10的實驗進行說明。該實驗是對於各種結構的吸引卡盤調查供給的壓縮空氣的流量與吸引力的關係的實驗。
[0135]在本實驗中，作為吸引卡盤準備了圖7所示的本實施方式的吸引卡盤10、未形成有排氣孔42的吸引卡盤以及參考例的吸引卡盤這三種吸引卡盤。參考例的吸引卡盤將2X2的四個如上述專利文獻I所公開的圓筒狀的大伯努利元件排列配置於具有正方形的對置面的主體。參考例的吸引卡盤的大小與本實施方式的吸引卡盤幾乎相同。
[0136]圖13中示出了上述的實驗結果。如該圖所示，本實施方式的吸引卡盤10低於參考例的吸引卡盤，但是可確定其能夠發揮充分大的吸引力。另外，可知與不形成排氣孔42的吸引卡盤相比，形成有排氣孔42的吸引卡盤10能夠得到更強的吸引力。
[0137]在下一個實驗中，對通過本實施方式的吸引卡盤10 (形成有排氣孔42的吸引卡盤)與參考例的吸引卡盤來保持工件90的情況下的該工件90的變形量以及振動加速度進行調查。具體而言，在XY工作檯的上方配置吸引卡盤，在該吸引卡盤實際地保持工件90之後，用安裝於XY工作檯的雷射測距儀從下側測量工件90。一邊使雷射測距儀在XY工作檯上沿吸引卡盤所具有的對置面的對角線方向移動，一邊在多個位置上進行該測定。另外，以使本實施方式的吸引卡盤10與參考例的吸引卡盤所產生的吸引力大致相同的方式對向各吸引卡盤供給的壓縮空氣的流量進行調整。
[0138]圖14中用以吸引卡盤(對置面)的中心部為基準的相對位移來表示工件90的變形量的測定結果。這樣，可知與參考例的吸引卡盤相比，本實施方式的吸引卡盤10能夠抑制工件90的變形來保持工件90。
[0139]但是，如圖14所示，在本實施方式的吸引卡盤10中，表示出被保持的工件90的中央部以稍向下凸出的方式變形的趨勢。為了進行矯正，只要相對於對置面31的中央部分的凹部41供給比端部的凹部41稍多的流量的壓縮空氣來增強中央側的吸引力即可。由此，工件90的中央部向下凸出的現象減輕，能夠將工件90保持為更加水平且平坦的形狀。
[0140]另外，圖15中示出了振動加速度的測定結果，可知本實施方式的吸引卡盤10與參考例的卡盤相比，能夠極為良好地抑制工件90的振動(高頻振動)。通過像這樣抑制工件90的變形與振動，能極力減小工件90與對置面31接觸的可能性，明顯地提高非接觸性。
[0141]如以上說明的那樣，在本實施方式中吸引薄的平板狀的工件90並以非接觸狀態對其進行保持的吸引卡盤10具備平板狀的主體11和對置面31。在主體11的內部形成壓縮空氣的流路。對置面31是主體11在與工件90對置的一側所具備的面，且形成多個通過噴出壓縮空氣而產生負壓的作為吸引元件的凹部41。在從與對置面31垂直的方向觀察時，該對置面31以能夠完全包含工件90的形狀的方式構成為與工件90相似的形狀(或者是比工件90的形狀向外側偏移的形狀)。在從與對置面31垂直的方向觀察時，全部凹部41都以能夠包含在工件90的形狀內的方式配置。
[0142]由此，能夠很好地防止工件90與對置面31的邊緣碰觸而破損。另外，能夠高效地發揮凹部41的吸引作用，穩定地保持工件90。
[0143]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，在從與對置面31垂直的方向觀察時，該對置面31的形狀以及工件90的形狀呈直角四邊形。
[0144]因此，能夠無破損地平穩地保持作為被廣泛使用的形狀的直角四邊形的工件90。
[0145]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，在凹部41的周圍，在對置面31上開口用於排出從該凹部41噴出的壓縮空氣的排氣孔42。在從與對置面31垂直的方向觀察時，全部的排氣孔42都以能夠包含在工件90的形狀內的方式配置。
[0146]因此，能夠高效地發揮凹部41的吸引作用。另外，由於能夠以更少的流量實現同等的吸引力，所以也適於在必須抑制流量的淨化室的環境下的運用。而且，能夠很好地防止工件90與排氣孔42的開口的邊緣碰觸而破損的情況。
[0147]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，在從與對置面31垂直的方向觀察時，多個凹部41以與對置面31的形狀所具有的邊平行的方式整列地排列。
[0148]因此，能夠均勻地對工件90發揮凹部41的吸引作用，所以能夠實現對工件90的
穩定的保持。
[0149]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，凹部41形成為圓筒狀。另外，主體11具備噴嘴流路44，噴嘴流路44在沿著凹部41的內壁的方向噴出壓縮空氣。
[0150]因此，能夠通過簡單的結構在凹部41的內部形成良好的迴旋流。
[0151]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，噴嘴流路44形成在與對置面31平行的方向上。
[0152]因此，能夠實現流路構造的簡單化以及小型化。
[0153]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，相對於一個凹部41形成有兩條噴嘴流路44。[0154]由此，在凹部41中，能夠形成強力且穩定的迴旋流。
[0155]另外，本實施方式的吸引卡盤10的主體11是將包括形成有對置面31的表面板25和連接於壓縮空氣的供給源即壓縮空氣源的分配板28在內的四張板25?28在厚度方向上接合而構成的。在表面板25上，在對置面31上開設形成凹部41的一部分的圓形孔32。噴嘴流路44配置於對置面31與分配板28之間的位置。在分配板28上，對於壓縮空氣源的連接口 37配置於與表面板25相反的一側，並且，構成用於將被導入連接口 37的壓縮空氣朝向噴嘴流路44引導的分配流路的分配槽38形成於朝向表面板25 —側的面。
[0156]因此，能夠實現簡單的結構的流路構造。
[0157]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，在表面板25與分配板28之間配置噴嘴板
26。構成噴嘴流路44的狹縫34以在厚度方向上貫通的方式形成於噴嘴板26。
[0158]因此，能夠以簡單的結構形成噴嘴流路44。
[0159]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，在表面板25與分配板28之間配置連接板
27。在連接板27上形成用於連接噴嘴流路44與分配槽38的連接孔36。連接板27的厚度方向一側的面構成噴嘴流路44的內壁的一部分。連接板27的厚度方向另一側的面關閉分配槽38的敞開側，從而構成分配流路43。
[0160]因此，能夠以簡單的結構形成壓縮空氣的流路。
[0161]另外，本實施方式的吸引卡盤10具有八條與多個噴嘴流路44連接的分配流路43。
[0162]因此，由於能夠從分配流路43向多個噴嘴流路44供給壓縮空氣，所以能夠實現從壓縮空氣源到連接口 37的流路的簡單化。
[0163]另外，本實施方式的吸引卡盤10具備多條分配流路43。由通過各分配流路43而連接的連接口 37與噴嘴流路44所構成的組合相互獨立。
[0164]由此，通過變更供給壓縮空氣的連接口 37，能夠簡單地控制使何處的凹部41產生吸引作用。
[0165]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，多張板25?28都是金屬制，且通過使該多張板25?28以全部重疊的狀態進行擴散接合來構成主體11。
[0166]因此，能夠通過簡單的工序來形成在內部形成有壓縮空氣的流路的主體11。
[0167]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，多張板25?28由從不鏽鋼、鋁合金或者鈦合金中選擇出的材料形成。
[0168]因此，能夠提供低成本的吸引卡盤10。
[0169]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，多張板25?28全部由相同的金屬材料形成。
[0170]因此，能夠提供形變小、尺寸精度的良好的吸引卡盤。
[0171]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，凹部41以及噴嘴流路44通過蝕刻而形成。
[0172]因此，能夠各易地製作流路構造。
[0173]但是，在本實施方式的吸引卡盤10中，凹部41以及噴嘴流路44也可以通過機械加工而形成。
[0174]由此，由於加工形狀的自由度變高，所以即使是複雜的流路構造也能夠容易地製成。
[0175]另外，在本實施方式的吸引卡盤10中，連接口 37以及分配槽38通過機械加工而形成。
[0176]由此，由於加工形狀的自由度變高，所以即使是複雜的流路構造也能夠容易地製成。
[0177]另外，本實施方式所公開的移載機器人I具備吸引卡盤10和壓縮空氣源。壓縮空氣源是對於吸引卡盤10的壓縮空氣的供給源。從位於對置面31的中央部的凹部41噴出的壓縮空氣的噴出量，比從位於對置面31的端部的凹部41噴出的壓縮空氣的噴出量大。
[0178]因此，能夠將工件90保持為更加接近平坦的形狀。
[0179]另外，本實施方式的移載機器人I構成為，從多張工件90層疊而成的工件束91分離出最上層的一張並將其保持於吸引卡盤10。向配置於吸引卡盤10的多個凹部41中的、位於對置面31的端部的凹部41供給壓縮空氣，然後向位於對置面31的中央部的凹部41供給壓縮空氣，從而對位於工件束91的最上層的工件90進行保持。
[0180]因此，能夠以從端部向上翻起的方式吸引保持工件90，從而能夠實現順暢的移載作業。
[0181]另外，本實施方式的移載機器人I具備朝向工件束91的側面吹送壓縮空氣的空氣噴嘴84。
[0182]因此，工件90從工件束91的分離變容易，從而能夠實現順暢的移載作業。
[0183]另外，本實施方式的移載機器人I具備用於使由吸引卡盤10保持的工件90移動的並聯機構2。
[0184]因此，能夠將上述的吸引卡盤10的結構所產生的效果應用於並聯機構式的移載機器人。
[0185]此外，吸引卡盤10能夠搭載於上述那樣的並聯機構2，但也能夠用於圖16所示那樣的SCARA型臂(選擇順應性裝配機器手臂)式的移載機器人lx。圖16是表示在具有SCARA型臂62的移載機器人Ix上安裝吸引卡盤10的變形例的俯視圖。
[0186]移載機器人Ix作為主要的構成而具備機器人主體61和SCARA型臂62。在機器人主體61上安裝有能夠彎曲的SCARA型臂62的基部，通過驅動未圖示的馬達，從而能夠將SCARA型臂62的前端部維持為水平狀態地移動至上下左右的任意位置。
[0187]在SCARA型臂62的前端部的下表面安裝有吸引卡盤10，能夠以非接觸的狀態保持工件90。而且，通過以用吸引卡盤10保持工件90的狀態驅動SCARA型臂62，從而能夠使工件90向適當的位置移動。
[0188]對於該移載機器人Ix而言，由於能夠將吸引卡盤10主體構成為薄型，所以例如能夠實現下述的隨機存取，即:即使在使多張工件90沿上下方向上分離而將它們以層疊狀態收納的盒中，也能夠使安裝了吸引卡盤10的SCARA型臂62的前端進入盒內而取出、收納任意位置的工件90。
[0189]如以上所示，圖16所示的移載機器人Ix具備用於使被吸引卡盤10保持的工件90移動的SCARA型臂62。
[0190]因此，能夠將上述的吸引卡盤10的結構所產生的效果應用於SCARA型臂式的移載機器人。
[0191]以上，對本發明優選的實施方式以及變形例進行了說明，但上述的結構也能夠進行如下變更。[0192]在上述的實施方式中，工件90以及對置面31的形狀是正方形，但也可以構成為相鄰的邊的長度不同的直角四邊形。
[0193]形成於對置面31的凹部41以及排氣孔42的數量以及配置也能夠根據工件90的重量以及大小等適當地進行變更。
[0194]在上述的實施方式中，是兩條噴嘴流路44 (狹縫34)連接於凹部41的結構，但噴嘴流路的數量也可以是一條或三條以上。
[0195]附圖標記說明
[0196]l、lx...移載機器人(移載裝置)；10...吸引卡盤；11...主體；25...表面板(第一板)；26...噴嘴板(中間板)；27...連接板(第三板)；28...分配板(第二板)；31...對置面；32...圓形孔(開口孔)；36...連接孔；37...連接口 ；38...分配槽(供給槽)；41...凹部；42...排氣孔；43...分配流路(供給流路)；44...噴嘴流路(噴出流路)；84...空氣噴嘴(吹送裝置)；90...工件；91...工件束。
【權利要求】
1.一種吸引卡盤，其吸引薄的平板狀的工件並以非接觸狀態保持該工件，該吸引卡盤的特徵在於，具備: 平板狀的主體,在該主體的內部形成有壓縮氣體的流路；和 對置面，該對置面是所述主體在與所述工件對置的一側所具備的面，且形成有多個通過噴出所述壓縮氣體而產生負壓的作為吸引元件的凹部， 在與所述對置面垂直的方向觀察時，該對置面以能夠完全地包含所述工件的形狀的方式構成為與所述工件相似的形狀或者比所述工件的形狀向外側偏移的形狀， 在與所述對置面垂直的方向觀察時，全部的所述凹部都以能夠包含於所述工件的形狀的方式配置。
2.根據權利要求1所述的吸引卡盤，其特徵在於， 在與所述對置面垂直的方向觀察時，該對置面的形狀以及所述工件的形狀是直角四邊形。
3.根據權利要求1所述的吸引卡盤，其特徵在於， 在所述凹部的周圍，在所述對置面上開設有用於將從該凹部噴出的壓縮氣體排出的排氣孔， 在與所述對置面垂直的方向觀察時，全部的所述排氣孔都以能夠包含於所述工件的形狀的方式配置。
4.根據權利要求1所述的吸引`卡盤，其特徵在於， 在與所述對置面垂直的方向觀察時，多個所述凹部以與所述對置面的形狀所具有的邊平行的方式排列。
5.根據權利要求1所述的吸引卡盤，其特徵在於， 所述凹部形成為圓筒狀， 所述主體具備噴出流路，該噴出流路使壓縮氣體以沿著該凹部的內壁的方向噴出。
6.根據權利要求5所述的吸引卡盤，其特徵在於， 所述噴出流路沿著與所述對置面平行的方向形成。
7.根據權利要求5所述的吸引卡盤，其特徵在於， 相對於一個所述凹部形成有多條所述噴出流路。
8.根據權利要求5所述的吸引卡盤，其特徵在於， 所述主體通過將包括形成有所述對置面的第一板和連接於所述壓縮氣體的供給源即壓縮氣體源的第二板在內的多張板在厚度方向上接合而構成， 在所述第一板的所述對置面開設開口孔，該開口孔形成所述凹部的至少一部分， 所述噴出流路配置於所述對置面與所述第二板之間的位置， 在所述第二板上，在與所述第一板相反的一側配置與所述壓縮氣體源連接的連接口，並且，在朝向所述第一板側的面形成構成供給流路的供給槽，該供給流路用於將被導入所述連接口的壓縮氣體向所述噴出流路引導。
9.根據權利要求8所述的吸引卡盤，其特徵在於， 在所述第一板與所述第二板之間配置中間板， 在所述中間板以沿厚度方向貫通該中間板的方式形成有構成所述噴出流路的狹縫。
10.根據權利要求8所述的吸引卡盤，其特徵在於，在所述第一板與所述第二板之間配置第三板， 在所述第三板形成用於將所述噴出流路與所述供給槽連接的連接孔， 所述第三板的厚度方向一側的面構成所述噴出流路的內壁的一部分， 所述第三板的厚度方向另一側的面將所述供給槽的敞開側封閉從而構成所述供給流路。
11.根據權利要求8所述的吸引卡盤，其特徵在於， 至少具有一條與多條所述噴出流路連接的所述供給流路。
12.根據權利要求8所述的吸引卡盤，其特徵在於， 具備多條所述供給流路， 由通過各所述供給流路而連接的所述連接口與所述噴出流路所構成的組合相互獨立。
13.根據權利要求8所述的吸引卡盤，其特徵在於， 所述多張板都是金屬制，且通過將該多張板以全部重疊的狀態進行擴散接合而構成所述主體。
14.根據權利要求13所述的吸引卡盤，其特徵在於， 所述多張板由從不鏽鋼、鋁合金或者鈦合金選擇出的材料形成。
15.根據權利要求13所述的吸引卡盤，其特徵在於， 所述多張板全部由相同的金屬材料形成。
16.根據權利要求13所述的吸引卡盤，其特徵在於， 所述凹部以及所述噴出流路中的至少一方通過蝕刻而形成。
17.根據權利要求13所述的吸引卡盤，其特徵在於， 所述凹部以及所述噴出流路中的至少一方通過機械加工而形成。
18.根據權利要求13所述的吸引卡盤，其特徵在於， 所述連接口以及所述供給槽中的至少一方通過機械加工而形成。
19.一種工件的移載裝置，其特徵在於，具備: 權利要求1所述的吸引卡盤；和 對所述吸引卡盤供給所述壓縮氣體的供給源即壓縮氣體源， 從位於所述對置面的中央部的凹部噴出的所述壓縮氣體的噴出量比從位於所述對置面的端部的凹部噴出的所述壓縮氣體的噴出量大。
20.一種工件的移載裝置，其特徵在於，具備: 權利要求1所述的吸引卡盤； 對所述吸引卡盤供給所述壓縮氣體的供給源即壓縮氣體源， 該工件的移載裝置從層疊多張所述工件而成的工件束分離最上層的一張工件並將其保持於所述吸引卡盤， 在該工件的移載裝置中， 向配置於所述吸引卡盤的多個所述凹部中的、位於所述對置面的端部的凹部供給所述壓縮氣體，然後，向位於所述對置面的中央部的凹部供給所述壓縮氣體，從而保持位於所述工件束的最上層的所述工件。
21.根據權利要求20所述的工件的移載裝置，其特徵在於， 具備朝向所述工件束的側面吹送壓縮氣體的吹送裝置。
22.根據權利要求19~21中任一項所述的工件的移載裝置，其特徵在於，具備用於使由所述吸引卡盤保持的工件移動的並聯機構。
23. 根據權利要求19~21中任一項所述的工件的移載裝置，其特徵在於，具備用於使由所述吸引卡盤保持的工件移動的SCARA型臂。
【文檔編號】B65G49/07GK103492135SQ201280019210
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2012年2月23日 優先權日:2011年4月20日
【發明者】高嶌弘樹, 中西秀明 申請人:村田機械株式會社