半導體製品的生產和生產設備及其電子交易系統與方法
2023-10-08 06:23:24 3
專利名稱：半導體製品的生產和生產設備及其電子交易系統與方法
技術領域：
本發明涉及用於通過網絡進行半導體製品交易的半導體製品的電子交易方法和系統，以及用於在工廠中進行高效率經營的生產系統、生產方法、生產設備設計系統、生產設備設計方法，生產設備製造方法。
背景技術：
在已往的典型半導體工廠中，以月產數千批的規模生產存儲器等通用品。在生產線內存在很多批，工期長，難於預測投放的製品何時出廠。即使在這種狀況下，對於通用品，只要使投放的批量符合交貨期，而不必予以特別的注意，也不會有太大的問題。
另一方面，在SOC(單片系統)時代的半導體工廠中，考慮到根據顧客的要求，主要以月產數百批的規模生產系統LSI。在這種規模的小工廠中(以下稱為小型加工廠mini-fab)，必須按使用者的要求投入需要的批量，進行適當的批量進展管理，遵守交貨期。並且，必須確定能否按照使用者的要求(規格、數量、交貨期、價格等)實際製造該製品。
但是，在已往的小型加工廠中，難於進行嚴密的批量進展管理，也難於正確進行可否按交貨期製造該製品的判定。對於系統LSI等的半導體製品，若構建成利用以互連網為主的網絡的電子交易系統，則將特別增加商業機會。然而，由於存在上述批量進展管理和製品製造判定的困難，因此進行這種半導體製品的電子交易也是極其困難的。
這樣，對於已有的半導體工廠，難於正確進行批量進展管理和可否製造該製品的判定，特別是對於SOC時代的小型加工廠，這將是錯過商業機會的主要原因。
並且，已有的典型半導體工廠中，在各種工序所使用的裝置，同一用途的通常有數臺到數十臺。因此，由於多批在同一種類的裝置進行處理，則存在批量流程難於把握的問題。作為把握批量流程的系統，有タイシン公司的稱為管理系統的軟體。該軟體是輸入在制品各工序使用的裝置和處理時間、裝置群等信息，在計算機上虛擬使批量流動，從而進行批量流程的把握和生產線的最佳化，制訂生產計劃。
為了實現生產線的最佳化和生產計劃，首先將實際生產線中的批量進展信息、關於裝置狀態的信息、製品的工序信息等各種信息，傳送到在計算機上虛擬構建的虛擬工廠。然後，將這些信息作為輸入數據，進行批量的進展預想計算，再將得到的信息作為工作指示，傳送到實際生產線。然而，對於月產數千批的大規模生產系統，由於計算機處理能力的限制，實際情況是對各種處理進行簡化計算。因此，不一定要進行準確的模擬。
作為類似的方法，提出了一種將生產試製系統的信息和實際系統的信息通過共有信息進行相互交流，利用進行模擬的結果管理生產或試製的製造工序的製造管理系統(特開平10-207506號公報)。然而，在該方法中，納入虛擬工廠的主要是裝置模擬和工序模擬、電路、形狀、邏輯模擬等，不包含使批量流動的部分，因此存在不能預測批量流程的問題。
圖1表示用管理系統得到的生產量和工期的計算結果。圖中，橫軸表示生產線內的批量數(＝Work in ProcessWIP，在制品)，縱軸表示生產量(月平均生產量)和工期。由圖可見，當WIP少時生產量大致與WIP成比例，工期為一定值。在這種狀態下，不大會發生批量的等待。當WIP變大時，生產量的斜率漸漸變小，最後生產量為一定值。該生產量與妨礙生產流程的裝置的處理能力相對應。在該領域。工期與WIP成比例地增加。
為了加大生產線的生產率，必須增加生產量，而且縮短工期。為了使工期最短，必須減少等待批量數，在該圖中必須使WIP在A附近。然而，生產量過小是不現實的。另一方面，為了使生產量最大，最好增大WIP以便在圖的C附近，但工期變長了。因此，在圖的B點附近經營是適當的。
然而，由於生產裝置的保養和故障、到達影響生產流程的裝置的製品的波動，如圖1中的虛線所示，生產量下降，生產率降低，為了防止生產量下降，必須進行恰當的處理，以便正確預測批量的進展，增加生產量，縮短工期。但是，對於上述大規模生產系統，由於計算機處理能力的限制，要簡化各種處理，不能精確計算，因此難於嚴密預測批量的進展。
另一方面，在某個裝置處理批量時會產生幾個選擇枝。例如，在可同時處理多個批量的分批裝置中，當1批量為等待批量時，必須進行應立即處理該批量或應等待其他批量到來的選擇。當某裝置中優先度較低的批量是等待批量，而且預想優先度較高的批量會在某時間後到來時，必須進行應該先處理該優先度較低的批量或者等待應先處理優先度較高的批量的選擇。此外，在引入連續工序時(例如，前處理→氧化或CVD)→後處理，24小時以內)，應以哪種定時開始處理，也是存在的問題。
從上述多個選擇枝中選擇其中適當1個的方法，根據狀況可以為各種各樣的。然而，在上述管理系統中，應專心規定選擇哪種選擇枝的規則，在該條件下進行批量進展的計算。因此，當上述選擇枝產生時，在管理系統中不可能進行該計算，這也是應解決的大問題。
這樣，已往為了實現半導體生產線的最佳化和生產計劃，必須模擬實際生產線上的各種處理，然而由於計算機處理能力的限制，實際情況是對各種處理進行簡化計算，因此難於進行正確的模擬。嚴密預測批量的進展也是困難的。從多個選擇枝中選擇最適當1個的方法是根據情況變化的，用已有方法難於選擇最適當的1個。
發明內容
本發明的目的是提供一種可以正確進行批量進展管理和可否製造該製品的判定、並可擴展商業機會的半導體製品的電子交易方法及系統。
本發明的另一目的是提供可以正確模擬實際生產線上的各種處理，在比較小規模的工廠中也可以進行高效率經營的生產系統、生產方法、生產設備設計系統、生產設備設計方法、生產設備製造方法。
為了解決上述課題，本發明採用下述構成。
本發明是進行半導體製品的製造銷售的從業者和購入半導體製品的購入者進行交易的半導體製品的電子交易方法，其特徵是將購入者或其代理者使用的顧客終端與通過在計算機上對製造半導體製品的實際生產線的生產工序進行模擬的虛擬生產線連接，實時模擬購入者所希望的製品按購入者所希望的條件在虛擬生產線上流動的情況，以便判定是否可按購入者希望的條件製造該製品。
另外的本發明是進行半導體製品的製造銷售的從業者和購入半導體製品的購入者利用網絡進行交易的半導體製品的電子交易方法，其特徵是具有將在計算機上對製造半導體製品的實際生產線的生產工序進行模擬的虛擬生產線與購入者或其代理者使用的顧客終端通過網絡進行連接的步驟；從上述顧客終端輸入購入者應購入的製品及所希望的條件並傳送到上述虛擬生產線的步驟；根據輸入到上述虛擬生產線的製品及條件，按購入者所希望的條件實時模擬在該虛擬生產線上製品流動情況的步驟；將在該虛擬生產線上模擬的結果傳送到上述顧客終端的步驟；對於上述模擬結果，從上述顧客終端回答可否做成生意的步驟；若生意成立，從上述虛擬生產線向上述實際生產線發出製造半導體製品的指示的步驟。
另一個本發明是購入半導體製品的購入者利用網絡與進行半導體製品的製造銷售的從業者進行交易的半導體製品的電子交易方法，其特徵是具有對於在計算機上模擬製造半導體製品的實際生產線的生產的虛擬生產線，通過網絡連接購入者或其代理者使用的顧客終端的步驟；從上述顧客終端輸入應購入的製品及其條件的步驟；根據上述輸入的製品及條件，在上述顧客終端接收按購入者所希望的條件實時模擬在該虛擬生產線上製品流動情況的結果的步驟；對於上述接收的模擬結果，從顧客終端回答是否購入半導體製品的步驟。
另一個本發明是進行半導體製品的製造銷售的從業者利用網絡與購入半導體製品的購入者進行交易的半導體製品的電子交易方法，其特徵是具有將在計算機上模擬製造半導體製品的實際生產線的生產的虛擬生產線，通過網絡與購入者或其代理者使用的顧客終端連接的步驟；將從上述顧客終端輸入的應購入的製品及其條件傳送到上述虛擬生產線的步驟；根據傳送到上述虛擬生產線的製品及其條件，按照購入者希望的條件實時模擬在該虛擬生產線上製品流動情況的步驟；將上述模擬結果傳送到上述顧客終端的步驟；根據從上述顧客終端對上述模擬結果的回答，判定該生產是否成立，若生意成立，從上述虛擬生產線向上述實際生產線發出製造半導體製品的指示的步驟。
另一個本發明是一種半導體製品的電子交易系統，具有在計算機上模擬實際製造半導體製品的實際生產線的生產工序的虛擬生產線；通過網絡將該虛擬生產線與顧客終端連接的連接伺服器，其特徵是上述連接伺服器將從上述顧客終端輸入的條件傳送到上述虛擬生產線，將在傳送的條件下實時模擬在上述虛擬生產線上製品流動情況的結果傳送到上述顧客終端。
另一個本發明是一種半導體製品的電子交易系統，具有在計算機內構建的與實際製造製品的實際生產線具有實質上相同功能的虛擬生產線；將上述實際生產線中的各種信息傳送到上述虛擬生產線的裝置；根據上述傳送的信息在上述虛擬生產線計算最佳批量進展方法的裝置；根據上述計算結果將工作指示數據傳送到上述實際生產線的裝置；通過網絡將上述虛擬生產線與顧客終端連接的連接伺服器，其特徵是將從上述顧客終端輸入的條件通過上述連接伺服器傳送到上述虛擬生產線，在傳送的條件下實時模擬在虛擬生產線上製品流動情況，將模擬結果通過上述連接伺服器傳送到上述顧客終端，根據模擬結果進行交易。
本發明中，作為從業者或顧客的用戶通過網絡與虛擬生產線連接，輸入預定的LSI的製品名稱、規格、交貨期、價格等，在虛擬生產線上模擬是否可以製造該製品。通過該模擬使得到了可以製造的結果的生產成立，向實際生產線發出工作指出。當得到了不可能的結果時，改變半導體製品的規格、數量、交貨期、價格等，若得到了可容許的解決方案時，生產成立，向實際向產線發出工作指出。
由於虛擬生產線是在計算機上模擬製造半導體製品的實際生產線的生產工序構建的，則用其進行模擬，可以正確進行實際生產線的批量進展管理和可否製造該製品的判定。因此，對於SOC時代的小型加工廠，可以進行半導體製品的電子交易，擴展商業機會。
另一個本發明是對於較小規模的工廠進行高效率經營的生產系統，其特徵是具有實際製造該製品的實際生產線；在計算機內構建的與該實際生產線具有實質上同樣功能的虛擬生產線；將上述實際生產線的各種信息傳送到上述虛擬生產線的裝置；根據上述傳送的信息在上述虛擬生產線計算最佳批量進展方法的裝置；根據上述計算結果將工作指示數據傳送到上述實際生產線的裝置。
另一個本發明是使用實際製造該製品的實際生產線以及在計算機內構建與該實際生產線實質上相同功能的虛擬生產線，通過以虛擬生產線進行的模擬可使實際生產線高效率利用的生產方法，其特徵是包含將上述實際生產線的各種信息傳送到上述虛擬生產線的步驟；根據上述傳送的信息在上述虛擬生產線計算最佳批量進展方法的步驟；根據上述計算結果將工作指示數據傳送到上述實際生產線的步驟；根據上述工作指示數據在上述實際生產線開始生產的步驟。
本發明中，對於半導體工廠特別是月產數千件或以下的比較小的半導體工廠(實際生產線小型加工廠)，為了高效率生產線的經營，設置了虛擬製造該製品(包含試製品)的虛擬工廠(虛擬生產線)。將來自實際製造該製品的實際生產線的批量進展信息、有關裝置狀況的信息傳送到虛擬生產線。將這些信息和在虛擬生產線內有關製品的工序信息作為輸入數據，進行批量進展預想的計算。輸出從該計算結果得到的最佳處理批量、順序等信息，將其作為工作指示傳送到實際生產線。在實際生產線，根據傳送的工作指示進行工作。這樣，即可實現生產線的高效率經營。
將批量進展信息、有關裝置狀況的信息、製品的工序信息作為輸入數據進行批量進展預想的計算過程中，某個裝置處理批量時可產生幾個選擇枝。例如，在可以同時處理多個批量的分批裝置中，當1批量為等待批量時，要進行應立即處理該批量或是等待其他批量到來的選擇。當預想其他批量立即到來時，可考慮等待該批量，當該批量不能立即到來時，可考慮僅對1批量進行處理。因此，可根據情況改變為最佳處理方法。另外，當某裝置中優先度較低的批量為等待批量，而且預想優先度較高的批量在某時間後到來時，必須進行應先處理該優先度低的批量或應等待的選擇。
對於這些各種各樣的選擇枝，本發明對其全部或其一部分進行計算。當進行選擇的地方是多個時，對其全部組合或其中一部分的組合進行批量進展的預測。在由輸入數據指定該操作的計算對象時間的期間進行。
在生產月產數萬件或以上晶片的大規模半導體工廠中，相同種類的裝置有數臺到數十臺，當對上述組合進行計算時，必須進行非常龐大的計算，實質上這種計算是困難的。另一方面，在生產月產數千件或以下晶片的半導體工廠中，相同種類的裝置最低1臺至多數臺，容易產生多個選擇枝的裝置，例如承擔多個批量的裝置為全部的1/3以下，進行選擇的機會比處理月產數萬件晶片的大規模半導體工廠要少。因此，組合數也較少，可以使作為批量進展計算的對象的時間拉長。
具體地說，在已往的大規模工廠中，由於計算機的限制，僅能計算10分鐘的進展，而在本發明作為對象的小型加工廠中，用同樣的計算機可計算1周的進展，是實用的。根據該批量進展預測，參照用於決定從其他途徑輸入的最佳處理方法或處理順序的判定條件，即可決定最佳處理方法或處理順序。將該處理方法向生產線發出工作指示。其結果，可實現批量的高效率流動，工期縮短，增加生產量。因此，提高了半導體晶片製造的生產率。
利用這種半導體晶片的製造方法，可以實現優先度高的製品的優先處理以及優先度低的製品在可能範圍內的高效率處理。在保養和裝置維修時，也可實現批量的處理順序的最佳化。
圖1是表示根據採用管理系統的已有技術的生產量和工序的計算結果例的圖。
圖2是表示第1實施例的半導體製品電子交易系統的整體構成的方框圖。
圖3是說明第1實施例的全部處理流程的流程圖。
圖4是說明第1實施例的全部處理流程的流程圖。
圖5是表示用於進行裝置規格的輸入選擇的監視器畫面例的圖。
圖6A和6B是表示用於輸入裝置規格的監視器畫面例的圖。
圖7是表示根據訂貨數量和交貨期的價格回答例的監視器畫面例的圖。
圖8是表示用於輸入訂貨量和交貨期的監視器畫面例的圖。
圖9是表示來自裝置製造廠商的可能的交貨期和價格的監視器畫面例的示圖。
圖10是表示進行交貨期和價格再商談的監視器畫面例的圖。
圖11是表示用於說明第2實施例的在本發明電子交易方法中使用的半導體生產系統例的方框圖。
圖12是採用該實施例的半導體生產系統的批量進展計算處理的概念圖。
圖13A～13E是採用該實施例的半導體生產系統的批量進展計算處理的輸入數據圖。
圖14是該實施例的虛擬工廠13中，在未等待把握的某時刻的其他批量處理結束進行處理時的批量流動圖。
圖15是用於說明第2實施例的在批量進展預想時產生的選擇種類圖。
圖16是該實施例的虛擬工廠13中，等待把握的某時刻的其他批量處理結束進行處理時的批量流動圖。
圖17是用於說明第2實施例的從在批量進展時產生的很多選擇枝組合中選擇最佳組合的次序圖。
圖18是實行電力正常化的可能的批量讀出計算處理的虛擬工廠的構成圖。
圖19是在進行電力正常化的虛擬工廠13中登記的裝置的電力·用料特性曲線圖。
圖20是在進行電力正常化的虛擬工廠13中登記的裝置的電力·用料的條件的數據圖。
圖21是第3實施例的生產系統圖。
圖22A～22C是未進行電力正常化時的生產系統圖。
圖22D～22F是進行電力正常化時的生產系統圖。
圖23是在第3實施例的生產系統圖中，從批量進展時產生的很多選擇枝組合中選擇最佳組合的次序圖。
圖24A和24B是大規模生產線和小規模生產線的電力圖。
圖25是該實施例的時間轉換的概念圖。
圖26是第4實施例的生產系統圖。
圖27A～27C是未進行超純水正常化時的生產系統圖。
圖27D～27F是進行超純水正常化時的生產系統圖。
圖28是在第4實施例的生產系統圖中，從在批量進展時產生的很多選擇枝組合中選擇最佳組合的次序圖。
具體實施例方式
以下根據圖示的實施例詳細說明本發明。
第1實施例圖2是表示本發明第1實施例的半導體製品的電子交易系統全部構成的方框圖。
網絡10例如是在網際網路中代表的計算機網絡，本系統通過該網絡10完成電子交易。
在網絡10上連接多個顧客終端11和連接伺服器12。顧客終端11是作為顧客的用戶和從業者操作的終端，可以採用能與網際網路連接的個人計算機和攜帶電話。在連接伺服器12上連接稱為小型加工廠的虛擬工廠(虛擬生產線)13。該連接伺服器12在顧客終端11和虛擬工廠13之間進行各種數據的交換。虛擬工廠13，如後所述，與作為實際製造半導體製品的小型加工廠的實際工廠14連接。該虛擬工廠13由計算機系統實現。在計算機上虛擬構建實際工廠14的各種處理。在顧客終端11、虛擬工廠13、實際工廠14中都有與網絡10之間傳送和接收各種信息的傳送/接收裝置11a，13a，14a。
實際工廠14中的各種信息可手動或自動傳送到虛擬工廠13。虛擬工廠13將從實際工廠14傳送的某時刻的批量進展信息、裝置狀態信息作為輸入數據，進行某時間範圍內的批量進展預測的模擬。虛擬工廠13的模擬結果作為工作指示傳送到實際工廠14。例如，將某裝置結束批量處理的時間通知操作者，向該裝置發出下次應投入的批量的指示以及將結束的批量保存在何處或向哪個搬運裝置移動的指示。
下面，參照圖3的流程圖說明本實施例的電子交易的情況。
虛擬工廠13經常對實際工廠14的批量進展狀況和裝置的狀態進行管理，可計算與實際工廠14同等的批量進展(S1)。具體地說，從實際工廠14向虛擬工廠13傳送批量進展信息、裝置狀態信息。在該狀態下，作為顧客的用戶或從業員(以下稱為使用者)通過網絡10、連接伺服器12與虛擬工廠連接，輸入所希望的製品(LSI的製品名稱、規格、數量、交貨期、價格等)(S2)。輸入的各信息傳送到虛擬工廠13。
在虛擬工廠13，接收在S2輸入的各信息，根據該接收的信息計算批量的進展預測(S3)。也就是，模擬是否可以製造由使用者輸入的製品。根據模擬結果判定能否製造(S4)，能製造時將其傳達給使用者(S5)。傳達給使用者的方法是通過連接伺服器12、網絡10，將表示可以製造的數據發送到顧客終端11。顧客終端11根據接收的數據在監視器(未圖示)畫面上顯示表示可以製造的信息，催促使用者可否購入。
根據監視器畫面顯示的模擬結果，使用者決定是否購入製品(S6)，若同意購入則生意成立。是否購入製品即是否同意製品的購入，是使用顧客終端11的輸入裝置(未圖示)通過輸入表示購入製品的信息或表示不購入製品的信息來實現的。當虛擬工廠13接收到表示購入製品的信息時，則判定生意成立。這時，虛擬工廠13自動或半自動地指示實際工廠14製造該製品(S7)。所謂自動，即當判定生意成立後，不通過人的動作而由計算機向實際工廠14發出工作指示命令。所謂半自動，即當判定生意成立後，判斷是否向虛擬工廠13的操作者發出工作指示，在有了操作者的工作指示確認輸入等人的動作後，再由計算機向實際工廠14發出工作指示命令。
在上述S4，若得出不能製造所希望的製品的計算結果，則利用環路A。具體地說，改變使用者的要求內容(規格、數量、交貨期、價格等)(S11)，在虛擬工廠13再次模擬是否可製造該製品。也就是，在變化使用者的要求內容的條件下再次進行批量進展預測計算(S3)，根據該計算結果判定可否製造該製品(S4)。當得出可以製造變更了使用者要求內容情況下的LSI的計算結果時，將該情況告知使用者(S5)。這時，也將要求的變更內容一起告知。當使用者同意時，生意即成立。
當即使變更使用者的要求內容也不能製造時，利用環路B。具體地說，改變在虛擬工廠13的批量狀況(S12)，在虛擬工廠13進行可否製造此種製品的再次模擬。也就是，在批量狀況條件改變的條件下再次進行批量進展預測計算(S3)，根據該計算結果判定可否製造該製品(S4)。例如，在某時刻優先度高的製品在實際工廠14內是多數時，在預想到交出這些製品後實際工廠14內的批量將減少的情況下，通過延遲批量的投入，在虛擬工廠13中模擬可否製造該製品。通過延遲批量投入的條件下的模擬，當得出可以製造該LSI製品的結果時，將該情況告知使用者(S5)。這時，也將告知延遲批量投入和交貨期。當使用者同意時，生產即成立。
當利用上述哪個環路都不能製造時，利用環路C。具體地說，選擇另一個小型加工廠(S13)，進行與上述同樣的操作，判定能否製造(S4)。也就是，對另一個小型加工廠進行批量進展預測計算(S3)，根據計算結果判定可否製造該製品(S4)，若判定可能製造，則將該情況告知使用者(S5)。若判定不能製造，則利用環路A和環路B再次進行模擬，尋求可能製造的條件。當另一個小型加工廠不能製造時，則生意不成立。當另一個小型加工廠能夠製造時，則將該情況告知使用者，在使用者同意來自小型加工廠的通知時，則生意成立。
以下參照圖4的流程圖和圖5～圖11的監視器畫面詳細說明上述處理。
首先，用戶從顧客終端11對連接伺服器12進行撥號，要求伺服器12的ID、密碼。當用戶輸入ID、密碼時，若ID、密碼正確則連接伺服器12接受並與虛擬工廠13連接。與此同時，在顧客終端11的監視器畫面上如圖5所示，輸出用於輸入裝置規格的第1畫面。
在第1畫面，用戶可進行如下選擇①輸入功能，求解裝置構成。
②優化選擇裝置構成。並構成系統。
當指定裝置的功能時，如圖6A所示，進入第2a畫面，當指定裝置的構成裝置時，如圖6B所示，進入第2b畫面。在第2a畫面，輸入作為系統的必要裝置。在第2b畫面，選擇SOC的構成裝置。
當從用戶輸入裝置規格時，伺服器12將其傳送到虛擬工廠13。在虛擬工廠13和實際工廠14之間，目前流動的批量狀況、有關製造的預定等進行實時交流。在虛擬工廠13，可考慮目前流動的批量和新投入的批量並進行模擬。虛擬工廠13根據目前流動的批量和新投入的批量導出交貨期和價格，通過伺服器12將回答送到顧客終端11。這時，顧客終端11的監視器畫面顯示為圖7的第3畫面。
用戶參照第3畫面進入下一個狀態，根據第3畫面的下一個畫面按鈕的選擇，虛擬工廠13將圖8的第4畫面顯示在顧客終端11的監視器畫面上。用戶根據該第4畫面，輸入必要事項(個數、交貨期)。接收到該必要事項(個數、交貨期)的虛擬工廠13，尋求符合該必要事項的解答。然後，從虛擬工廠13將作為第1次解答的圖9所示第5畫面表示在顧客終端11，向用戶提示可能的交貨期和價格(第1次解答)。若第1次解答是滿意的解答，用戶即訂貨。若不是滿意的解答，則將其告知虛擬工廠13。虛擬工廠13對此予以應答，將圖10所示的第6畫面顯示在顧客終端11的監視器畫面上，進一步與用戶交涉。在與用戶交涉時，虛擬工廠13計算提前交貨期和提高價格的程度等，對用戶作出回答。對用戶的回答是通過在顧客終端11的監視器畫面上表示必要信息來進行的。用戶在第2次交涉中認為是滿意的解答時，將予以訂貨。當有來自用戶的訂貨時，虛擬工廠13接受訂貨，進一步進行模擬導出詳細的交貨期，回答用戶。與此同時，向實際工廠14發出指示。實際工廠14按照該指示，開始製造該製品。
這樣，在本實施例中，構建在計算機上模擬製造半導體製品的實際工廠14的生產工序的虛擬工廠13，作為營業員或顧客的用戶通過網絡與虛擬工廠連接，輸入預定的LSI製品的名稱、規格、交貨期、價格等，由虛擬工廠13模擬是否可製造該製品，從而可正確進行實際工廠14的批量進展管理和可否製造該製品的判定。
當通過上述模擬得到了可以製造的結果時，則生產成立，向實際工廠14發出工作指示。當得到了不可能的結果時，改變半導體製品的規格、數量、交貨期、價格、批量狀況、進行製造的小型工廠等，若得到了容許的解答，則生意成立，向實際工廠14發出工作指示。這樣，對於SOC時代的小型加工廠，可進行半導體製品的電子交易，從而擴展了商業機會。
以下對使用本實施例的電子交易系統的實際電子交易例，在下面(1)～(9)中予以說明。
(1)按照用戶所希望的條件，營業員知道所希望的製品在虛擬工廠中流動，若流動順利，則可以製造，生意成立，由虛擬工廠發出工作指示。
(2)按照用戶所希望的條件，營業員知道所希望的製品在虛擬工廠中流動的結果是不能製造。改變交貨期再進行計算，當延遲10日交貨期得到了可以製造的結果時，則就此與用戶聯繫，得到同意後生意成立，由虛擬工廠發出工作指示。
(3)按照用戶所希望的條件，營業員知道所希望的製品在虛擬工廠中流動的結果是不能製造。改變動作頻率規格再進行計算，當使動作頻率規格下降為50MHz時得到了可以製造的結果時，則就此與用戶聯繫，得到同意後生意成立，由虛擬工廠發出工作指示。
(4)按照用戶所希望的條件，營業員知道所希望的製品在虛擬工廠中流動的結果是不能製造。改變價格再進行計算，當價格再加7％得到了可以製造的結果時，則就此與用戶聯繫，得到同意後生意成立，由虛擬工廠發出工作指示。
(5)按照用戶所希望的條件，營業員知道所希望的製品在虛擬工廠中流動的結果是不能製造。改變數量和交貨期再進行計算，當減少數量10％或延遲交貨期7日得到了可以製造的結果時，則就此與用戶聯繫。用戶選擇了後者，則生意成立，由虛擬工廠發出工作指示。
(6)按照用戶所希望的條件，營業員知道所希望的製品在虛擬工廠中流動的結果是不能製造，甚至進一步改變條件，也是不可能。為此，將另一個小型加工廠與可模擬的虛擬工廠連接，當進行同樣計算的結果是可以製造時，則就此與用戶聯繫，得到同意後生意成立，由虛擬工廠發出工作指示。
(7)按照用戶所希望的條件，營業員知道所希望的製品在虛擬工廠中流動的結果是不能製造，甚至進一步改變條件，也是不可能。希望在2、3日後優先度高的製品支付出去後，得到可以製造所希望製品的概率較高的結果，則處於等待狀態，3日後得到可以按照用戶所希望的條件製造的結果，就此與用戶聯繫，得到同意後生意成立，由虛擬工廠發出工作指示。
(8)在大致相同時間，在2個用戶詢問，營業員知道按照所希望的條件使2個用戶所希望的製品在虛擬工廠中流動的結果是不可能同時流動，即使改變各個條件，仍然不可能同時流動。因此，在2個用戶中，當使小型加工廠利益較大(或者對小型加工廠負擔較小)的用戶的製品在虛擬工廠中流動的結果是可以製造時，在得到用戶的同意後生意成立，由虛擬工廠發出工作指示。
如上所述，本實施例中，在進行半導體製品製造銷售的營業員和購入半導體製品的購入者通過網絡進行交易時，將購入者或其代理者使用的顧客終端與納入了可在計算機上模擬製造半導體製品實際生產線的生產工序的虛擬生產線的計算機連接。然後，按照購入者所希望的條件，實時模擬購入者所希望的製品在虛擬生產線上的流動情況，判定可否按照購入者所希望的條件製造該製品。這樣，即可正確進行實際生產線的批量進展管理和可否製造該製品的判定，可以擴展半導體製品的電子交易的商業機會。
第2實施例圖11是表示本發明第2實施例的半導體生產系統例的方框圖。
在實際製造半導體製品(以及試製品)的實際工廠14(實際生產線)中，存在製造裝置群，製品在該實際工廠14內的各實際生產線上流動。各製品的批量進展狀況由實際工廠14內的計算機管理。例如，在計算機畫面上進行適當處理，即可知道某批量在哪個裝置、是處理中還是等待狀態、或是搬運中。在該計算機中，除了批量進展數據外，還存儲了裝置的狀態(運轉中或空轉中，保養中，故障中，保養預定等)信息。
實際工廠14中的各種信息，通過作為數據傳送媒體16的網絡，手動或自動傳送到虛擬工廠13(虛擬生產線)。手動時，實際工廠14的計算機操作員輸入各種信息。自動時，各種傳感器檢測實際工廠14的各種狀態，該檢測數據被傳送到虛擬工廠13。這裡，實際生產線14的各種信息是各生產的接受訂貨量、批量的進展狀況、裝置的狀況(裝置的運轉狀況、裝置的性能狀況、缺陷發生狀況、QC狀況、到裝置的定期保養的時間、定期保養需要的時間)、工人的狀況(工人的考察狀況、工作狀況)以及製品的測試結果等。
虛擬工廠13是由計算機構建了與實際工廠14完全相同的功能。具體地說，虛擬工廠13具有根據用於掌握實際工廠14的批量進展狀況、裝置的狀況、工人的狀況、製品測試結果的數值信息等，掌握實際工廠14運轉狀況的狀況掌握程序，具有用該狀況掌握程序通過模擬導出實際工廠14運轉狀況的功能。當然，根據各種信息導出模擬結果的裝置不僅限於軟體，也將預定的硬體作為模擬結果導出裝置的構成要素。
目前的計算機性能，對於生產月產量萬件或其以上晶片的大規模半導體工廠，不可能虛擬構建與其相同的功能。因此，本實施例中，以月產量千件或其以下的比較小規模的半導體工廠為對象。對於大規模的半導體工廠，可多次對其分割為小規模半導體工廠的集合，則在目前的計算機系統中即可對各個小規模工廠由計算機構建相同的功能。
本實施例的虛擬工廠13中，在計算機內部存儲了製品工序信息(某製品在哪個裝置群進行何種處理，各需要多少時間的信息)、以及實際生產線存在的裝置群或正在研究向生產線引入的裝置的信息。然後，將從實際工廠14傳送的某時刻的批量進展信息、裝置狀態信息作為輸入數據，進行某時間範圍內的批量進展預測的模擬。
虛擬工廠13的模擬結果，通過作為數據傳送媒體15的網絡，作為工作指示傳送到實際工廠14。例如，與操作者聯繫某裝置結束批量處理的時間，向該裝置發出接著應投入批量的指示以及完成的批量保存在何處或移動到哪個搬運裝置的指示等。從實際工廠14向虛擬工廠13的各種信息的傳送、在虛擬工廠13的最佳批量進展的計算、以及從虛擬工廠13向實際工廠14的工作指示數據的傳送，都可實時反覆進行。在各種條件下的指示內容例如後面的(1)～(9)所示。
這裡，說明虛擬工廠13使用由實際工廠14傳送的信息具體計算批量進展的半導體系統的動作。如圖12所示，將製品的製法信息、裝置信息、生產線狀況(批量進展狀況)、最佳批量流動的判定條件輸入到虛擬工廠13。虛擬工廠13根據這些輸入數據進行批量進展計算，例如輸出1個月的批量進展預測結果。圖13A～13E表示製品的製造法信息(圖13A)、裝置信息(圖13B)、生產線狀況(批量進展狀況)(圖13C)、最佳流動的判定條件(圖13D)、1個月的批量進展預測(圖13E)。圖14是圖解表示某時刻的批量流動圖。
在進行上述批量預想的計算時，在各種處理方法或處理順序中有2個以上選擇枝的情況。例如，對於可同時處理多個批量的分批裝置，當1批量為等待批量時，必須進行應立即處理該批量或者等待其他批量到來的選擇。圖15表示一個例子。圖14表示圖15的選擇枝1的情況。具體地說，在第2工序(設備B)中，是不等待第2批量2(Lot2)而處理批量1(批量1)時的批量進展的例子。圖16表示選擇圖15的選擇枝2時的批量進展的例子。具體地說，圖16中表示在第2工序(設備B)，等待第2批量2(Lot2)處理批量1(Lot1)時的批量進展的例子。
比較圖14和圖16，批量1(Lot1)的三個工序的工期是圖16比圖14長，批量2(Lot2)的工期是圖16的短，後者的進展方式是希望的情況。
當在某裝置優先度低的批量為等待批量，而且預想優先度高的批量在某個時間後到來時，必須進行應先處理該優先度低的批量或者應等待的選擇。
圖17是將各種各樣的選擇枝群畫成樹狀。本實施例中，對該各種各樣的選擇枝，在其全部或一部分進行批量進展預想的計算。然後，在各選擇枝導出批量進展預想計算結果。其結果是可按照各種選擇枝的選擇方法實現批量進展預想的計算。此後，如圖17所示，從各批量進展預想計算結果中選擇最佳的批量進展方式。這時，作為提取的方法，例如可以選擇使全部生產最大、工期短的，也可以採用某個批量能以較短的工期、最小的成本流動的。這些判斷基準由其他途徑從未圖示的輸入裝置由操作員輸入到虛擬工廠13。也就是，操作員參照在與虛擬工廠13連接的監視器畫面上表示的各選擇枝的批量進展預想計算結果。設定上述批量進展的提取條件，決定最佳的批量進展，這裡，根據從批量進展預想計算結果得到的數量，例如，某期間的生產量、平均工期，優先度高生產量的產品量、平均工期等，按照優先條件，虛擬工廠13自動選擇最佳進展。或者，操作員也可以從作為結果輸出的幾個進展預想計算結果中手動選擇最佳方法。
沒有必要對所有選擇枝導出批量進展預想計算結果，僅對操作員設定的提取條件計算就可以了。
虛擬工廠13決定最佳批量進展方法後，將其結果作為工作指示輸出到實際工廠14。具體地說，如上所述，虛擬工廠13將操作者在裝置結束批量處理的時刻與實際工廠14聯絡，對實際工廠14發出該裝置下次應投入的批量的指示以及完成的批量保存在何處或移動到哪個搬運裝置的指示等。再發出各個選擇枝產生時的選擇枝選擇方法(處理方法)的指示。根據該指示，實際工廠14開始生產，實際工廠14可高效率運行。
這樣，本實施例中，利用實際製造製品的實際工廠14和在計算機內構建與該實際工廠14實質上相同功能的虛擬工廠13，通過在虛擬工廠13模擬實際工廠14的生產工序，即可實現實際工廠14的高效率運行。特別是對於日產量千件或其以下的比較小規模的半導體工廠，由於可由虛擬工廠13正確模擬實際工廠14的各種處理，則可嚴密預測批量的進展，達到小規模工廠經營的高效率。
下面說明在本實施例的各種條件下的指示內容。
(1)在實際工廠14內的某裝置，判明15分鐘後優先度較高的批量將到達。該信息傳送到虛擬工廠13，在虛擬工廠13進行立即開始目前批量處理的模擬，以及不開始目前批量處理等待優先度較高的批量到達再進行開始處理的模擬。從兩者的模擬結果得到等待優先度較高的批量到達為適當的解答。將該結果傳送到實際工廠14，發出工作指示。其結果是可用短工期製造優先度較高的批量。
(2)當必須進行實際工廠14內某裝置的保養時，通過在虛擬工廠13的模擬，得到了優先處理不受保養影響或較小影響的批量的最佳批量進展預想結果。通過對該結果進行工作指示，即可實現裝置保養時實際工廠14的高效率運行。並且，在進行裝置定期保養的一定時間以前，通過在計算機畫面上表示保養時間、必要的人員、交換零件、或用於下次保養的補充次序等，可高效率地進行保養。
(3)當預測裝置將產生故障時，可通過考慮了故障預測的虛擬工廠13的模擬，得到了優先處理優先度較高製品的適當結果。根據該結果，發出指示，即可不延遲工期地製造優先度較高的批量。並且，通過在計算機畫面上表示故障的處理方法或用其他類似方法予以表示，則可實現順利的故障處理，防止降低生產量(拖延工期)。
(4)當通過某工序的批量數據出現異常值時，則由虛擬工廠13在通過該工序的批量中提取出可能出現異常值的批量。將該批量作為待機批量，在其後的調查中判定其不是好貨時，則予以廢棄。這樣，可使異常工序對製品的影響最小。
(5)通過虛擬工廠13的模擬，尋求操作者的最佳休息時間。其結果是了解到某工序處理10分鐘後結束，此後的70分鐘沒有工作，則得到了在其間休息的適當的結果。根據該結果，發出該工序處理後休息60分鐘的指示。該結果不會降低生產量(拖延工期)，操作者得到了休息。
(6)當製品變更時，使用的裝置和其使用時間也隨之變更，虛擬工廠13計算是否產生了裝置的過度不足。其結果是判明產生了裝置的過度不足。將為了消除該過度不足的裝置改造、裝置的調換等在計算機畫面上或用類似方法予以表示，以尋求費用最少或期間最短的方案。根據該結果，決定最佳裝置調換次序並予以實行。其結果可使製品順利變更。
(7)在決定實際生產線內的裝置配置時，採用使空間最小的方法、動作路線最小的方法、操作者最少的方法、以及用料最小的方法，尋求各個最佳配置。其結果是採用使空間最小的方法和使動作路線最小的方法得到某種配置的最佳解答，而且可使操作者少、用料也小。通過採用該配置，提高了生產率。
(8)當預測到由於缺陷大量產生，隨著製品的晶片或晶片的廢棄，製品數量減少。此時，提高新批量的優先度，進行投入和處理，或提高途中的待機批量的優先度，進行處理。其結果可防止該製品合格數量的大幅度減少。
(9)在虛擬工廠13，進行生產材料和非生產材料的庫存管理。其結果是可減少生產材料和非生產材料的庫存。
變形例本發明不限定於上述各實施例。本發明使用的虛擬工廠，不必如第2實施例虛擬構建與實際工廠完全相同的處理，對實際工廠某種程度的模擬就可以了。因此，對於目前的計算機系統，也可適用更大規模的半導體工廠。另外，網絡也不僅眼於網際網路，能進行雙方向數據通信的系統也可以。第1實施例所示的電子交易方法也適用本實施例的半導體生產系統。
第2實施例中已經舉例說明了半導體生產系統，但本發明不限於此，液晶、家電製品的工廠，若是較小規模的也可以適用。汽車、化學設備的工廠也適用。本發明中作為對象的系統的所謂大小(比較小規模的工廠)，即是用計算機對實際生產線進行相同數量的計算，能虛擬構建與實際生產線完全相同的處理的範圍。將來計算機的處理能力提高了，也可適用於更大規模的系統。
本實施例的說明中，假設1批量的構成件數＝25件，但不限於此。從1批量＝1件開始的任意件數都可作為對象。
如上詳述，本實施例中，利用實際製造製品的實際工廠(實際生產線)和在計算機內構建與該實際工廠實質上相同功能的虛擬工廠(虛擬生產線)，將實際工廠的各種信息傳送到虛擬工廠，根據傳送的信息在虛擬工廠計算最佳批量進展方法，根據該計算結果向實際工廠傳送操作指示數據，根據傳送的操作指示數據實際工廠進行生產，由於可以正確模擬實際生產線的各種處理，則可使較小規模工廠高效率經營。
本實施例中，在具有多個選擇枝時，對其全部或其一部分進行計算，可根據情況選擇最佳的，能使生產系統更好地運行。
第3實施例本實施例為第2實施例的變形例。
第2實施例對按照用短工期製造優先度高的批量的目的以及優先處理不受保養影響或影響較小的批量的目的，說明了尋求最佳處理的情況。本實施例是為了達到進行電力不超過設定值處理的目的，尋求最佳處理的實施例。
圖18表示可使電力(或用料)穩定化的虛擬工廠13的構成。圖18與圖12比較不同點是裝置的電力·用料信息數據以及電力·用料的條件數據為附加的輸入數據。圖19、圖20表示各裝置的電力·用料縱剖面以及電力·用料的條件數據。本實施例中，講述關於電力的限制，關於用料的限制，將在第4實施例講述。
以下，用圖21、圖22A～圖22F、圖23、圖24A、24B說明本實施例的生產系統。圖22A～圖22C是未進行電力最佳化時的生產系統圖，圖22D～圖22F是進行電力最佳化的生產系統圖。
在設計淨化間時，估計各生產裝置使用的電力額定值。圖21表示這些電力生產系統的估計值。圖21是氧化爐的電力和溼度變化圖。圖21中，計算電力的最大值，將在該最大值上增加了預定值的值作為電力額定值。
對淨化間內所有生產裝置，算出按上述得到的生產裝置的電力額定值，將這些電力額定值相加，估計全部的電力設定值。然後，進行可承受該全部電力設定值的配線和配管等生產設備的設計。
例如，使用擴散爐和RTA(快速熱退火)的淨化間裝置，求出各裝置如圖21所示的電力特性。圖22A為擴散爐的電力特性，圖22B為RTA裝置的電力特性。這時，根據這些電力特性，算出電力的合計值。圖22C表示算出的電力特性。如圖22C所示，由於擴散爐和RTA裝置的電力峰值重疊，則電力合計值的峰值較大，必須設定較大的電力設定值。
各生產裝置的額定值，要考慮富裕量，一般為實際裝置運轉時實際使用值的數倍到數十倍的較大值。另外，各生產裝置不是滿載運轉。因此，根據各生產裝置求出的電力合計值(設定值)為大於生產線運轉時的值。當電力設定值比實際使用值過大時，將導致配線和配管等生產設備過剩，出現淨化間建設費過高的問題。
另外，使RTA裝置的RTA工序的開始時間比擴散爐的開始時間延遲20分鐘(ΔT)。也就是，使圖22E所示電力特性與圖22D所示電力特性重疊。這樣，如圖22F所示，2個裝置的電力合計值的峰值比圖22C所示的情況小。
在達到電力最佳化的本實施例的生產系統中，設法使批量的流動不超過全部電力的設定值。具體地說，首先如圖23所示，進行淨化間內批量的先讀出計算。在進行批量的先讀出時，例如同時使用擴散爐和RTA裝置。這時，同時使用各裝置，預想將超過設定的電力值。如圖23的231所示，電力的最大值超過設定值。因此，通過先讀出計算，使RTA裝置的RTA工序的開始時間比擴散爐的開始時間延遲20分鐘。也就是，如圖23的232所示，使電力的最大值不超過電力的設定值。
圖23中，用232表示選擇選擇枝2、選擇枝2A的時間和電力的關係。如圖23的232的特性曲線所示可知，電力的最大值被控制在設定值以下。本發明中，在該兩種可能性中，選擇使2個裝置的電力峰值錯開使電力穩定化的批量流動，也就是選擇選擇枝2、選擇枝2a。
這樣，不超過電力設定值的生產是可能的。在未進行電力最佳化的圖22C情況下，為了在電力不超過設定值的條件下進行生產，必須增大電力的設定值。在對其進行最佳化的圖22F的情況下，可使電力設定值減小。本實施例中，可以邊減少電力設定值邊導出不超過該電力設定值的條件。
在實際各生產裝置中，多個批量配置了可待機的通道，通過計算機的先讀出計算，比較在各批量實施的工序，自動決定處理的順序，自動地將批量從通道裝載到生產裝置，開始進行處理。這樣，生產裝置的操作員可僅將批量配置在通道中，節省了人力。或者，使用自動搬運系統也可以全部自動化。
該生產系統是裝置保養結束後處理等待批量的非常有效的方法。當然也適用於保養結束前。
操作員根據計算機的先讀出計算按照工作指示，也可以手動進行批量的搬運、裝置的置位、處理開始等。
該生產系統可適用於大規模生產線、小規模生產線，特別對小規模生產線有效。圖24A表示大規模生產線的電力值，圖24B表示小規模生產線的電力值。細實線表示穩定化前(現有技術)的電力值，粗實線表示穩定化後(本申請)的電力值，細虛線表示現有技術的電力設定值，粗虛線表示穩定化後的電力設定值。比較圖24A和24B可見，穩定化的電力值與穩定化前的電力值之差，與大規模生產線比較，小規模生產線大。也就是，穩定化的效果大。這也表現在穩定化前的電力設定值和穩定化後的電力設定值之差上。也就是，穩定化前的電力設定值和穩定化後的電力設定值之差，與大規模生產線比較，小規模生產線大。這就意味著，小規模生產線通過穩定化可大幅度減低電力設定值。
這樣，使批量流動而不超過電力設定值，由於電力設定值減小，則可壓縮生產設備的建設費。
以上舉例說明了2臺裝置的調整，當有3臺以上的裝置時，也可設定對整條生產線電力的限制，與上述同樣處理。
適用於生產線內的裝置群也是其優點。以後將具體說明。在圖20的電力條件中，整條生產線的電力，例如限制為500KW，作為組1定義的光刻技術(Lithography)工序的裝置群，限制為150KW以下。根據對每組的限制，可減小從生產線內的主電源到該組裝置群的配線規模，可以低成本建設生產線。
另外，使錯開處理的時間為20分鐘，例如可用以下方法決定該時間偏移。圖25中表示求出開始時間的偏移量的方法。當錯開開始時間時，15分鐘後電力的最大值等於設定值，20分鐘後電力的最大值為設定值的90％。也就是，當錯開15分鐘以上時，電力的最大值不會超過設定值，則將偏移量定為15分鐘和16分鐘，但因未預期的微小電力變動超過設定值時，會導致停電、生產線停止運行、產生批量位移，形成大的損害。為此，本例中，決定最大值為設定值90％以下的偏移時間＝20分鐘。當然，限定為90％還是不行的，當電力變動大時，應在90％以下，使偏移時間長於20分鐘。反之，當電力變動小時，可在90％以上，使偏移時間短於20分鐘。
本發明不限定於上述實施例。舉例說明了電力的穩定化，然而對於水(超純水和冷卻水)、氮氣體、特殊材料氣體等的用料，同樣的穩定化也是可能的。在下面的實施例中詳細說明。
第4實施例本實施例是第2實施例的變形例。
第2實施例中，根據用短工期製造優先度較高的批量的目的、優先處理不受保養影響或影響較小的批量的目的，說明了尋求最佳處理的情況。本實施例是為了達到進行用料不超過設定值的處理的目的，尋求最佳處理的例子。
下面，用圖26、圖27A～圖27F、圖28說明本實施例的生產系統。圖27A～圖27C是未進行用料最佳化時的生產系統說明圖，圖27D～圖27F是進行電力和用料最佳化的生產系統說明圖。下面作為用料的例子，以在生產系統處理工序的洗淨中使用的超純水穩定化為例予以說明。
圖26是某處理裝置超純水使用量的時間變化圖。在該圖26的時間變化特性中，第1峰值對應於調整藥液濃度的稀釋工序。比第1峰值延遲的第2峰值對應於衝洗處理工序。
例如在使用前處理裝置和後處理裝置的淨化間，對各裝置求出圖26所示的超純水使用量的時間變化特性。圖27A是由前處理裝置得到的時間變化特性，圖27B是由後處理裝置得到的時間變化特性，根據這些時間變化特性算出超純水使用量的合計值。圖27C表示算出的合計值的時間變化特性。如圖27C所示，由於前處理裝置和後處理裝置的超純水使用量的峰值重疊，則超純水使用量合計值的峰值變大，因此必須增加超純水使用量的設定值。
另一方面，使後處理裝置的後處理工序的開始時間比前處理裝置的開始時間延遲10分鐘(ΔT)。也就是，使圖27E所示特性重疊於圖27D所示特性。這樣，如圖27F所示，2個超純水使用量的合計值的峰值小於圖27C所示的情況。
在力圖達到用料最佳化的生產系統中，使批量流動而又設法不超過全部用料的設定值。具體地說，首先如圖28所示，進行淨化間內的批量的先讀出計算。當進行批量的先讀出時，同時使用前處理裝置和後處理裝置。當同時使用各裝置時，預想將超過設定的用料值。如圖28的281所示可知，超純水使用量的最大值超過了設定值。因此，通過先讀出計算，使後處理裝置的後處理工序的開始時間比前處理裝置的開始時間延遲10分鐘。也就是，如圖28的282所示，超純水使用量的最大值不超過設定值。
在圖28的282中，表示通過選擇選擇枝2、選擇枝2a的時間與超純水使用量的關係。如該282的特性曲線所示可知，超純水使用量的最大值被控制在設定值以下。本發明中，在2種可能性之中，選擇錯開2個裝置的用料峰值使用料穩定化的批量流動方法，即選擇選擇枝2、選擇枝2a。
使後處理裝置的後處理工序開始時間比前處理裝置開始時間延遲的時間(這裡是10分鐘)，可用與第3實施例所述方法(圖25)同樣的方法求得。
採用以上方法，可實現不超過用料設定值的生產。在未進行用料最佳化的圖27C的情況下，為了在用料不超過設定值的條件下進行生產，必須增大用料設定值。在對此進行最佳化的圖27F的情況下，可以減小用料設定值。本實施例中，邊減小用料設定值，邊導出不超過該用料設定值的條件。
本發明不限定於上述實施例。作為用料的一個例子通過超純水說明了本實施例，而對於冷卻水、氮氣體、特殊材料氣體等其他用料，也可進行同樣的穩定化。其結果是可減小生產設備的規模，控制淨化間的製造成本。對於熱排氣和筐體排氣等管道排氣，可同樣穩定化。通過排氣量的穩定化，可減小排氣用配管，控制送風機動力、局部排氣動力。
特別是可減小超純水和冷卻水、氣體等的配管，達到用工具等即可彎曲的尺寸，不需要使用接頭的焊接和粘接加工，具有容易實現配管設置加工的優點。其結果是縮短了淨化間建設、裝置的存放、配置變更等的工期。
將第3實施例和第4實施例進行組合，對電力和用料都設置較低的設定值，使批量流動而不超過上述設定值。則可縮小設備的規模。
上述第3、第4實施例是根據預先設定的電力或用料的設定值管理最佳批量進展的系統，利用該系統可進行生產設備的設計。具體地說，根據上述圖22A～22F和圖27A～27F所示的電力或用料的峰值減低方法，算出該減低的各裝置的電力或用料的設定值。然後，根據該設定的電力或用料的設定值進行生產設備的設計。這樣，即可進行無浪費的小規模生產設備的設計。根據上述生產設備的設計技巧建設生產設備的方法也包含在本發明中。
權利要求
1.一種進行半導體製品的製造銷售的從業者和購入半導體製品的購入者進行交易的電子交易方法，其特徵是該方法包含將購入者或其代理者使用的顧客終端與通過在計算機上模擬進行半導體製品製造的實際生產線的生產工序構建的虛擬生產線連接，從上述顧客終端接收購入者所希望製品的購入者所希望的條件，按照購入者所希望條件實時模擬上述購入者所希望製品在虛擬生產線的流動情況，判定可否按照購入者所希望條件製造該製品。
2.權利要求1記載的電子交易方法，其特徵是，當上述模擬結果是不能按所希望條件製造時，改變所希望條件的至少1個，實時再次模擬可否製造該製品。
3.一種進行半導體製品的製造銷售的從業者和購入半導體製品的購入者利用網絡進行交易的半導體製品的電子交易方法，其特徵是該方法包含通過網絡連接在計算機上模擬進行半導體製品製造的實際生產線的生產工序構建的虛擬生產線和購入者或其代理者使用的顧客終端的步驟；從上述顧客終端輸入購入者應購入的製品及所希望的條件並傳送到上述虛擬生產線的步驟；根據輸入到上述虛擬生產線的製品及條件，實時模擬製品可否按照購入者希望的條件在該虛擬生產線上流動的步驟；將在上述虛擬生產線上的模擬結果傳送到上述顧客終端的步驟；對上述模擬結果，從上述顧客終端回答生意是否成立的步驟；若生意成立，從上述虛擬生產線向上述實際生產線發出製造半導體製品的指示的步驟。
4.一種購入半導體製品的購入者利用網絡與進行半導體製品的製造銷售的從業者進行交易的半導體製品的電子交易方法，其特徵是該方法包含對於在計算機上模擬進行半導體製品的製造的實際生產線的生產構建的虛擬生產線，通過網絡連接購入者或其代理者使用的顧客終端的步驟；從上述顧客終端輸入應購入的製品及其條件的步驟；根據上述輸入的製品及條件，上述顧客終端接收實時模擬製品可否按照購入者希望的條件在上述虛擬生產線上流動的結果的步驟；對於上述接收的模擬結果，從顧客終端回答是否購入半導體製品的步驟。
5.一種進行半導體製品的製造銷售的從業者利用網絡與購入半導體製品的購入者進行交易的半導體製品的電子交易方法，其特徵是該方法包含將在計算機上模擬進行半導體製品製造的實際生產線的生產構建的虛擬生產線，通過網絡與購入者或者其代理者使用的顧客終端連接的步驟；在上述虛擬生產線接收從上述顧客終端輸入的應購入製品及其條件的步驟；根據傳送到上述虛擬生產線的製品及條件，實時模擬製品可否按照購入者希望的條件在虛擬生產線上流動的步驟；將上述模擬結果傳送到上述顧客終端的步驟；根據上述模擬結果，按照來自上述顧客終端的回答判定生意是否成立的步驟；在通過上述判定生意成立時，從上述虛擬生產線向上述實際生產線發出製造半導體製品指示的步驟。
6.一種電子交易系統，其特徵是包含在計算機上模擬進行實際製造半導體製品的實際生產線的生產工序構建的虛擬生產線；以及通過網絡將該虛擬生產線與顧客終端連接的連接伺服器，上述連接伺服器，將從上述顧客終端輸入的條件傳送到上述虛擬生產線，將在傳送條件下實時模擬製品可否在上述虛擬生產線上流動的結果傳送到上述顧客終端。
7.一種電子交易系統，其特徵是包含在計算機內構建的與實際製造製品的實際生產線具有實質上同樣功能的虛擬生產線；將上述實際生產線的各種信息傳送到上述虛擬生產線的裝置；根據上述傳送的信息，計算上述虛擬生產線的最佳批量進展方法的裝置；根據上述計算的結果，將操作指示數據傳送到上述實際生產線的裝置；以及通過網絡將上述虛擬生產線與顧客終端連接的連接伺服器，通過上述連接伺服器，將從上述顧客終端輸入的條件傳送到上述虛擬生產線，在傳送的條件下實時模擬製品可否在虛擬生產線流動，通過上述連接伺服器將模擬結果傳送到上述顧客終端，根據模擬結果進行交易。
8.一種生產系統，其特徵是包含在計算機內構建的與實際製造製品的實際生產線具有實質上同樣功能的虛擬生產線；在上述虛擬生產線接收上述實際生產線的各種信息的裝置；根據上述接收的信息，計算在上述虛擬生產線的最佳批量進展方法的裝置；根據上述計算結果，將操作指示數據傳送到上述實際生產線的裝置。
9.權利要求8記載的生產系統，其特徵是，實時反覆進行在上述虛擬生產線的各種信息的接收、上述虛擬生產線的最佳批量進展方法的計算、以及從上述虛擬生產線向上述實際生產線的操作指示數據的傳送。
10.權利要求8記載的生產系統，其特徵是，從上述實際生產線向上述虛擬生產線傳送的各種信息包含各生產的接受訂貨量、批量的進展狀況、裝置的狀況、工人的狀況、以及製品的測試結果。
11.權利要求8記載的生產系統，其特徵是，計算上述最佳批量進展方法的裝置，按照上述每個批量進展方法的條件多次算出批量的進展預測計算結果，從該多個進展預測計算結果中提取出其中至少一個。
12.權利要求11記載的生產系統，其特徵是，計算上述最佳批量進展方法的裝置具有表示上述多個算出的批量進展預測計算結果並選擇其中至少一個計算結果的裝置。
13.權利要求11記載的生產系統，其特徵是，計算上述最佳批量進展方法的裝置，根據由用戶輸入的提取條件，從上述多個進展預測計算結果中提取。
14.權利要求8記載的生產系統，其特徵是，計算上述最佳批量進展方法的裝置，求出製造工期最短並且月平均生產量最大的解答。
15.權利要求8記載的生產系統，其特徵是，計算上述最佳批量進展方法的裝置，根據接受訂貨的製品的優先級，求出優先級高的製品的較短製造工期的解答。
16.權利要求8記載的生產系統，其特徵是，將上述實際生產線生產的製品的測試結果傳送到上述虛擬生產線，對照該製品的接受訂貨量，決定下面的投入計劃。
17.權利要求8到16任一項記載的生產系統，其特徵是，上述實際生產線是半導體生產線。
18.權利要求8記載的生產系統，其特徵是，還包含根據上述傳送的信息，計算上述虛擬生產線的電力和用料的至少其中一個的時間依存性的裝置，計算上述最佳批量進展方法的裝置，根據計算上述時間依存性的裝置得到的時間依存性，按照不超過在生產線設定的電力值和用料值的至少其中一個的條件，算出批量進展方法。
19.權利要求18記載的生產系統，其特徵是，上述用料是超純水、冷卻水、半導體材料氣體、半導體製造用氣體、半導體製造用液體、半導體製造用固體。
20.一種採用在計算機內構建與實際製造製品的實際生產線具有實質上相同功能的虛擬生產線，通過在虛擬生產線上模擬，可使實際生產線高效率運營的生產方法，其特徵是包含在上述虛擬生產線接收上述實際生產線的各種信息的步驟；根據上述接收的信息，在上述虛擬生產線計算最佳批量進展方法的步驟；根據上述計算結果，將操作指示數據傳送到上述實際生產線的步驟。
21.權利要求20記載的上述生產方法，其特徵是還包含根據上述操作指示數據，在上述實際生產線開始生產的步驟。
22.權利要求20記載的生產方法，其特徵是，實時反覆進行在上述虛擬生產線對來自上述實際生產線的各種信息的接收、在上述虛擬生產線的最佳批量進展方法的計算、以及從上述虛擬生產線向上述實際生產線的操作指示數據的傳送。
23.權利要求20記載的生產方法，其特徵是，在上述虛擬生產線接收的來自上述實際生產線的各種信息包含各生產的接受訂貨量、批量的進展狀況、裝置的狀況、工人的狀況、以及製品的測試結果。
24.權利要求20記載的生產方法，其特徵是，作為計算上述最佳批量進展方法的步驟，求出製造工期最短、月平均生產量最大的解答。
25.權利要求20記載的生產方法，其特徵是，作為計算上述最佳批量進展方法的步驟，根據對接受訂貨製品附加的優先級，求出優先級高的製品的製造工期短的解答。
26.權利要求20記載的生產方法，其特徵是，將在上述實際生產線生產的製品的測試結果傳送到上述虛擬生產線，對照該製品的接受訂貨量，決定下面的投入計劃。
27.權利要求20到26任一項記載的生產方法，其特徵是，上述實際生產線是半導體生產線。
28.一種生產設備設計系統，其特徵是包含在計算機內構建的與實際製造製品的實際生產線具有實質上同樣功能的虛擬生產線；將上述實際生產線的各種信息傳送到上述虛擬生產線的裝置；根據上述傳送的信息，計算上述虛擬生產線的電力和用料的至少其中一個的時間依存性的裝置；根據計算上述時間依存性的裝置得到的時間依存性，設定生產線使用的電力值和用料值的至少其中一個的裝置；根據上述設定的電力值和用料值的至少其中一個，進行生產設備設計的裝置。
29.權利要求28記載的生產設備設計系統，其特徵是，上述生產設備是生產線的配線、生產線的配管的至少其中之一。
30.一種在計算機內構建的與實際製造製品的實際生產線具有實質上相同功能的虛擬生產線上，通過模擬進行生產設備設計的生產設備設計方法，其特徵是包含在上述虛擬生產線接收上述實際生產線的各種信息的步驟；根據上述接收的信息，計算上述虛擬生產線的電力和用料的至少其中之一的時間依存性的步驟；根據計算上述時間依存性的裝置得到的時間依存性，設定生產線使用的電力值和用料值的至少其中一個的步驟；根據上述設定的電力值和用料值的至少其中一個，進行生產設備設計的步驟。
31.一種在計算機內構建的與實際製造製品的實際生產線具有實質上相同功能的虛擬生產線上進行模擬，根據該模擬結果進行生產設備製造的生產設備製造方法，其特徵是包含在上述虛擬生產線接收上述實際生產線的各種信息的步驟；根據上述傳送的信息，計算上述虛擬生產線的電力和用料的至少其中一個的時間依存性的步驟；根據計算上述時間依存性的裝置得到的時間依存性，設定生產線使用的電力值和用料值的至少其中一個的步驟；製造滿足上述設定的電力值和用料值的至少其中一個的生產設備的步驟。
全文摘要
一種半導體製品的電子交易系統,具有:在計算機內構建的與實際製造半導體製品的實際生產線14具有實質上同樣功能的、計算最佳批量進展方法的虛擬生產線13;通過網絡10將虛擬生產線13與顧客終端11連接的連接伺服器12。將從顧客終端11輸入的條件通過連接伺服器12傳送到虛擬生產線13,在傳送的條件下實時模擬製品可否在虛擬生產線13上流動,將模擬結果通過連接伺服器12傳送到顧客終端11,按照模擬的結果進行交易。
文檔編號G06Q30/00GK1347054SQ01132528
公開日2002年5月1日 申請日期2001年5月31日 優先權日2000年5月31日
發明者光武邦寬, 奧村勝彌 申請人:株式會社東芝