壓力容器的製造方法
2023-10-18 00:32:29 3
壓力容器的製造方法
【專利摘要】本實用新型主要在壓力容器的第二本體與第一本體的間設有至少一主動密封元件，另在相對於主動密封元件內圈位置設有至少一被動密封元件；於使用時，可控制主動密封元件是否與第二本體接觸，且在主動密封元件與第二本體接觸的狀態下，第一本體的第一容積空間抽真空，藉由第一容積空間所產生的負壓作用，讓第二本體與第一本體及被動密封元件緊密貼合，並且讓作用力同時平均分布於被動密封元件上。從而可獲致相對較為可靠的密封效果，以及在第二本體與第一本體蓋闔過程中，不會造成主動密封元件及被動密封元件扭曲變形，有利於第二本體與第一本體快速蓋闔，進而提升使用對象的加工產能。
【專利說明】壓力容器
【技術領域】
[0001]本實用新型有關一種壓力容器，尤指一種可以獲致較佳密封效果的壓力容器。
【背景技術】
[0002]在既有習知的加工【技術領域】當中，經常會透過改變加工環境壓力差的方式達到預期的加工效果；例如，在習知的半導體晶片封裝過程中，必須先從晶圓切割出適當大小的晶片，再將其黏附於一載板上(載板可為一基板或可為一導線架等各種可以承載晶片用以聯外部電子訊號用的承載物)。在黏附的過程中，膠著材料中會產生許多氣泡，造成老化後的膠著材料中會有空腔而影響產品的可靠性、質量。
[0003]因此，在黏附的過程中多會進一步施以高壓與高溫於膠著材料的上，主要利用高溫使膠著材料的黏度降低，以及利用高壓使於膠著材料中已存在的氣泡因壓力差而排除於膠著材料之外、或因壓力差而使膠著材料中的氣泡縮小，進而有效提升產品的質量及可靠性。以及，就處理矽晶圓等的ULSI半導體製程而言，有在半導體基板上形成具備接觸孔的絕緣氧化膜，並於此膜面上形成鋁合金膜，然後藉由氬氣等的惰性氣體來作成高溫、高壓環境，且將鋁合金膜埋入接觸孔內最深部的所謂的高壓回流製程。
[0004]類似的高壓環境主要被限制在一壓力容器當中，該壓力容器基本上由一容器本體及一蓋體所組成，該容器本體設有至少一方便加工物進出的開口，再由蓋體對應蓋闔於容器本體的開口處；再者，為避免蓋體與容器本體的接合處產生壓力滲漏，整體壓力容器且如圖1所示，進一步於蓋體12與容器本體11的接合處設置數量不等的密封元件13 (如O環)。
[0005]原則上，壓力容器可藉由設於蓋體12與容器本體11的間的密封元件13增加密封效果，理論上，亦會隨著密封元件13的數量增加而更產生相對較佳的密封效果；再者，傳統壓力容器的蓋體12與容器本體11相蓋闔後，透過分布在蓋體12周圍的夾具14壓制力量，使密封元件13緊密貼合於蓋體12與容器本體11之間而產生密封效果。
[0006]然而，在實際的使用狀態下，若是採用逐一將夾具14緊扣的操作方式，經常因為蓋體12周圍的夾具14力量分布不均，而使蓋體12與容器本體11無法完全密合；以及，若是採用旋轉蓋體12的方式讓全數夾具14同時緊扣，而僅由夾具14的力量使蓋體12與容器本體11緊密貼合時，則在蓋體12與容器本體11相對旋轉的操作過程中，全數密封元件13的上、下部位分別會接受來自蓋體12及容器本體11的不同方向的作用力，經常導緻密封元件13扭轉變形而無法達到預期的密封效果。
實用新型內容
[0007]有鑑於此，本實用新型所解決的技術問題在提供一種可以獲致較佳密封效果的壓力容器。
[0008]本實用新型所採用的技術手段如下所述。
[0009]為達上揭目的，本實用新型的壓力容器，基本上包括:一第一本體、一第二本體、至少一主動密封元件、至少一被動密封元件，以及複數連接件；其中，該第一本體具有一供收容加工物的第一、至少一與第一容積空間相通的第一壓力控制通道、一與第一容積空間相通的開口，於開口邊沿環設有一供與第二本體接觸的貼合面，於貼合面上設有至少一道環繞於開口外圍供收容主動密封元件的限位溝槽，於限位溝槽與開口之間設有至少一道環繞於開口外圍供固定被動密封元件的定位溝槽，另於限位溝槽處設有至少一第二壓力控制通道；該第二本體供覆蓋於該第一本體的開口處，且可供重複開闔；該至少一主動密封元件安裝於第一本體的限位溝槽中，可受限位溝槽內的壓力變化而與第一本體相對位移；該至少一被動密封元件被固定在第一本體的定位溝槽中，且其表面相對凸出貼合面預定高度；各連接件相對設於第一本體的開口周圍處，供構成第二本體與第一本體相連接。
[0010]依據上述技術特徵，所述第二本體設有一與第一容積空間對應的第二容積空間。
[0011]依據上述技術特徵，所述至少一主動密封元件在其內外側邊沿凸設有供與限位溝槽的壁面貼合的翼部。
[0012]依據上述技術特徵，所述第一本體在其開口邊沿設有一相對凸出周圍預定寬度的肩部，該貼合面且延伸至肩部處。
[0013]所述至少一定位溝槽的槽口寬幅相對小於或等於或大於槽底寬幅。
[0014]所述壓力容器將全數連接件固設於第一本體的肩部處，且全數連接件由一可供第二本體對應嵌入的扣體所構成。
[0015]所述壓力容器將全數連接件固設於第二本體上，且全數連接件由一可供第一本體的肩部對應嵌入的扣體所構成。
[0016]所述壓力容器將預定數量的連接件固設於第一本體的肩部處，全數固設於第一本體肩部處的連接件由一可供第二本體對應嵌入的扣體所構成；以及，將其餘的連接件固設於第二本體上，全數固設於第二本體上的連接件由一可供第一本體的肩部對應嵌入的扣體所構成。
[0017]所述各連接件由一穿設於第二本體與第一本體的肩部之間的螺栓，以及一與螺栓相螺接的螺帽組成。
[0018]所述第二本體設有一透明視窗。
[0019]具體而言，本實用新型所揭露的壓力容器，可以產生下列功效。
[0020]1.可獲致相對較為可靠的密封效果，大幅提升壓力容器的適用性及實用性。
[0021 ] 2.可有效避免主動密封元件及被動密封件扭曲變形。
[0022]3.可有效降低主動密封元件及被動密封件磨損，進而提升主動密封元件及被動密封件的使用壽命。
[0023]4.在蓋體與容器本體蓋闔過程中，較不會造成主動密封元件及被動密封件扭曲變形，有利於蓋體與容器本體快速蓋闔，進而提升使用對象的加工產能。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024]圖1為一現有壓力容器的局部剖視圖。
[0025]圖2為本實用新型第一實施例的壓力容器結構剖視圖。
[0026]圖3為本實用新型第二實施例的壓力容器結構剖視圖。
[0027]圖4為本實用新型第三實施例的壓力容器結構剖視圖。
[0028]圖5為本實用新型第四實施例的壓力容器結構剖視圖。[0029]圖6為本實用新型第五實施例的壓力容器結構剖視圖。
[0030]圖號說明:
[0031]先前技術
[0032]11容器本體
[0033]12 蓋體
[0034]13密封元件
[0035]14 夾具
[0036]本實用新型
[0037]20第一本體
[0038]21容積空間
[0039]22第一壓力控制通道
[0040]23 開口
[0041]24貼合面
[0042]25限位溝槽
[0043]26定位溝槽
[0044]27第二壓力控制通道
[0045]28 肩部
[0046]30第二本體
[0047]31透明視窗
[0048]41主動密封元件
[0049]411 翼部
[0050]42被動密封元件
[0051]50連接件
[0052]51 扣體
[0053]52 螺栓
[0054]53 螺帽。
【具體實施方式】
[0055]如圖2本實用新型第一實施例的壓力容器結構剖視圖所示，本實用新型的壓力容器，基本上包括:一容器本體20、一蓋體30、至少一主動密封元件41、至少一被動密封元件42，以及複數連接件50 ;其中:該第一本體20具有一供收容加工物的第一容積空間21、至少一與第一容積空間相通的第一壓力控制通道22、一與第一容積空間21相通的開口 23，於開口 23邊沿環設有一供與第二本體30接觸的貼合面24，於貼合面24上設有至少一道環繞於開口 23外圍供收容主動密封元件41的限位溝槽25，於限位溝槽25與開口 23之間設有至少一道環繞於開口 23外圍供固定被動密封元件42的定位溝槽26，另於限位溝槽25處設有至少一第二壓力控制通道27。
[0056]該第二本體30供覆蓋於該第一本體20的開口處，且可供重複開闔；於實施時，該第二本體30可進一步設有一透明視窗31，以便透過透明視窗31觀察第一本體20的第一容積空間21內部的加工情況或狀態；在圖2至圖4所示實施例中，所述第二本體30進一步可設有一與第一本體20的第一容積空間21對應的第二容積空間32，藉以增加整體壓力容器的使用空間，及提供加工物較多樣的放置方式。
[0057]該至少一主動密封元件41安裝於第一本體20的限位溝槽25中，可受限位溝槽25內的壓力變化而與第一本體20相對位移；於實施時，該至少一主動密封元件41在其內外側邊沿凸設有供與限位溝槽25的壁面貼合的翼部411，使當經由第二壓力控制通道27對限位溝槽25施壓時，主動密封元件41的翼部411可相對外張，藉以增加與限位溝槽25之間的密合效果。
[0058]該至少一被動密封元件42被固定在第一本體20的定位溝槽26中，且其表面相對凸出貼合面24預定高度；於實施時,第一本體20的定位溝槽26槽口寬幅相對小於槽底寬幅(呈鳩尾狀斷面)，使可對被動密封元件42產生較佳的定位效果，並可防止被動密封元件42扭轉變形，另外，第一本體20的定位溝槽26槽口寬幅亦可相對等於或大於槽底寬幅。
[0059]各連接件50相對設於第一本體20的開口 23周圍處，供構成第二本體30與第一本體20相連接；於實施時，所述第一本體20可在其開口 23邊沿設有一相對凸出周圍預定寬度的肩部28，該貼合面24且延伸至肩部28處；至於，整體壓力容器可將全數連接件50固設於第一本體20的肩部28處，且全數連接件50由一可供第二本體30對應嵌入的扣體51所構成；整體壓力容器亦可將全數連接件50固設於第二本體30上，且全數連接件50由一可供第一本體20的肩部28對應嵌入的扣體51所構成。
[0060]當然，亦可如圖3所示，將預定數量的連接件50固設於第一本體20的肩部28處，全數固設於第一本體20肩部28處的連接件50由一可供第二本體30對應嵌入的扣體51所構成；以及，將其餘的連接件50固設於第二本體30上，全數固設於第二本體30上的連接件50由一可供第一本體20的肩部28對應嵌入的扣體51所構成。再者，所述各連接件50亦可以如圖3所示，由一穿設於第二本體30與第一本體20的肩部28之間的螺栓52，以及一與螺栓52相螺接的螺帽53組成。
[0061]再者，第一本體與第二本體可為不同型態組配，而因應不同被加工物使用達到氣密的壓力加工。如圖2的實施例所不,第一本體為一容器,而第二本體為一蓋體,容器搭配蓋體以容置被加工物，可達到密效果的壓力加工環境。或者，如圖4的實施例所示，第一本體為一容器，而第二本體為一容器，容器搭配容器容置被加工物，可達到氣密效果的壓力加工環境。或者，如圖5的實施例所示,第一本體為一具有凹槽的蓋體,而第二本體為一蓋體，蓋體搭配蓋體容置被加工物，可達到氣密效果的壓力加工環境。
[0062]上述各實施例中，該至少一主動密封元件以及至少一被動密封元件亦可設置於該第二本體處，如圖6的第三實施例所示，該第二本體30於開口 23邊沿環設有一供與第一本體20接觸的貼合面24，於貼合面24上設有至少一道環繞於開口 23外圍供收容主動密封元件41的限位溝槽25，於限位溝槽25與開口 23之間設有至少一道環繞於開口 23外圍供固定被動密封元件42的定位溝槽26，另於限位溝槽25處設有至少一第二壓力控制通道27 ；該至少一主動密封元件41安裝於第二本體30的限位溝槽25中，可受限位溝槽25內的壓力變化而與第二本體30相對位移；該至少一被動密封元件42被固定在第二本體30的定位溝槽26中，且其表面相對凸出貼合面24預定高度，以構成另種實施例的壓力容器。
[0063]原則上，上揭任一種結構形態的壓力容器，可直接應用於加工物需要於正壓環境下的除泡處理，或是於負壓環境下的脫泡處理，甚至可在除泡或脫泡的過程中，透過進一步對壓力容器內部第一容積空間加溫的方式，加速加工物的除泡或脫泡反應，以及提高除泡或脫泡質量。
[0064]值得一提的是，本實用新型的壓力容器可視使用對象的加工需求，直接構成常態正壓環境；再行抽真空達到負壓環境。其操作先以步驟(a)透過第二壓力控制通道對限位溝槽內部加壓，使主動密封元件浮升至與第二本體密合之後，再執行步驟(b)透過第一壓力控制通道對第一本體的第一容積空間加壓至預設的正壓值，並維持該壓力狀態至預定時間，以使加工物於該壓力容器構成常態正壓環境產生預期效果，再透過第一壓力控制通道22將第一容積空間21的壓力洩放；再進一步執行步驟(c)透過第一壓力控制通道對第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對朝第一本體位移至與被動密封元件緊密貼合，且透過第二壓力控制通道釋放限位溝槽內部壓力，可避免主動密封元件遭受磨損或扭轉變形，並持續對第一本體的第一容積空間抽真空至預定負壓值及預定時間，透過於該壓力容器構成常態負壓環境的方法，對加工物產生預期的效果。
[0065]承上所述，在透過第一壓力控制通道對第一本體的第一容積空間加壓至預設的壓力值，且維持該壓力狀態至預定時間之後，進一步透過第一壓力控制通道將第一本體的第一容積空間內部氣體回收，其透過第一壓力控制通道對第一本體的第一容積空間抽真空，使第二本體相對朝第一本體位移至與被動密封元件緊密貼合，且持續對第一本體的第一容積空間抽真空至預定設定值，而得以回收先前輸入第一容積空間的高經濟特殊氣體，而達到節省氣體供應重複使用的目的。
[0066]此外，本實用新型的壓力容器可視使用對象的加工需求，直接構成常態負壓環境；而在透過第二壓力控制通道27對限位溝槽25內部加壓，使主動密封元件41浮升至與第二本體30密合；同樣的，此步驟主要於被動密封元件42的外圍再形成一密封包覆作用，有助於順利執行後續的抽真空動作，或是可直接對第一本體20的第一容積空間21加壓，以及在第二本體30與第一本體20蓋闔的過程中，主動密封元件41可相對隱藏在限位溝槽25內部，有助於第二本體30與第一本體20快速蓋闔，並可避免主動密封元件41遭受磨損或扭轉變形；再透過第一壓力控制通道22對第一本體20的第一容積空間221抽真空，使第二本體30相對朝第一本體20位移至與被動密封元件42緊密貼合，且持續對第一本體20的第一容積空間21抽真空至預定負壓值，即可讓第一本體20的第一容積空間21構成預定的負壓環境，達到對加工物施以負壓處理的目的。進一步，再以加壓達到正壓環境，再透過第一壓力控制通道對第一本體的第一容積空間加壓(或大氣壓力)以破真空，進而對第一容積空間進行加壓，但構成正壓環境前，第一本體與第二本體間的氣密控制，先透過第二壓力控制通道對限位溝槽內部加壓，使主動密封元件浮升至與第二本體密合之後，再透過第一壓力控制通道對第一本體的第一容積空間加壓至預設的正壓值，並維持該壓力狀態至預定時間，以使加工物於該壓力容器構成常態正壓環境產生預期效果。
【權利要求】
1.一種壓力容器，包括:一第一本體，具有一供收容加工物的第一容積空間、至少一與第一容積空間相通的第一壓力控制通道、一與第一容積空間相通的開口，於開口邊沿環設有一供與第二本體接觸的貼合面，於貼合面上設有至少一道環繞於開口外圍供收容主動密封元件的限位溝槽，於限位溝槽與開口之間設有至少一道環繞於開口外圍供固定被動密封元件的定位溝槽，另於限位溝槽處設有至少一第二壓力控制通道；一第二本體，供覆蓋於該第一本體的開口處，且可供重複開闔；至少一主動密封元件，安裝於第一本體的限位溝槽中，可受限位溝槽內的壓力變化而與第一本體相對位移；至少一被動密封元件，被固定在第一本體的定位溝槽中，且其表面相對凸出貼合面預定高度；各連接件相對設於第一本體的開口周圍處，供構成第二本體與第一本體相連接。
2.如現有權利要求1所述的壓力容器，其特徵在於，該第二本體設有一與第一容積空間對應的第二容積空間。
3.如現有權利要求1所述的壓力容器，其特徵在於，該至少一主動密封元件在其內外側邊沿凸設有供與限位溝槽的壁面貼合的翼部。
4.如現有權利要求1所述的壓力容器，其特徵在於中，該第一本體在其開口邊沿設有一相對凸出周圍預定寬度的肩部，該貼合面且延伸至肩部處。
5.如現有權利要求1至4項其中任一所述的壓力容器，其特徵在於，該至少一定位溝槽的槽口寬幅相對小於或等於或大於槽底寬幅。
6.如現有權利要求4所述的壓力容器，其特徵在於，該壓力容器將全數連接件固設於第一本體的肩部處，且全數連接件由一可供第二本體對應嵌入的扣體所構成。
7.如現有權利要求4所述的壓力容器，其特徵在於，該壓力容器將全數連接件固設於第二本體上，且全數連接件由一可供第一本體的肩部對應嵌入的扣體所構成。
8.如現有權利要求4所述的壓力容器，其特徵在於，該壓力容器將預定數量的連接件固設於第一本體的肩部處，全數固設於第一本體肩部處的連接件由一可供第二本體對應嵌入的扣體所構成；以及，將其餘的連接件固設於第二本體上，全數固設於第二本體上的連接件由一可供第一本體的肩部對應嵌入的扣體所構成。
9.如現有權利要求4所述的壓力容器，其特徵在於，該各連接件由一穿設於第二本體與第一本體的肩部之間的螺栓，以及一與螺栓相螺接的螺帽組成。
10.如現有權利要求1至4項其中任一所述的壓力容器，其特徵在於，該第二本體設有一透明視窗。
【文檔編號】F16J12/00GK203548870SQ201320582296
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年9月18日 優先權日:2013年9月18日
【發明者】李俊賢 申請人:李俊賢