一種基於光外差幹涉術的共聚焦掃描顯微成像方法及系統的製作方法

2023-10-04 11:22:44

一種基於光外差幹涉術的共聚焦掃描顯微成像方法及系統的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種基於雷射外差幹涉術的共聚焦顯微成像系統，在現有雷射共聚焦顯微鏡的顯微鏡光學系統、掃描部分的基礎上，加入頻移部分，結合光外差幹涉技術實現精確測量。在充分利用了共聚焦掃描顯微鏡的超高橫向解析度的同時，又通過獲取精確的相位信息取代強度信息，不僅提高了軸向解析度，還避免了使用螢光染料帶來的一系列問題；可以在無標記的情況下測量透明的相位物體。
【專利說明】-種基於光外差幹涉術的共聚焦掃描顯微成像方法及系統

【技術領域】
[0001] 本發明涉及一種共聚焦掃描顯微成像方法，屬於光學精密測量領域，特別涉及一 種基於光外差幹涉術的共聚焦掃描顯微成像方法，本發明還涉及利用上述方法的系統。

【背景技術】
[0002] 雷射掃描共聚焦顯微鏡（Laserscanningconfocalmicroscope,LSCM)是對普 通光學顯微鏡的重大改進，主要由W下四個部分組成；顯微鏡光學系統；掃描裝置，LSCM使 用的掃描裝置在生物領域一般為鏡掃描；雷射光源；檢測系統。其基本思想由M.Minsky於 1957年提出，與一般的顯微成像不同，它在光路中加入了與物點共輛的探測針孔，起到了空 間濾波作用，在使用英光染料的情況下，能夠去除離焦英光的幹擾，產生軸向層析能力，通 過逐點逐層的掃描方式，實現對觀測樣品區域的光學層切，實現H維成像。它是一種無損傷 的光學遠場成像技術，能夠同時提供較高的橫向和軸向解析度，該使得它有著極高的應用 價值。
[0003] 共聚焦掃描顯微鏡與傳統照明顯微鏡相比有許多優點，包括：可W控制焦深、照明 強度、降低非焦平面光線噪聲幹擾，從一定厚度標本中獲取光學切片，既顯微CT。最近共聚 焦顯微鏡在科研領域尤其是生物醫學方面迅速發展，主要原因是其可W在不改變普通英光 顯微鏡的製片方法的前提下，可W觀察到非常清晰的高質量圖像，並且通過共聚焦顯微鏡 可W十分方便的觀察活的細胞或組織。由於共聚焦顯微鏡的突出優勢，它已經成為生物醫 學研究中最重要的形態學研究工具之一。
[0004] 目前世界各大光學顯微鏡公司都在研發和生產共聚焦顯微鏡，主要體現在市面上 常見的德國悚卡、蔡司、和日本尼康、奧林己斯該幾個品牌的產品中。
[0005] 由於共聚焦顯微鏡在觀測時必要使用的英光染料分子所帶來的一系列問題，在激 光的照射下，使用的許多英光染料會產生單態氧或自由基等細胞毒素，必須限制掃描時間、 激發光強度，W保持樣品的活性，使得強度的對比度不高。同時，為了獲得足夠的信噪比必 須提高雷射的強度；而高強度的雷射會使染料在連續掃描過程中迅速權色，即光漂白效應。
[0006] 另外，雷射共聚焦英光掃描顯微技術得到圖像的對比度來自於雷射激發樣本產生 的英光強度，因此，如果不使用英光染料，不能單獨實現對透明樣品進行非英光標記的結構 成像。對於該些透明樣品，也就是相位樣品，採用相位測量的方法可W得到高精度的結果， 同時，不需要英光染料標記，避免了染料帶來的毒性及其他問題，並且相位信息的對比度比 強度的對比度更高。現有技術中，可W與雷射共聚焦英光掃描顯微技術結合的顯微相位成 像方法主要有W下幾種：
[0007] (1)雷射斜射照明顯微成像方法。在共聚焦顯微系統的基礎上，利用入射雷射光軸 和探測光軸所成的角度獲得斜入射的照明光，從而獲得浮雕效果。
[0008] (2)微分幹涉相差顯微成像方法。利用兩塊沃拉斯頓稜鏡（Wollaston Prism)，起 偏器（Polarzer)和檢偏器（Analyzer)完成成像，成像結果可W呈現樣品的浮雕狀結構。
[0009] 上述的兩種相位方法避免了使用英光染料，但是，雷射斜射照明顯微成像方法由 於需要調節探測光路和入射光路的角度，難W實現在完全不破壞原有共聚焦光路的基礎上 實現位相測量，會導致需要大幅度修改原有顯微鏡結構才可W使用該種技術。微分幹涉相 差顯微成像方法需要在光路中額外添加偏振元件產生偏振光，並利用兩束偏振光形成的剪 切角進行位相差分探測，其所採用沃拉斯頓稜鏡價格昂貴且不能對具有雙折射特性的樣品 進行探測，限制了使用範圍。同時，該兩種方法均不能獲得精確到千分之一弧度的定量相位 信息。
[0010] 另外，上述各處理方法中共聚焦顯微鏡的聚焦點均存在微米量級的光腰，在該個 範圍內，共聚焦顯微鏡是無法分辨的。
[0011] 雷射外差幹涉法是一種成熟的被廣泛用於高精度測量領域的方法。在光外差探測 中，帶有被探測目標信息的信號光波與一個本振光波進行混頻，經過混頻後的光信號被光 電探測所響應，並轉化為電信號輸出。混頻信號一般包括本振光的頻率分量、原始信號光的 頻率分量W及信號光和本振光的和頻分量及差頻分量，前H個信號由於頻率太高不能被探 測得到，所W經過光電探測器轉換輸出的只是信號光和本振光頻率的差頻分量。光外差法 的精度可W達到千分之一個探測波長。


【發明內容】

[0012] 本發明的目的在於提供一種基於光外差幹涉術的共聚焦掃描顯微成像方法，在共 聚焦掃描顯微鏡的基礎上，結合光外差幹涉術，能夠獲得無英光標記樣品的高對比度的相 位信息圖像。
[0013] 本發明的另一個目的在於提供一種利用上述方法的共聚焦掃描顯微成像系統，能 夠獲得無英光標記樣品的高對比度的相位信息圖像。
[0014] 為了實現上述目的，本發明採用W下技術方案；一種基於光外差幹涉術的共聚焦 掃描顯微成像方法，包括：
[0015] (1)將雷射光源發出的單波長雷射分成兩束光，其中一束進入一個具有固定頻率 的聲光頻移器調製，其輸出的一級光作為信號光；另一束進入一個具有可調頻率的聲光頻 移器調製，其輸出的一級光作為本振光；所述可調頻率為所述固定頻率前後0. 1-2MHZ範 圍；
[0016] (2)將所述信號光再次分成第一、第二信號光束，所述本振光再次分成第一、第二 本振光束，其中將第二信號光束和第二本振光束進行合束並輸入到第二光電探測器上，經 光電探測器對合束光採集後輸出參考中頻信號；
[0017] (3)將第一信號光束進入共聚焦掃描系統，第一信號光束照射到樣品部分後，按原 路返回並與第一本振光束進行合束並輸入到第一光電探測器上，經光電探測器對合束光採 集後輸出待測中頻信號；
[0018] (4)將採集到的參考中頻信號和待測中頻信號進行處理，得出聚焦點的相位信息； 共聚焦掃描系統中的掃描部分進行逐點逐層掃描，得到一個個不同位置點的相位信息，並 合成樣品的H維信息圖像。
[0019] 對本發明方法的進一步改進，當在步驟（4)得到的某一聚焦點的相位信息時，聚 焦點在物體平面內不動，掃描部分做軸向的微位移，得到聚焦點的相位發生連續變化，即相 位隨著時間變化，由於相位是包裹在（-K,n]中的，利用當前所得到的相位信息與前一時 刻得到的相位信息比較，若時間前後的相位信息之差的符號發生變化時，就計數器加一； 如此一來，當相位遞增到波長/2的整數倍時，就實現整數計數，實現了聚焦點光腰內的相 對測量。
[0020] 本發明方法採用偏振分束器來進行分束、合束，各路光在分束、合束前，均採用半 波片調製偏振方向。
[0021] 本發明方法步驟3中第一信號光束與共聚焦掃描系統之間經半波片、偏振分束器 和四分之一波片調製禪合，半波片、偏振分束器使第一信號光束全部進入共聚焦掃描系統 中，同時四分之一波片和偏振分束器使照射到樣品部分後，按原路返回的第一信號光束由 偏振分束器全反射輸出。
[0022] 本發明方法步驟2、3中的合束光輸入到光電探測器前，先進入檢偏器，使得信號 光和本振光的偏振方向保持一致，從而提高了拍頻效率。
[0023] 為了可W避免空氣的幹擾，本發明採用光纖進行光束傳輸，該樣參考光路中的信 號光和本振光收到的幹擾就變成一樣，那麼採集到參考中頻信號基本是理想的參考中頻信 號，該樣最終和待測中頻信號進行對比時才能夠得到最精確的相位信息。
[0024] 本發明的另一個目的，可通過W下技術方案實現：一種基於雷射外差幹涉術的共 聚焦顯微成像系統，包括雷射光源部分，頻移部分，共聚焦掃描部分，光信號採集部分及信 號分析部分；
[0025] 雷射光源包含輸出一個單波長雷射的雷射器和將該雷射分成兩束雷射的光源分 束器；
[0026] 頻移部分包含本振光傳輸光路和信號光傳輸光路；所述本振光傳輸光路設有可調 頻率的第一聲光頻移器、本振光分束器；
[0027] 信號光傳輸光路設有固定頻率的第二聲光頻移器、信號光分束器、信號光合束 器；
[0028] 光信號採集部分包含用於採集待測光的第一光電探測器、用於採集參考光的第二 光電探測器；
[0029] 信號分析部分包含用於處理兩個通道信號的計算機；
[0030] 光源分束器分出的其中一束進入信號光傳輸通道的第一聲光頻移器調製，其輸出 的一級光作為信號光；另一束進入本振光傳輸通道的第二聲光頻移器調製，其輸出的一級 光作為本振光；
[0031] 所述信號光經信號光分束器分成第一、第二信號光束，所述本振光經本振光分束 器分成第一、第二本振光束，其中第二信號光束傳輸到本振光分束器與第二本振光束進行 合束為參考光，並輸入到第二光電探測器上，經第二光電探測器對參考光採集後輸出參考 中頻信號；
[0032] 第一信號光束進入共聚焦掃描部分，第一信號光束照射到樣品部分後，按原路返 回並輸入到信號光合束器，第一本振光束也輸入到信號光合束器進行合束為待測光，並輸 入到第一光電探測器上，經第一光電探測器對待測光採集後輸出待測中頻信號；
[0033] 採集到的參考中頻信號和待測中頻信號輸入到信號分析部分進行處理，得出聚焦 點的相位信息；共聚焦掃描部分進行逐點逐層掃描，得到一個個不同位置點的相位信息，並 合成待測樣品的H維信息圖像。
[0034] 本發明系統在獲得聚焦點相位信息時，掃描部分做軸向的微位移，得到聚焦點的 相位發生連續變化的信息。
[0035] 本發明系統所述分束器、合束器均採用偏振分束器，在各偏振分束器的輸入端的 光路中均設有用於調製偏振方向的半波片。
[0036] 本發明系統第一信號光束進入共聚焦掃描部分輸入端的光路中依次設有半波片、 偏振分束器和四分之一波片，使第一信號光束能全部進入共聚焦掃描部分；同時使共聚焦 掃描部分中返回輸出的第一信號光束經偏振分束器全反射到光信號合束器上。
[0037] 本發明系統光電探測器的輸入端光路中設有檢偏器，使得信號光和本振光的偏振 方向保持一致，從而提高了拍頻效率。
[0038] 本發明在現有雷射共聚焦顯微鏡的顯微鏡光學系統、掃描部分的基礎上，加入頻 移部分，結合光外差幹涉技術實現精確測量。在充分利用了共聚焦掃描顯微鏡的超高橫向 解析度的同時，又通過獲取精確的相位信息取代強度信息，不僅提高了軸向解析度，還避免 了使用英光染料帶來的一系列問題。可W在無標記的情況下測量透明的相位物體。
[0039] 本發明採用的光外差幹涉技術，獲得的相位信息具有比英光光強信息更高的信噪 比和靈敏度。使得在不增大雷射光強的同時，可W獲得極弱反饋背景下目標的信息，增大了 雷射共聚焦顯微鏡的可探測深度。
[0040] 本發明採用光外差幹涉，隨著共聚焦顯微鏡中的掃描裝置做連續軸向微位移，得 到的相位發生連續變化，使用簡單的相位計數方法，就可W獲得了焦點光腰的內分辨，分辨 尺度可W達到納米量級。克服了目前共聚焦顯微鏡在聚焦點存在微米量級的無法內分辨光 腰的問題。內分辨精度可W達到納米量級，實現了光腰內的高分辨測量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0041] 圖1為本發明系統的原理框圖。

【具體實施方式】
[0042] 如圖1，本發明具體實施例包括雷射光源部分，頻移部分，共聚焦掃描部分，光信號 採集部分及信號分析部分；
[0043] 雷射光源包含輸出一個單波長雷射的雷射器1、半波片2a、將該雷射分成兩束激 光的偏振分束器3a;
[0044] 頻移部分包含本振光傳輸光路和信號光傳輸光路，本振光傳輸光路設置可調頻率 的第一聲光頻移器4b、用於調整本振光傳輸方向的發射鏡10、半波片2d、本振光偏振分束 器3d、半波片2g;信號光傳輸光路設置固定頻率的第二聲光頻移器4a、半波片化、用於信號 光分束的偏振分束器3b、半波片2e、半波片2c、偏振分束器3c、四分之一波片6、半波片2f、 用於信號光合束的偏振分束器3e;
[0045] 光信號採集部分包含用於採集待測光的第一光電探測器1la、用於採集參考光的 第二光電探測器12a;
[0046] 信號分析部分包含用於處理兩個通道信號的計算機13 ;
[0047] 如圖1所示，雷射器1發出的雷射經過半波片2a調整偏振角度後被偏振分束器3a 分成兩束雷射光源。
[0048] 較弱的一束雷射光源進入聲光頻移器4b後輸出一級光為本振光，其頻移值可調， 例如可調範圍為f±Af。經過聲光頻移器4b出射的一級光經過反射鏡10的反射改變傳輸 方向後，被半波片2d調製了偏振方向，經過偏振分束器3d後分成第一、第二兩束本振光，被 偏振分束器3d反射部分為第二本振光，信號光傳輸光路中被偏振分束器3b反射的第二信 號光又經過半波片2e調製傳輸到偏振分束器3d，與偏振分束器3d反射部分的第二本振光 合束為參考光，同時進入檢偏器Ila後在光電探測器12a光敏面上拍頻作為參考中頻信號。
[0049] 其中較強的一束雷射光源進入聲光頻移器4a，聲光頻移器4a輸出一級光為信號 光，其頻移值為固定值，例如f。聲光頻移器4a輸出的一級光再次經過半波片化調整偏振 角度後被偏振分束器3b分成第一、第二兩束信號光，較強一部分的第一信號光被偏振分束 器3b透射輸出用於去照射待測樣品；調節半波片2c，使得第一信號光束完全通過偏振分束 器3c進入共聚焦顯微系統。進入掃描系統的第一信號光首先經過四分之一波片6的調製 後，入射到共聚焦顯微系統的小孔7,後經過透鏡5a變成平行光入射至現有共聚焦顯微系 統的掃描振鏡8,後經過透鏡化聚焦到樣品部分9,在焦點處被樣品反射後可W原路返回， 再次經過小孔7,後被四分之一波片6調製；由於從偏振分束器3c出射的光經過兩次四分 之一波片，使得光的偏振方向發生90度的偏轉，那麼再次經過偏振分束器3c的時候就可W 被完全反射。
[0050] 第一信號光照射樣品後原路返回被偏振分束器3c反射又經過半波片2g調整偏振 方向傳輸到偏振分束器3e，而上述本振光傳輸光路中經過偏振分束器3d透射部分的第一 本振光經過半波片2g調整偏振方向後也傳輸到偏振分束器3e，上述兩個光束在偏振分束 器3e處匯合為待測光，同時進入檢偏器1化後在光電探測器1化光敏面上拍頻作為參考中 頻信號。檢偏器的作用是使得兩個通道中的信號光和本振光的偏振方向保持一直，從而提 高了拍頻效率。兩個通道的信號進入信號分析部分進行數據處理，通過計算機或其他計算 模塊獲得待測樣品的信息。
[0051] 為了可W避免空氣的幹擾，最好使用光纖進行光束傳播，該樣參考光路中的信號 光和本振光收到的幹擾就變成一樣，那麼經過拍頻和光電轉換後形成的參考中頻信號基本 是理想的參考中頻信號，該樣最終和待測中頻信號進行對比時才能夠得到最精確的相位信 息。
[0052] W上述數據為例，待測光中的信號光強為
[0053] /,=與sin口兄(v'-/)t+閒+輝] (0. 1)
[0054] 其中Ei為其幅值，V為雷射輸出光束的固有頻率，它高達GHz量級，5XIO7為聲光 頻移器4a的頻移值50MHz，巧為雷射輸出光束的初始相位，界2為信號光經過掃描系統後所 附加的相位，即最終需要的相位值。
[00巧]待測光中的本振光光強為
[0056] /; =&sin[2兀(r-/ +A/'H+0] (0. 2)
[0057] 其中，Af為聲光頻移器4b和聲光頻移器4a的頻率差值，Af的取值範圍為 0.1-2MHZ。
[0058]若兩束光在光敏面上偏振方向一致，又由於光電探測器僅能響應幹涉光的中頻 項，因此，光電探測器12a可探測的光強為
[0059] Si(t) =EiEgCos(Aft) (0.3)
[0060]相應的，光電探測器1化可探測的光強為
[0061] .S',(0 = ￡,￡,cos(A// + ) (0. 4)
[0062]待測中頻電信號S2(t)與參考中頻電信號Si(t)同時被採集並經雙通道A/D數據 採集卡進行數字採樣，然後轉換為離散的數位訊號。
[0063]兩路數位訊號輸入到計算機或計算模塊進行處理，使用UbVIEW或者其他數據處 理軟體進行求解兩路信號之間的相位差提取。相位差提取算法通常採用W下H種，即，傅立 葉變換法，正交解調法或最小二乘法。經過該些算法就可W獲得待測樣品當前探測點（即 聚焦點）的相位信息。共聚焦掃描部分不斷工作，得到一個個不同位置點的相位信息，當掃 描部分將光束掃描過一個平面時，由計算機得到的是待測樣品的掃描面的信息圖像，隨後， 掃描部分通過升降物品臺或者物鏡，使得光束掃描的面與之前的面在空間高度上有區別， 那麼再得到另外一個物體斷面的相位信息，當得到了許多斷面之後，再通過計算機通過常 用的圖像合成軟體將該些斷面拼接成一個H維圖像，即可反應出物體的H維相位信息。
[0064] 在獲得當前探測點（即聚焦點）的相位信息後，若保持該聚焦點在物體平面內不 動，掃描部分中的微位移裝置（如壓電陶瓷等）進行縱向連續移動，計算機就可W得到的當 前聚焦點的相位變化。由於相位是包裹在（-K,n]中的，利用當前所得到的相位信息與前 一時刻得到的相位信息比較，若時間前後的相位信息之差的符號發生變化時，就計數器加 一；如此一來，當相位遞增到波長入/2的整數倍時，就實現整數計數，實現了光腰內的相對 測量。該個隨時間變化的相位應該是一個正弦曲線抑0，具體令KO= 口片+ 1)-的0，那麼當 Y(t)的符號發生變化是，使得設置在計算機中的計數器就加一；令口(0-例0)，結合 計數器中的數值n，O(t)+n-n反映的是當前聚焦點的內部相對相位分布。
[0065]本發明不局限與上述【具體實施方式】，根據上述內容，按照本領域的普通技術知識 和慣用手段，在不脫離本發明上述基本技術思想前提下，本發明還可W做出其它多種形式 的等效修改、替換或變更，均落在本發明的保護範圍之中。
【權利要求】
1. 一種基於光外差幹涉術的共聚焦掃描顯微成像方法，包括： (1) 將雷射光源發出的單波長雷射分成兩束光，其中一束進入一個具有固定頻率的聲 光頻移器調製，其輸出的一級光作為信號光；另一束進入一個具有可調頻率的聲光頻移器 調製，其輸出的一級光作為本振光；所述可調頻率為所述固定頻率前後0. 1-2MHZ範圍； (2) 將所述信號光再次分成第一、第二信號光束，所述本振光再次分成第一、第二本振 光束，其中將第二信號光束和第二本振光束進行合束並輸入到第二光電探測器上，經光電 探測器對合束光採集後輸出參考中頻信號； (3) 將第一信號光束進入共聚焦掃描系統，第一信號光束照射到樣品部分後，按原路返 回並與第一本振光束進行合束並輸入到第一光電探測器上，經光電探測器對合束光採集後 輸出待測中頻信號； (4) 將採集到的參考中頻信號和待測中頻信號進行處理，最後得出聚焦點的相位信息； 共聚焦掃描系統中的掃描部分進行逐點逐層掃描，得到一個個不同位置點的相位信息，並 合成樣品的三維信息圖像。
2. 根據權利要求1所述的共聚焦掃描顯微成像方法，其特徵在於當在步驟（4)得到 的某一聚焦點的相位信息時，聚焦點在物體平面內不動，掃描部分做軸向的微位移，得到聚 焦點的相位發生連續變化信息，利用當前所得到的相位信息與前一時刻得到的相位信息比 較，若時間前後的相位信息之差的符號發生變化時，就計數器加一；當相位遞增到波長/2 的整數倍時，就實現整數計數，既實現對聚焦點光腰內的相對測量。
3. 根據權利要求1所述的共聚焦掃描顯微成像方法，其特徵在於採用偏振分束器來進 行分束、合束，各路光在分束、合束前，均採用半波片調製偏振方向。
4. 根據權利要求1所述的共聚焦掃描顯微成像方法，其特徵在於步驟3中第一信號光 束與共聚焦掃描系統之間經半波片、偏振分束器和四分之一波片調製耦合，半波片、偏振分 束器使第一信號光束全部進入共聚焦掃描系統中，同時四分之一波片和偏振分束器使照射 到樣品部分後，按原路返回的第一信號光束由偏振分束器全反射輸出。
5. 根據權利要求1所述的共聚焦掃描顯微成像方法，其特徵在於步驟2、3中的合束光 輸入到光電探測器前，先進入檢偏器，使得信號光和本振光的偏振方向保持一致。
6. 根據權利要求1至5任一項所述的共聚焦掃描顯微成像方法，其特徵在於採用光纖 進行光束傳輸。
7. -種基於雷射外差幹涉術的共聚焦顯微成像系統，包括雷射光源部分，頻移部分，共 聚焦掃描部分，光信號採集部分及信號分析部分； 雷射光源包含輸出一個單波長雷射的雷射器和將該雷射分成兩束雷射的光源分束 器； 其特徵在於：頻移部分包含本振光傳輸光路和信號光傳輸光路；所述本振光傳輸光路 設有可調頻率的第一聲光頻移器、本振光分束器； 信號光傳輸光路設有固定頻率的第二聲光頻移器、信號光分束器、信號光合束器； 光信號採集部分包含用於採集待測光的第一平衡式光電探測器、用於採集參考光的第 二平衡式光電探測器； 光源分束器分出的其中一束進入信號光傳輸通道的第一聲光頻移器調製，其輸出的一 級光作為信號光；另一束進入本振光傳輸通道的第二聲光頻移器調製，其輸出的一級光作 為本振光； 所述信號光經信號光分束器分成第一、第二信號光束，所述本振光經本振光分束器分 成第一、第二本振光束，其中第二信號光束傳輸到本振光分束器與第二本振光束進行合束 為參考光，並輸入到第二光電探測器上，經第二光電探測器對參考光採集後輸出參考中頻 信號； 第一信號光束進入共聚焦掃描部分，第一信號光束照射到樣品部分後，按原路返回並 輸入到信號光合束器，第一本振光束也輸入到信號光合束器進行合束為待測光，並輸入到 第一光電探測器上，經第一光電探測器對待測光採集後輸出待測中頻信號； 採集到的參考中頻信號和待測中頻信號輸入到信號分析部分進行處理，得出當前聚焦 點的相位信息；共聚焦掃描部分不斷工作，得到一個個不同位置點的相位信息，併合成待測 樣品的三維信息圖像。
8. 根據權利要求7所述的共聚焦掃描顯微成像方法，其特徵在於所述分束器、合束器 均採用偏振分束器，在各偏振分束器的輸入端的光路中均設有用於調製偏振方向的半波 片。
9. 根據權利要求7所述的共聚焦掃描顯微成像方法，其特徵在於：在第一信號光束進 入共聚焦掃描部分輸入端的光路中依次設有半波片、偏振分束器和四分之一波片。
10. 根據權利要求7所述的共聚焦掃描顯微成像方法，其特徵在於：在光電探測器的輸 入端光路中設有檢偏器。
【文檔編號】G01N21/45GK104359862SQ201410624833
【公開日】2015年2月18日 申請日期:2014年11月6日 優先權日:2014年11月6日
【發明者】王翰林, 劉滿林, 劉俊, 安昕, 張浠 申請人:佛山市南海區歐譜曼迪科技有限責任公司