在電子裝置製造設施內傳送基片載體的方法和裝置的製作方法

2023-12-08 15:01:36 2

專利名稱：在電子裝置製造設施內傳送基片載體的方法和裝置的製作方法
技術領域：
本發明一般涉及電子裝置製造，尤其涉及用於在電子裝置製造設施內傳送基片載體的方法和裝置。
背景技術：
電子裝置(device)製造設施可以包括在製造期間關於該設旋傳送基片載體的傳統的系統。但，這樣的傳統系統不能有效地傳送該載體。因此，需要提供一種改進的方法和裝置來在電子裝置製造設施中傳送基片載體。

發明內容
在本發明的第一方面，提供電子裝置製造的第一方法。該第一方法包括步驟(1)接收一個請求來從包括多個基片加載站的電子裝置製造設施的第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，其中該製造設施還包括多個連接到適於設施內運送載體的傳送帶系統的載體支架；(2)指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，使得至少是減少傳送所需的時間和保持傳送帶系統的平衡之一；(3)從第一基片加載站運送載體；和(4)將該載體運送到第二基片加載站。
在本發明的第二方面，提供第二方法。該方法包括步驟(1)提供多個每個都適於接基片載體的基片加載站；(2)提供適於在基片加載站之間傳送基片載體的傳送帶系統，這些傳送帶系統包括了多個每個都適於支撐基片載體的載體支架；(3)提供一個控制系統用於控制在基片加載站之間的基片載體傳送；(4)採用該控制系統來發送一個傳送命令到第一基片加載站；(5)如果該控制系統不能指定一個載體支架用於從第一基片加載站傳送，則採用該控制系統來發送一個命令給第一基片加載站以取消該傳送；和(6)在延遲和一個或多個載體支架的狀態改變之中的至少一個之後，採用該控制系統重新發送傳送命令到第一基片加載站。
在本發明的第三方面，提供了一種用於電子裝置製造的裝置。該裝置包括一種電子裝置製造設施的控制系統，該系統適於(1)接收一個請求來從設施的第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，其中該製造設施還包括多個連接到適於在設施內運送載體的傳送帶系統的載體支架；(2)指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，使得至少是減少傳送所需的時間和保持傳送帶系統的平衡之一；(3)從第一基片加載站運送載體；和(4)將該載體運送到第二基片加載站。
在本發明的第四方面，提供了一種用於電子裝置製造的系統。該系統包括(1)多個包括在電子裝置製造設施中的基片加載站；(2)一個傳送帶系統，該傳送帶系統包括多個連接在其中並適於在設施內運送載體的載體支架；和(3)一個連接到該多個基片加載站和傳送帶系統的控制系統。該控制系統適於(a)接收一個請求來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站；(b)指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，使得至少是減少傳送所需的時間和保持傳送帶系統的平衡之一；(c)從第一基片加載站運送載體；和(d)將該載體運送到第二基片加載站。根據本發明的這些方面可以得出本發明的其他方面。
本發明的其他特徵和方面將從以下參考附圖所作的詳細描述中變得更為全面而清晰。


圖1A是根據本發明一個實施例的包括一個條帶(band)(或帶狀物)的示例傳送帶系統的俯視圖，該條帶在電子裝置製造設施的一部分內形成一個簡單環路。
圖1B是根據本發明一個實施例的在示例傳送帶系統中包括的控制系統的結構圖。
圖2舉例說明根據本發明一個實施例的用於在設施內傳送基片載體的方法。
圖3舉例說明根據本發明一個實施例的用於在設施內傳送基片載體時指定一個載體支架的第一示例方法。
圖4舉例說明根據本發明一個實施例的用於在設施內傳送基片載體時指定一個載體支架的第二示例方法。
圖5是根據本發明一個實施例的在操作期間用於在設施內傳送一個基片載體的示例裝置的結構圖。
圖6舉例說明根據本發明一個實施例的在其中成功指定了載體支架的設施內開始基片載體傳送時的握手。
圖7A和7B舉例說明根據本發明一個實施例的在其中沒有成功指定載體支架的設施內開始基片載體傳送時的握手。
具體實施例方式
電子裝置製造設施(facility)可以使用一個高架的傳送系統(OHT系統)，該系統包括與一個適於在電子裝置製造設施內傳送一個或多個基片載體的運動傳送帶系統連接的多個載體支架(support)。而且，這樣的設施還可以包括適於在電子裝置製造期間處理電子裝置的工具。每個處理工具可以連接到各自的適於在處理工具和傳送帶系統之間傳送載體的基片加載站。更具體地說，每個處理工具可以連接到各自的適於在處理工具和與運送OHT系統連接的載體支架之間傳送載體的基片加載站。以這樣的方式，就可以在設施內傳送載體。
本發明提供了指定用於在設施內傳送載體的載體支架的方法和裝置。本發明的特徵是使用單個或小批量基片載體。如在此所使用的，術語「小批量」基片載體或「小批量」載體可以指與傳統的通常可以持有十三個或二十五個基片的「大批量」載體相比，適於持有更少基片的載體。例如，一個小批量載體適於持有五個或更少的基片。在一些實施例中，可以採用其他的小批量載體(例如，持有一個、兩個、三個、四個或多於五個基片但少於大批量載體的基片的小批量載體)。一般說來，每個小批量載體可以容納的襯底太少，以致人們在電子裝置或者其他製造設施內的人工運送載體是不可行的。
可以採用一個算法來指定載體支架以致於至少減少傳送所需的時間或保持傳送帶系統的平衡。以這種方式，可以比在傳統的電子裝置製造系統中更高效地傳送載體，從而與傳統的系統相比，提高了電子裝置製造設施的製造能力。例如，該算法可以選擇多個載體支架中的一個來從第一基片加載站(例如，源基片加載站)傳送或輸送載體到第二基片加載站(例如，目標基片加載站)。該算法可以判斷採用所選擇的載體支架是否會與一個未決的(pending)傳送衝突(例如，在設施中)。如果會衝突，該算法可以從多個載體支架中選擇另一個載體支架並對該載體支架作出類似的判斷。如果該算法判斷採用所選擇的載體支架不會與一個未決的傳送衝突，就可以指定該載體支架來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
以這種方式，本發明的方法和裝置可以指定用於在設施中傳送載體的載體支架，以致當指定的載體支架到達第一基片加載站時，該第一基片加載站準備好使用該指定的載體支架將該載體放在運動的傳送帶系統上，並且當該指定的載體支架達到第二基片加載站時，該第二基片加載站準備好從運動的傳送帶(例如，從與其連接的載體支架)移去該載體。以這種方式，可以減少在第一基片加載站準備好將載體放在載體支架上之前，運動的傳送帶上指定的載體支架必須被傳送到第一基片加載站的次數，和/或在第二基片加載站準備好從載體支架移去載體之前，指定的載體支架(連同與其連接的載體一起)必須被傳送到第二基片加載站的次數。
該算法還可以判斷採用所選擇的載體支架是否會使傳送帶系統失去平衡，而且還可以基於其指定載體支架。以這種方式，該算法可以指定一個用來在設施內傳送載體的載體支架以使該傳送帶系統保持平衡(例如，不會由於其上支撐載體的載體支架在任何特定部分過載)，從而降低在運動傳送帶系統的部分上的過度壓力，而該壓力可以不利地影響電子裝置製造。因此，本發明的方法和裝置與傳統的電子裝置製造系統相比可以更高效地傳送載體，從而與傳統的系統相比提高了製造能力。
先前所結合在2003年8月28日提交的發明名稱為「System ForTransporting Substrate Carriers」(代理人卷號6900)的美國專利申請公開了一種基片載體傳送系統或類似的輸送系統，其包括一個傳送帶用於在所服務的製造設施運行中打算持續地傳送基片載體。該持續不斷運動的傳送帶目的是在製造設施內便於基片的傳送以便降低製造設施內每個基片的總「佔用」時間。
為了以這種方式操作製造設施，應當提供方法和裝置用於從傳送帶卸載基片載體，並將基片載體加載到傳送帶上，同時傳送帶在運轉。先前所結合的於2003年8月28日提交的發明名稱為「SUBSTRATE CARRIER HANDLERTHAT UNLOADS SUBSTRATE CARRIERS DIRECTLY FROM AMOVING CONVEYOR」(代理人卷號7676)的美國專利申請公開了在基片加載站或根據一個傳送帶執行這種加載/卸載操作的「基片加載站」的一個基片載體處理器。例如，一個基片加載站或基片加載站可以包括一個可垂直移動的水平導杆或吊臂，以及一個可沿著水平導杆水平移動的端部操縱裝置。還提供其他結構用於垂直和/或水平地移動端部操縱裝置。
為了從傳送基片載體且經過基片加載站的運動傳送帶(「基片載體傳送帶」)卸載一個基片載體，以基本上與是與基片載體通過基片載體傳送帶傳送時基片載體的速度匹配的速度水平移動端部操縱裝置(effector)(例如，通過在水平方向上與基片載體速度基本匹配)。此外，端部操縱裝置可以在傳送基片載體的同時保持在與基片載體鄰近的位置。因此端部操縱裝置可以在與基片載體的速度基本匹配的同時基本與基片載體的位置匹配。同樣地，也可以與傳送帶位置和/或速度進行基本匹配。
當端部操縱裝置與基片載體的速度(和/或位置)基本匹配時，升起端部操縱裝置以致該端部操縱裝置與基片載體接觸並使基片載體脫離基片載體傳送帶。可以通過在加載期間基本匹配端部操縱裝置與傳送帶速度(和/或位置)來類似地將基片載體加載到運動的基片載體傳送帶上。在至少一個實施例中，在端部操縱裝置和基片載體傳送帶之間以基本為零的速度和/或加速度執行在端部操縱裝置和基片載體傳送帶之間的這種基片載體管制移交。
先前結合的於2004年1月26日提交的發明名稱為「METHODS ANDAPPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATE CARRIERS」(代理人卷號7163)公開了一種傳送帶系統，該系統可以採取上述用於在半導體裝置製造設施的一個或多個處理工具之間傳送基片載體的基片載體傳送系統和/或基片加載站。該傳送系統可以包括一個帶狀物(或「條帶」)，其在半導體裝置製造設施的至少一部分內形成一個閉環並在其中傳送基片載體。在一個或多個實施例中，該帶狀物或條帶由不鏽鋼、聚碳酸酯、合在材料(例如，炭化石墨、玻璃纖維等)、鋼或其他增強的聚亞安酯、環氧薄片、塑料或包括不鏽鋼、纖維(例如，碳化纖維、玻璃纖維、杜邦公司所製造的Kevlar)、聚乙烯、鋼絲網等)的聚合材料或其他硬制材料形成。通過定向該帶狀物以致其厚的部分駐留在垂直面而薄的部分駐留在水平面，該帶狀物在水平面是可彎曲的而在垂直面是剛硬的。這樣的結構允許經濟地構造和執行該傳送帶。例如，帶狀物只需要少量的材料來構造，因此便於製造，並且由於它在垂直方向上的硬度/強度，所以能支撐多個基片載體的重量而無需額外的支承結構(例如用在傳統水平定向的皮帶式傳送帶系統中的滾輪或其他類似的機制)。而且，因為帶狀物會由於其橫向撓性而被彎曲、壓扁或形成多個結構，所以該傳送帶系統具有高度可定製性。
圖1A是根據本發明一個實施例的優選傳送帶系統101的示意性俯視圖，該傳送帶系統包括一個在電子裝置(例如，半導體裝置)製造設施107的一部分內形成簡單環路105的條帶(或帶狀物)103。例如，條帶103可以包括在2004年1月26日所提交的專利申請序列號為10/764,982、發明名稱為「METHODSAND APPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATE CARRIERS」(代理人卷號7163)的美國專利申請中所描述的其中一種帶狀物。條帶103通過連接到該條帶103的相應的載體支架110在處理工具109之間傳送基片載體(圖1A中未示出)，該條帶還包括直線部分111和彎曲部分113以形成(閉合)環路105。還可以採用其他多個處理工具109和/或環路結構。
每個處理工具109可以包括一個在處理工具109的基片加載站115(例如，「工具站」)的基片載體處理器(handler)，用以在運動條帶103經過基片加載站115時，從傳送帶系統101的傳送條帶103上卸載基片載體，或將基片載體加載到其上，如2003年8月28日提交的專利申請序列號為10/650,480、發明名稱為「SUBSTRATE CARRIER HANDLER THAT UNLOADSSUBSTRATE CARRIERS DIRECTLY FROM A MOVINGCONVEYOR」(代理人卷號7676)的美國專利申請所描述的。例如，可以在條帶103傳送基片載體時以與基片載體的速度基本匹配的速度水平移動基片加載站115的端部操縱裝置(未單獨示出)，並在傳送和升起基片載體時將端部操縱裝置保持在與基片載體鄰近的位置以致端部操縱裝置接觸基片載體並脫離傳送系統101。還可以在加載期間通過對端部操縱裝置和條帶速度(和/或位置)的基本匹配來類似地將一個基片載體加載到運動條帶103。
每個基片加載站115可以包括一個或多個加載埠或類似的其中放置用於傳送到和/或從處理工具109傳送的基片或基片載體的位置(例如，一個或多個停靠站(docking station)，雖然可以利用不採取進站/出站動作的傳送位置)。還可以在每個基片加載站115上提供各種的基片載體存儲位置用於在處理工具109上進行基片載體緩存。
傳送系統101包括一個傳送系統控制器(TSC)117用來控制條帶103的運行。例如，TSC 117可以控制/監視條帶103的速率或速度和/或狀態，分配用於支撐/傳送基片載體的條帶的載體支架110，監視載體支架110的狀態，監視條帶馬達/驅動器的狀態，並將這種信息提供給每個基片加載站115等。此外，可選擇地，如以下詳細描述的，TSC 117可以採用一種算法來指定或分配用於傳送載體的載體支架110。同時，每個基片加載站115可以包括用於控制基片加載站運行的基片加載站軟體(LSS)119(例如，將基片載體加載到傳送系統101或從傳送系統101卸載基片載體，將基片載體傳送到加載埠或基片加載站115的存儲位置和/或該基片加載站115所服務的處理工具109等，或從加載埠或基片加載站115的存儲位置和/或該基片加載站115所服務的處理工具109等傳送基片載體)。例如，LSS119a-f可以與基片加載站控制器(例如，一個截取控制器，未示出)一起運行。主機/材料控制系統(MCS)121與傳送系統控制器117和用於實現同一操作的每個基片加載站115的基片加載站軟體119a-f進行通信。以這種方式，TSC 117可適於與MCS 121、基片加載站和/或該設施的傳送站接口來執行架內(inter-bay)和/或架外載體傳送。TSC 117、每個LSS119a-f和/或MCS 121可以包括一個調度程序(未示出)用於控制由TSC117、LSS119a-f和/或MCS 121所執行操作的調度。
以上系統尤其適於傳送小批量的基片載體，例如支持單個基片或少於25個基片的基片載體。
圖1B是包括在根據本發明實施例的優選傳送帶系統中的控制系統的結構圖。參考圖1B，與每個處理工具109對應的LSS119a-f、TSC 117和MCS 121可以形成一個適於控制連續運動的傳送帶系統101的運行的控制系統123。以下將參照圖2-7描述控制系統123運行的細節，更具體地，控制系統123如何能使傳送系統101在根據本發明一個實施例的設施內傳送基片載體。
圖2舉例說明一種用於在根據本發明一個實施例的設施內傳送基片載體的方法。參考圖2，方法201開始於步驟203。在步驟205中，可以接收一個從包括了多個基片加載站的電子裝置製造設施的第一基片加載站傳送一個載體到第二基片加載站的請求，其中該設施還包括多個連接到一個傳送系統的載體支架110，該傳送系統適於在設施內移動載體。更具體地，該MCS 121可以發出一個在第一和第二基片加載站之間傳送一指定基片載體的請求。TSC171可以接收來自MCS 121的請求。響應於接收該請求，TSC 117可以與該第一和/或第二基片加載站通信。以下將參照圖6和7描述在TSC 117和第一和/或第二基片加載站之間優選通信的細節。
在步驟207中，可以指定多個載體支架110中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站以便至少是減少傳送所需時間和保持傳送系統的平衡其中之一。例如，TSC 117可以指定多個載體支架110中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站以便減少傳送所需時間和/或保持傳送系統的平衡。換而言之，如果控制系統123或其任何部分判斷不是(1)該指定與未決的傳送衝突；或(2)該指定將導致一個無法接受的載體分配(例如，條帶103一單獨部分的高密度載體，相比於另一部分)，TSC 117可以指定一個不同的載體支架110(例如，一個避免衝突或不平衡的載體支架)來傳送該載體。通過以此方式減少傳送所需的時間，可以提高設施和/或其中包括的傳送系統101的工作效率。此外可選地，以此方式減少傳送所需的時間可以增加設施的製造能力。
通過保持傳送系統的平衡，控制系統123可以降低傳送帶系統101的一個或多個部分的過載，例如條帶103的一個或多個部分。要求該運動的傳送帶系統101來支持非平衡的負載(或不可接受的載體密度)可能會在條帶103上施加額外的壓力。控制系統123可以指定載體支架110以避免其上過多的壓力。通過減小傳送帶系統101的一個或多個部分上的過多壓力，該傳送帶系統101的可靠性增加了，從而減少了傳送帶系統101的故障時間。因此，控制系統123可以使得更高效地傳送載體，從而相比於傳統的系統提高了製造能力。
在一些實施例中，TSC 117可以採用一種算法來指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站以便至少是減少傳送所需時間和保持傳送系統的平衡其中之一。以下將參照圖3和4描述用於指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站以便減少傳送所需時間和/或保持傳送系統的平衡的優選方法的細節，圖3和4分別舉例說明了用於在根據本發明實施例的設施內傳送一個基片載體時指定一個載體支架的第一和第二優選方法。
在步驟209中，可以從第一基片加載站運送載體。更具體地，控制系統123可以使得從第一基片加載站移去載體並將載體放在指定的載體支架上。一旦將載體放在指定的載體支架上，傳送帶系統101就可以從第一基片加載站傳送該載體。
在步驟211中，可以將載體運送到第二基片加載站。更具體地，控制系統123可以讓傳送系統101向第二基片加載站運送載體。控制系統123可以使得在載體支架到達第二基片加載站時從載體支架移去載體並將該載體傳送到第二基片加載站。
此後，執行步驟213。在步驟213中，結束方法201。通過使用圖2所示的方法201，可以更高效地傳送載體並提高製造能力。
圖3舉例說明了用於在根據本發明一個實施例的設施內傳送一個基片載體時指定一個載體支架的第一示例方法。參考圖3，方法301開始於步驟303。在步驟305中，可以選擇多個載體支架中的一個來從包括了多個基片加載站的電子裝置製造設施的第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，其中將多個載體支架連接到適於關於該設施運送載體的傳送帶系統上。例如，控制系統123可以基於先前在基片加載站的傳送所採用的載體支架來選擇多個載體支架中的一個。更具體地，控制系統123可以基於用於在先前的基片加載站的傳送所採用的載體支架來選擇多個載體支架中的一個。但，控制系統123可以基於額外的和/或不同的因素來選擇多個載體支架中的一個。
在步驟307中，判斷採用所選擇的載體支架是否會與一個未決的傳送衝突。更具體地，控制系統123可以判斷採用所選擇的載體支架來在第一基片加載站和第二基片加載站之間傳送載體是否會與任何在設施的基片加載站之間未決的載體傳送衝突。例如，控制系統123可以判斷採用所選擇的載體支架來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站是否會導致在設施的基片加載站之間的任何未決的載體傳送的延遲和/或失敗。
在步驟307中，如果判斷採用所選擇的載體支架會與一個未決傳送衝突，可以執行步驟309。在步驟309中，可以從多個載體支架中選擇另一個載體支架。更具體地，控制系統123可以從多個載體支架中選擇剩餘的一個。在一些實施例中，控制系統123可以選擇與運動傳送帶系統101上的先前所選擇的載體支架鄰近並在其上遊的載體支架。但，在另一些實施例中，還可以以不同的方式從多個載體支架中選擇另一個載體支架。隨後，可以執行步驟307。如上所述，在步驟307中可以判斷採用所選擇的載體支架是否會與一個未決的傳送衝突。更具體地，控制系統123可以判斷從載體支架中選擇的另一個載體支架(例如，多個載體支架中剩餘的一個)是否會與基片加載站之間的任何未決載體衝突。
可選地，在步驟307中，如果判斷採用所選擇的載體支架不會與一個未決傳送衝突，可以執行步驟311。在步驟311中，可以指定選擇的載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。由於控制系統123在指定這樣的載體支架之前就已判斷採用所選的載體支架用於傳送載體不會與未決傳送衝突，因此一旦指定了，該載體支架就會從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站而不與任何未決傳送衝突。例如，使用指定的載體支架的載體傳送不會導致任何未決傳送的延遲和/或失敗。
隨後，執行步驟313。在步驟313中，結束方法301。
在一些實施例中，除或可選的步驟307外，判斷執行所選的載體支架是否會使傳送帶系統101不平衡。例如，判斷採用所選的載體支架來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站是否會使傳送系統101的一部分或多個部分過載，從而潛在地增加過度的壓力在這些部分。
在這樣的實施例中，如果判斷採用所選的載體支架會使傳送系統101不平衡，則執行步驟309。如上所述，在步驟309中，可以從多個載體支架中選擇另一個載體支架。
可選地，在這樣的實施例中，如果判斷採用所選擇的載體支架不會使傳送系統101不平衡，則執行步驟311。如上所述，在步驟311中，可以指定所選擇的載體支架來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
雖然使用了方法301，但是還可以從多個載體支架中指定一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站以便至少是減少傳送所需的時間和保持傳送系統的平衡之一。因此，控制系統123可以促使更高效地傳送載體並可以提高製造能力。例如，TSC 117可以指定載體支架用於在基片加載站之間傳送載體以便滿足以下的系統水平需求(1)當指定的載體支架到達第一(例如，源)基片加載站時，源基片加載站已準備好將一個載體放在載體支架上，同時當指定的載體支架到達第二(例如，目的)基片加載站時，該目的基片加載站已準備好從該載體支架上移去該載體；(2)在條帶103上(例如，在所指定的與條帶103相連的載體支架上)的載體加載不會影響TSC 117控制條帶103速度的能力；和/或(3)在條帶103上的載體加載(例如，到所指定的與條帶103相連的載體支架上)不會影響皮帶103的可靠性。在這種方式下，TSC 117可以避免不利地影響整個系統(例如，傳送系統101)的吞吐量的情況。例如，TSC 117可以避免這樣一種情況當載體支架到達基片加載站時，目的基片加載站還沒有準備好從指定載體支架上移去載體，因此，由於載體已經在條帶103上了，所以在目的基片加載站可以從條帶103移去載體之前，該目的基片加載站不得不等待條帶103的一個完全運行，而且一個可以跟蹤設施內的傳送的製造執行系統(MES)已經將載體指定給了目標基片加載站。而且，TSC 117可以避免這樣一種情況當載體支架到達基片加載站時，源基片加載站(例如，提供載體的基片加載站)沒有準備好將載體放到指定的載體支架上，因此，不得不中斷傳送並隨後為該傳送重新指定一個載體支架。
此外或可選地，TSC 117可以指定載體支架以便載體在條帶103上的加載不會影響TSC 117控制速度在例如所需速度的0.04％內的能力(雖然可以提供更大或更小的容差)。此外或可選地，TSC 117可以指定用於支撐載體的載體支架以使條帶103上的載體加載均勻。條帶103上不均勻的載體加載可以產生壓力(stress)，特別是使條帶103彎曲的壓力，並可以逆影響條帶103的可靠性。
圖4舉例說明了在根據本發明一個實施例的設施內傳送基片載體時用於指定一個載體支架的第二優選方法。參考圖4，在步驟403中，開始方法401。在步驟405中，可以從多個載體支架中選擇一個用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。例如，控制系統123可以選擇一個第一載體支架用於傳送。控制系統123可以基於以下傳送因素來選擇第一載體支架(1)進入第一基片加載站的最後一個載體支架，(2)在使用一個起重機(例如，從傳送帶系統101移去載體或將載體放在傳送帶系統101上)來將載體放在傳送帶系統101上之後第一基片加載站所需的最大時間，(3)傳送帶系統101上相鄰的載體支架之間的間距和/或(4)傳送帶系統101的速度。以這種方式，一旦第一基片加載站準備好將所需載體放在第一載體支架上，控制系統123可以選擇到達第一基片加載站的第一載體支架(例如，使得第一基片加載站等待一個最少的時間)。
在步驟407中，判斷所選擇的載體支架是否可用。如果該載體支架(1)為空和(2)未被指定用於傳送，則該載體支架為可用。如果載體支架上沒有支撐載體，則該載體支架為空。如果控制系統123還沒有指定載體支架來在設施的基片加載站之間傳送載體，則不指定該載體支架用於傳送。載體支架的可用性可以以更大或更小的因素和/或不同的因素為基礎。例如，在一些實施例中，如果載體支架(1)為空；(2)未被指定用於傳送；以及(3)可以滿足條帶加載算法，則載體支架總是到達用於加載的預定的基片加載站。可以由控制系統123採用條帶加載算法來保持傳送帶系統101的平衡。如果採用載體支架來傳送載體不會使傳送帶系統101不平衡(例如，非均勻加載)，則該載體支架可以滿足該條帶加載算法。採用其上支撐著載體或已經被指定來傳送另一個載體的載體支架可能導致在設施內的一個或多個傳送的遲延和/或失敗。因此，通過判斷所選擇的載體支架是否可用，控制系統123可以判斷採用這種載體支架是否會與在設施的基片加載站之間的未決傳送衝突。
在步驟407中，如果判斷所選擇的載體支架不可用，可以執行步驟409。在步驟409中，控制系統123可以選擇另一個載體支架。例如，控制系統123可以選擇與先前所選擇的載體支架鄰近的下一個載體支架(例如，上遊的)。以這種方式，控制系統123可以增加到與傳送帶系統101相連的多個載體支架中的下一個載體支架。
在步驟411中，判斷是否已經選擇多個載體支架中的所有載體支架並判斷它們是否不可用。例如，控制系統123可以判斷是否已經重新選擇了之前所選擇的載體支架(例如，可能所採用的用於傳送的第一載體支架)。在步驟411中，如果控制系統123判斷已經選擇了所有的載體支架並判斷它們是否不可用，無載體支架可以被用來傳送。所以，可以執行步驟413。在步驟413中，可以將中止傳送的命令發送到第一基片加載站。更具體地，由於當前沒有載體支架可被用來傳送，因此控制系統123可以中止該傳送。例如，控制系統123可以稍後發送一個請求來在第一基片加載站和第二基片加載站之間傳送載體。
隨後，執行步驟429。在步驟429中，方法401結束。
可選地，在步驟411中，如果判斷還沒有選擇多個載體支架中的所有載體支架，可以執行步驟407。如上所述，在步驟407中，判斷所選擇的載體支架是否可用。更具體地，控制系統123可以判斷在步驟409中所選擇的載體支架是否可用。以這種方式，控制系統123可以增加載體支架直到選擇一個可用的載體支架或控制系統123判斷沒有載體支架可用於傳送。
可選地，在步驟407中，如果判斷所選擇的載體支架可用，則執行步驟415。在步驟415中，確定所指定的用於在第一基片加載站傳送的下一個載體支架。更具體地，每個基片加載站115(例如，第一基片加載站)可以包括一個在該基片加載站上未決的傳送列表。每個在基片加載站上未決的傳送可以是在設施的基片加載站之間的載體傳送的一部分(例如，將載體X放到載體支架X上)。可以在基片加載站115中所包括的存儲器中存儲該列表。這種列表中的條目可以表示在該基片加載站上未決的傳送並可以包括諸如載體支架標識那樣的數據和基片加載站將要執行的任務(例如，是否要從該標識的載體支架移去一個載體，比如拾取，或者將該載體放到標識的載體支架上)。控制系統123可以遍歷該列表來尋找與所指定的用於在第一基片加載站傳送的載體支架相應的下一個條目，該條目可以表示所指定用於傳送的下一個載體支架，其中可以由基片加載站將載體放在其上或從其上移去該載體。
在步驟417中，判斷是否確定下一個指定用於在第一基片加載站傳送的載體支架。更具體地，判斷控制系統123是否找到一個在第一基片加載站所包括的列表中的一個條目。
如果在步驟417中，判定確定了下一個指定用於在第一基片加載站傳送的載體支架，可以執行步驟419。在步驟419中，如果指定所選擇的載體支架用於在第一基片加載站和第二基片加載站之間傳送，判斷在所指定用於在第一基片加載站傳送的載體支架的任一邊上的間距是否仍可接受。如果指定所選擇的載體支架用於在第一和第二基片加載站之間傳送，控制系統123可以判斷用於在由列表條目所確定的第一基片加載站傳送的載體支架的任一邊上的間距是否仍可接受。該間距可以表示在指定用於在基片加載站傳送(例如，拾取或放置)的相鄰兩個載體支架之間的距離。在可以充當對於所選擇載體支架的源基片加載站的第一基片加載站，可以如下地計算在載體支架任一邊上的可接受的間距值If pick from the carrier support Then1+round((BandVelocity/CarrierSupportSpacing*(MaximumPickTime+MaximumPrepareToPlaceTime)))Else(must be a place to the carrier support)1+round((BandVelocity/CarrierSupportSpacing*(MaximumPlaceTime+MaximumPrepareToPlaceTime)))Endif其中，BandVelocity為傳送帶系統101的速度；CarrierSupportSpacing為傳送帶系統101上相鄰載體支架之間的距離；
MaximumPlaceTime為基片加載站從載體支架移去一個載體所需的最大時間；MaximumPrepareToPlaceTime為基片加載站在其位置準備好將載體放到傳送帶系統101上所需的最大時間；和MaximumPlaceTime為基片加載站將載體放到傳送系統101上所需的最大時間。
因此，如果第一基片加載站從所確定的載體支架移去載體，那麼在該載體支架任一邊上適當的間距就可以為1+由用在傳送帶系統上相鄰載體支架間的距離除傳送帶系統速度和該基片加載站從載體支架移去載體所需的最大時間和基片加載站在其位置準備好將載體放到傳送帶系統101上所需的最大時間的和的乘積。
或者，如果第一基片加載站將載體放到所確定的載體支架上，則該載體支架任一邊上的間距為1+由用在傳送系統上相鄰載體支架間的距離除傳送帶系統速度和基片加載站將載體放到載體支架上所需的最大時間和基片加載站在其位置準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間的和的乘積(例如，為一個整數值)。
如果指定所選擇的載體(例如，在步驟405中)支架用於在第一和第二基片加載站之間傳送，控制系統123可以採用可接受的間距值來判斷所確定的用於在第一基片加載站傳送的載體支架任一邊上的間距(例如，在存儲在第一基片加載站的未決傳送列表中確定的載體支架)是否仍可接受。更具體地，控制系統123可以判斷所選擇的載體支架是否至少為距所確定的載體支架由可接受的間距值表示的載體支架的間隔數值。
如果所選擇的載體支架小於距所確定的載體支架由可接受的間距值所表示的間距，指定所選擇的載體支架來在第一和第二基片加載站之間傳送載體就會導致這種傳送的延遲和/或失敗，和成導致在第一基片加載站所確定載體支架的延遲和/或傳送的失敗。例如，指定這樣選擇的託架會使條帶103不平衡，這會導致傳送的延遲和/或失敗。因此，在步驟419中，如果指定所選擇的載體支架用於在第一和第二基片加載站之間傳送，如果判斷在所確定用於在第一基片加載站傳送的載體支架的任一邊上的間距並非仍可接受，可執行步驟409。如上所述，在步驟409中，控制系統123可以選擇另一個載體支架。
但，如果所選擇的載體支架不小於距所確定的載體支架由可接受的間距值所指示的間距，指定所選擇的載體支架來在第一和第二基片加載站之間傳送載體不會導致這種傳送以及所確定的在第一基片加載站的載體支架的傳送的延遲和/或失敗。因此，在步驟419中，如果指定所選擇的載體支架用於在第一和第二基片加載站之間傳送，如果判斷在所確定的用於在第一基片加載站傳送的載體支架的任一邊上的間距仍可接受，可以執行步驟415，隨後執行步驟417。如上所述，在步驟415中，確定所指定用於在第一基片加載站傳送的下一個載體支架，在步驟417中，判斷是否確定了所指定的用於在第一基片加載站傳送的下一個載體支架。
可選地，在步驟417中，如果判斷沒有確定所指定的用於在第一基片加載站傳送的下一個載體支架，則控制系統123可以遍歷在第一基片加載站的未決傳送的整個列表。以這種方式，控制系統123可以檢查在第一基片加載站上的所有未決傳送(例如，列表中所包含的全部內容)並判斷所選擇用於在第一和第二基片加載站之間傳送載體的載體支架是否可為在第一基片加載站上的所有未決傳送所接受。更具體地，控制系統123可以判斷採用所選擇的載體支架來在第一和第二基片加載站之間傳送載體是否會導致在第一基片加載站上任何未決傳送的延遲和/或失敗。因此，可以執行步驟421。在步驟421中，確定所指定用於在第二基片加載站傳送的下一個載體支架。如上所述，每個基片加載站115可以包括在該基片加載站115上未決的傳送列表。每個在基片加載站上未決的傳送可以為在設施的基片加載站之間載體傳送的一部分。該列表可以存儲在基片加載站115所包含的存儲器裡。在這樣的列表中的條目可以表示一個在基片加載站上未決的傳送並可以包括諸如載體支架標識那樣的數據和將由基片加載站執行的任務(例如，是否要從所確定的載體支架移去(例如，拾取)載體或將載體放到所確定的載體支架上)。在第二基片加載站中，控制系統123可以搜索該列表，尋找與所指定用於在第二基片加載站傳送的載體支架相應的下一個條目，其可以表示所指定用於一個傳送的下一個載體支架，可以由第二基片加載站將載體放在該載體支架上或從該載體支架移去載體。
在步驟423中，判斷是否確定了所指定用於在第二基片加載站上傳送的下一個載體支架。更具體地，判斷控制系統123是否找到了包括在第二基片加載站的列表中的另一個條目。
在步驟423中，如果判斷確定了所指定用於在第二基片加載站傳送的下一個載體支架，可以執行步驟425。在步驟425中，如果指定所選擇的載體支架用於在第一和第二基片加載站之間傳送載體，則判斷在所確定用於在第二基片加載站上傳送的載體支架的任何一邊上的間距是否仍可接受。如果指定所選擇的載體支架用於在第一和第二基片加載站之間傳送，控制系統123可以判斷在由列表條目確定的用於在第二基片加載站上傳送的載體支架的任何一邊上的間距是否仍可接受。如上所述，該間距可以表示在所指定用於在基片加載站上傳送的相鄰載體支架之間的距離。在第二基片加載站中，其可以作為所選擇的載體支架的目的基片加載站，可以如下地計算在載體支架的任一邊上可以接受的間距If pick from the carrier support Then1+round((BandVelocity/CarrierSupportSpacing*(MaximumPickTime+MaximumPrepareToPickTime)))Else(must be a place to the carrier support)1+round((BandVelocity/CarrierSupportSpacing*(MaximumPlaceTime+MaximumPrepareToPickTime)))Endif其中，MaximumPrepareToPickTime為基片加載站在其位置準備好從傳送帶系統移去載體所需的最大時間。因此，如果第二基片加載站將要從所確定的載體支架移去載體，則在該載體支架任一邊上的合適的間距為1+用在傳送帶系統相鄰載體支架之間的距離除傳送帶系統的速度和基片加載站從載體支架移去載體所需的最大時間和基片加載站在其位置準備好從傳送帶系統移去載體所需的最大時間的和的乘積(例如，為一個整數值)。
或者，如果第二基片加載站將要把載體放到所確定的載體支架上，則該載體支架任一邊上的合適的間距為1+用在傳送帶系統相鄰載體支架之間的距離除傳送帶系統的速度和基片加載站從載體支架移去載體所需的最大時間和基片加載站在其位置準備好從傳送帶系統移去載體所需的最大時間的和的乘積(例如，為一個整數值)。
如果指定所選擇的載體支架用於在第一和第二基片加載站之間傳送，控制系統123可以採用可接受的間距值來判斷在所確定用於在第二基片加載站上傳送的載體支架的任一邊上的間距是否仍可接受。更具體地，控制系統123可以判斷所選擇的載體支架是否至少為距所確定的載體支架由可以接受的間距值指示的載體支架間距的數值。
如果所選擇的載體支架小於除所確定的載體支架外由可接受的間距值所確定的間距，指定所選擇的載體支架來在第一和第二基片加載站之間傳送載體會導致這種傳送延遲和/或的失敗，和/或導致所確定在第二基片加載站上的載體支架的傳送的延遲和/或失敗。因此，如果在步驟425中，如果指定所選擇的載體支架用於在第一和第二基片加載站之間傳送，判斷在所確定用於在第二基片加載站上傳送的載體支架的任一邊上的間距並非仍可接受，可以執行步驟409。如上所述，在步驟409中，控制系統123可以選擇另一個載體支架。
但，如果所選擇的載體支架不小於距所確定的載體支架由可以接收的間距值所指示的間距，指定所選擇的載體支架來在第一和第二基片加載站之間傳送載體將不會導致這種傳送以及所確定的在第二基片加載站上載體支架的傳送的延遲和/或失敗。因此，如果在步驟425中，如果指定所選擇的載體支架用於在第一和第二基片加載站之間傳送，判斷在所確定用於在第二基片加載站傳送的載體支架的任一邊上的間距仍可接受，可以執行步驟421，隨後執行步驟423。如上所述，在步驟421中，確定所指定用於在第二基片加載站傳送的下一個載體支架，在步驟423中，判斷是否確定了所指定用於在第二基片加載站傳送的下一個載體支架。
可選地，在步驟423中，如果判斷沒有確定所指定的用於在第二基片加載站上傳送的下一個載體支架，控制系統123可以遍歷在第二基片加載站上的未決傳送的整個列表。以這種方式，控制系統123可以檢查在該列表中包含的在第二基片加載站的全部未決傳送並判斷所選擇用於在第一和第二基片加載站之間傳送載體的載體支架是否可為在第二基片加載站上的所有未決傳送所接受。更具體地，控制系統123可以判斷採用所選擇的載體支架來在第一和第二基片加載站之間傳送載體將不會導致在第二基片加載站的任何未決傳送的延遲和/或失敗。
以這種方式，控制系統123可以判斷採用所選擇的載體支架來在第一和第二基片加載站之間傳送載體將不會導致在第一和第二基片加載站上的任何未決傳送的延遲和/或失敗。因此，可以執行步驟427。在步驟427中，可以指定所選擇的載體支架來在第一和第二基片加載站之間傳送載體。可以將與第一基片加載站相應的列表更新為包括一個條目，該條目確定所選擇的載體支架並表示該第一基片加載站將把載體放載到所選擇的載體支架上。類似地，可以將與第二基片加載站相應的列表更新為包括一個條目，該條目確定所選擇的載體支架並表示該第二基片加載站將從所選擇的載體支架移去載體。
隨後，執行步驟429。如上所述，在步驟429中，結束方法401。可以通過使用方法401指定多個載體支架中的一個來傳送載體從第一基片加載站到第二基片加載站以便減少傳送所需的時間和/或保持傳送系統的平衡。例如，通過在對傳送可為可用的第一個可能的基片支架開始，並通過選擇未準備好被指定來傳送並將不會與在第一和第二基片加載站上的任何未決傳送衝突的空載體支架，本發明的方法和裝置可以指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站以便減少傳送所需的時間。此外可選地，僅僅通過指定滿足條帶加載算法的載體支架，本發明的方法和裝置可以指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站以便保持傳送帶系統的平衡。
以下將參照圖2和4並參照作為根據本發明實施例用於在設施內傳送基片載體的優選裝置結構圖的圖5來描述用於在設施內傳送基片載體的方法，當在設施內傳送基片載體時，該方法採用第二示例方法用於指定一個基片載體。參考圖5，裝置501可以是一個包括條帶113的傳送帶系統。該裝置可以包括三十三個連接到條帶113並適於支持各種載體的載體支架(雖然也可以採用更多或更少的載體支架)。條帶103可以是連續的。例如，條帶103的第一端505可以在沿著條帶113已知為「第0個」載體支架的已知節點上與條帶103的第二端507相連。條帶103的第0個載體支架在第一和第三十三個載體支架503之間(雖然可以沿著條帶103在別處定位第0個載體支架)。裝置501可以運送在多個基片加載站上的一個或多個載體509。例如，裝置501可以運送在從第一到第三基片加載站511-515上的載體(雖然裝置501可以運送在更多或更少基片加載站上上的載體)。對於裝置501來說，基片加載站511-515準備好將載體509放到傳送帶系統501所需的最大時間，基片加載站511-515將載體509從傳送帶系統501上移去所需的最大時間、從傳送帶系統501移去載體509所需的最大時間以及將載體509放到傳送帶系統501上所需的最大時間對於每個基片加載站來說都是六秒。但，對基片加載站511-515的一個或多個來說，以上所涉及的參數也可以為更大或更小的值。而且，條帶113的速度在箭頭517方向上(例如，從第一基片加載站511向第三基片加載站515)可以為5英尺/秒。在條帶103上相鄰載體支架503之間的間距可以是兩英寸。但，條帶的速度和/或在相鄰載體支架之間的間距也可以為更大或更小的值。
而且，假定以下的傳送是未決的預定的傳送(例如，拾取和放置)在基片加載站1(SLS1)拾取放置從載體支架30拾取載體M將載體3放到載體支架5基片加載站2(SLS2)拾取放置從載體支架12拾取載體G將載體7放到載體支架18基片加載站3(SLS3)拾取放置從載體支架24拾取載體K將載體B放到載體支架11在運行中，例如，在步驟205中，控制系統123的TSC 117可以從MCS 121接收一個新的傳送命令來從SLS1傳送載體4到SLS2。相應地，第一基片加載站SLS1可以發送一個指定載體支架命令到TSC 117，這可以表示進入第一基片加載站SLS1的最後一個載體支架為載體支架3。以下參照圖6和7描述在控制系統123和/或一個或多個基片加載站的部件之間握手的詳細情況。隨後，在其中可以採用第二示例方法401的步驟207中，將產生如下的處理1.在步驟405中，使用上述公式，控制系統123判斷第一基片加載站(例如，源基片加載站)可能要求在已經指定好用於拾取或放置的載體支架的任一邊上四個載體支架的間距。
2.TSC 117可以假定第一基片加載站(例如，SLS1)要求距進入第一基片加載站的這最後一個載體支架(如，載體支架3)的四個載體支架的間距。因此，TSC 117從作為可以用於傳送的第一基片支架的載體支架33開始。應當注意第0個載體支架，其雖然不能用來傳送，但可以在確定載體間距時考慮(雖然，在一些實施例中，在確定載體支架空間時可以不予考慮第0個載體支架)。
3.在步驟407中，載體支架33可用嗎(空，未指定到另一個傳送且滿足條帶加載算法)？是。
4.在步驟415-417中，指定在第一基片加載站SLS1傳送的第一載體支架為載體支架30。
5.在步驟419中，載體支架33可為第一基片加載站SLS1所接受嗎，如果指定載體支架30來傳送嗎？否，因為載體支架33並非是至少距載體支架30的4個間距。
6.在步驟409和411之後，在步驟407中，載體支架32可用嗎(空，未指定到另一個傳送且滿足條帶加載算法)？否。
7.在步驟409和411之後，在步驟407中，載體支架31可用嗎(空，未指定到另一個傳送且滿足條帶加載算法)？是。
8.在步驟415-417之後，指定在第一基片加載站SLS1傳送的第一載體支架為載體支架30。
9.在步驟419中，載體支架31也可為第一基片加載站SLS1所接受嗎，如果指定載體支架30用於傳送嗎？否，因為載體支架31並非至少是距載體支架30的4個間距。
10.在步驟409和411之後，在步驟407中，載體支架30可用嗎(空，未指定到另一個傳送且滿足條帶加載算法)？否。
11.在步驟409和411之後，在步驟407中，載體支架29可用嗎(空，未指定到另一個傳送且滿足條帶加載算法)？是。
12.在步驟415-417中，指定在第一基片加載站SLS1傳送的第一載體支架為載體支架30。
13.在步驟419中，載體支架29可為第一基片加載站所接受嗎，如果指定載體支架30來傳送嗎？否。
14.在TSC 117得到載體支架26之前一直持續該過程。
15.在步驟419中，載體支架26可為第一基片加載站SLS1所接受嗎，如果指定載體支架30來傳送嗎？是。
16.在步驟415-417中，指定在第一基片加載站SLS1傳送的下一個載體支架為載體支架5。
17.在步驟419中，載體支架26可為第一基片加載站SLS1所接受嗎，如果指定載體支架5來傳送嗎？是。
18.在步驟417中，沒有更多的載體支架被指定在第一基片加載站SLS1傳送，因此載體支架26可為第一(例如，源)基片加載站所接受。
19.使用上述公式，第二(例如，目的)基片加載站SLS2可能要求在已經指定用於拾取或放置的一個載體支架的任一邊上四個載體支架的間距。
20.在步驟421-423中，指定在第二基片加載站SLS2傳送的第一載體支架為載體支架12。
21.在步驟425中，載體支架26可為第二基片加載站SLS2所接受嗎，如果指定載體支架12來傳送嗎？是。
22.在步驟421-423中，指定在第二基片加載站SLS2傳送的下一個載體支架為載體支架18。
23.在步驟425中，載體支架26可為第二基片加載站SLS2所接受嗎，如果指定載體支架12來傳送嗎？是。
24.在步驟423中，沒有更多的載體支架被指定在第二基片加載站SLS2傳送，因此載體支架26可為第二(例如，目的)基片加載站所接受。
25.在步驟427中，指定載體支架26用於該傳送。
26.在步驟209中，載體支架26可以從第一(例如，源)基片加載站運送載體。更具體地，第一基片加載站SLS1可以將載體放到載體支架26上並且載體支架26可以從第一基片加載站SLS1運送載體。
27.在步驟211中，載體支架26可以從第二(例如，目的)基片加載站運送載體。更具體地，載體支架26可以將載體運送到第二基片加載站SLS2並且第二基片加載站SLS2可以從載體支架26移去載體。
以這種方式，裝置501可以通過在設施內傳送載體時採用一種用於指定載體支架的示例方法來在設施內傳送基片載體以便減少傳送所需的時間和/或保持傳送系統的平衡。因此，控制系統123可以使得相比於在傳統的電子裝置製造設施內更高效地傳送載體，從而相比於傳統系統提高了製造能力。
圖6舉例說明了根據本發明實施例在其中成功指定了載體支架的設施內開始基片載體傳送時的握手601。參考圖6，為了在設施內開始載體傳送，MCS 121可以發送命令603來從源基片加載站(例如，SLS1)傳送特定的載體到目的基片加載站(例如，SLS2)。TSC 117可以發送一個響應605到MCS命令603。TSC 117試圖從源基片加載站傳送特定的載體到載體支架。例如，TSC 117可以發送一個開始傳送的通知607給MCS 121，對此MCS可以發送一個響應609。
TSC 117可以根據未決載體支架指定而發送命令611來將載體傳送給源基片加載站。例如，TSC 117可以將從MCS 603接收到的命令轉送到源基片加載站SLS1。源基片加載站SLS1可以發送一個對傳送命令611的回覆613。由於載體支架指定在由源基片加載站SLS1所接收到的傳送命令611中未決，因此源基片加載站SLS1可以發送命令615，該命令向TSC 117請求指定將用於傳送的一個載體支架。請求指定將用於傳送的一個載體支架的命令615可以包括諸如進入源基片加載站SLS1的最後一個載體支架那樣的信息。命令615可以包括額外和/不同的信息。基於諸如進入源基片加載站SLS1的最後一個載體支架那樣的信息，TSC 117可以採用示例方法301、401中的一種用於當在上述設施內傳送基片載體時指定一個載體支架來為該傳送選擇並指定一個載體支架。TSC117可以發送一個回復617給源基片加載站SLS1，其可以確定對於該傳送所選擇並指定的載體支架。
TSC 117可以發送一個傳送命令619到目的基片加載站SLS2，其可以包括為該傳送所選擇與指定的載體支架。該目的基片加載站SLS2可以發送一個回復621給TSC 117以響應傳送命令619。源基片加載站SLS1接著可以開始一個傳送來從源基片加載站SLS1運送特定的載體到指定的載體支架。以這種方式，源基片加載站SLS1可以將特定的載體放到指定的載體支架上。源基片加載站SLS1可以發送一個開始傳送的事件通知623到TSC 117。
圖6中的握手601舉例說明其中成功指定載體支架的傳送的開始。相反，圖7A和7B舉例說明根據本發明實施例在其中成功指定載體支架的設施內開始基片載體傳送時的握手。參考圖7A和7B，包括在握手701中的通信(例如，命令，響應，通知和/或回復)603-615與圖6的握手類似，因此，這裡就不再累述。與握手601相反，在握手701期間，響應命令615來為從源基片加載站SLS1到TSC 117的傳送指定一個載體支架，TSC 117不能成功地指定載體支架。應當注意的是，這樣的情況是不正常的。更具體地，基於諸如進入源基片加載站SLS1的最後一個載體支架那樣的信息，TSC 117可以採用示例方法301、401中的一種用於當在上述設施內傳送基片載體時指定一個載體支架來為該傳送選擇與指定一個載體支架。但，這些示例方法301，401都不能選擇和指定一個可為源基片加載站和目的基片加載站SLS1，SLS2所接受的載體支架使得實現至少是減少傳送所需的時間和保持傳送系統的平衡之一。因此，TSC 117可以發送一個回復703到源基片加載站SLS1，表示TSC 117不能為該傳送指定一個載體支架。因此，TSC 117可以發送一個命令705到源基片加載站SLS1來取消該傳送。源基片加載站SLS1可以發送一個回復707到TSC 117以響應取消傳送的命令705。
源基片加載站SLS1可以取消該傳送命令並發送一個表示傳送命令的取消已開始事件通知709到TSC 117。隨後，一旦傳送命令被取消，源基片加載站SLS1可以發送一個表示傳送命令的取消已完成事件通知到TSC 117。
TSC 117可以等待一段時間，這可以規定為一種延遲(例如，可配置的延遲)或等待改變一個或多個載體支架的狀態(例如，可用性)以便TSC 117可以成功地指定(或合理地期望成功指定)一個載體支架。隨後，TSC 117重新發送命令611來根據未決的載體支架指定將載體傳送到源基片加載站SLS1。包括在握手701中的下述通信(例如，命令，響應，通知和/或回復)613-623與圖6的握手601中的相應通信類似，因此，在此不再累述。以這種方式，雖然控制系統123開始時不能響應從源基片加載站SLS1傳送載體到目的基片加載站SLS2的命令來指定一個載體支架，但控制系統123可以在以後重新發送一個傳送命令並為該傳送成功地指定一個載體支架。在圖6和7中舉例說明的握手是示例性的，因此，應當理解握手可以以不同的方式發生。例如，握手601、701可以包括更多或更少的通信。而且，該握手可以包括不同的通信601、701。
以這種方式，例如，本發明的方法和裝置可以優先選擇載體傳送的載體支架以便(1)減少請求載體所需的時間和/或使其最小化；和/或(2)條帶103上載體的分布一般來說不會導致條帶103速度的改變。更具體地，在選擇載體傳送的載體支架之前，TSC 117可以從源基片加載站SLS1獲得例如到達源基片加載站SLS1的最後一個載體支架、源基片加載站SLS1(例如，源基片加載站SLS1的吊臂)準備好載體傳送的時間(例如，估算的時間)數據。此外可選地，通過確保條帶103上載體的分布一般來說不會導致條帶103速度的改變，本發明的方法和裝置可以減少條帶103的不平衡加載，這種不平衡加載可以導致條帶壓縮和/或延展尤其是在條帶的帶彎(bend)上的壓力。
以上所描述的僅僅是本發明的示例實施例。本領域的技術人員可以在不背離本發明的範圍的情況下對本發明所公開的裝置和方法作出修改。例如，雖然本發明的方法和裝置描述了指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站(例如SLS1)傳送載體到第二基片加載站(例如，SLS2)以便至少是減少傳送所需時間和傳送系統的平衡之一，但在其他的實施例中，可以指定一個載體支架來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站以便可獲得優化載體傳送的優點。可以理解的是，本發明還可以採用諸如矽基片，玻璃板，掩模(mask)，網板(reticule)，晶片等任何類型的基片，而無論是否被構圖，和/或傳送和/或處理該基片的裝置。
因此，雖然本發明參照其中的示例實施例進行了描述，但可以理解的是，以下權利要求所定義的其他實施例也落在本發明的精神和範圍之內。
權利要求
1.一種電子裝置製造方法，包括接收從包括多個基片加載站的電子裝置製造設施的第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站的請求，其中該設施還進一步包括多個連接到適於在設施內運送載體的傳送帶系統的載體支架；指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，使得至少是減少傳送所需的時間和保持傳送帶系統的平衡之一；從第一基片加載站運送載體；和將載體運送到第二基片加載站。
2.根據權利要求1所述的方法，其中指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站包括從多個載體支架中選擇一個，並判斷採用所選擇的載體支架是否會與一個未決傳送衝突。
3.根據權利要求2所述的方法，進一步包括，如果不存在與未決傳送衝突，則指定所選擇的載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
4.根據權利要求2所述的方法，進一步包括，如果存在與未決傳送衝突，則從多個載體支架中選擇另一個。
5.根據權利要求4所述的方法，進一步包括判斷採用所選擇的另一個載體支架是否會與一個未決傳送衝突；和如果不存在與未決傳送衝突，則指定另一個選擇的載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
6.根據權利要求2所述的方法，進一步包括判斷採用所選擇的載體支架是否會使得傳送帶系統不平衡。
7.根據權利要求6所述的方法，進一步包括，如果不存在與未決傳送衝突且所選擇的載體支架不會使傳送帶系統不平衡，則指定所選擇的載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站傳送。
8.根據權利要求7所述的方法，進一步包括，如果存在與未決傳送衝突或所選擇的載體支架會使傳送帶系統不平衡，則從多個載體支架中選定另一個。
9.根據權利要求8所述的方法，進一步包括判斷採用所選擇的另一個載體支架是否與會一個未決傳送衝突；判斷採用所選擇的另一個載體支架是否會使傳送帶系統不平衡；和如果不存在與未決傳送衝突且所選擇的另一個載體支架不會使傳送帶系統不平衡，則指定所選擇的另一個載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
10.根據權利要求2所述的方法，其中未決傳送包括在基片加載站之間的載體傳送。
11.根據權利要求2所述的方法，其中基於以下至少其中之一來判斷採用所選擇的載體支架是否會與一個未決傳送衝突第一組參數，包括用連接到傳送帶系統的相鄰載體支架之間的間距所除的傳送帶系統的速度；第一基片加載站準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間；至少是第一基片加載站準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間和第一基片加載站從傳送帶系統移去載體所需的最大時間之一；和第二組參數，包括用連接到傳送帶系統的相鄰載體支架之間的間距所除的傳送帶系統的速度；第二基片加載站準備好從傳送帶系統移去載體所需的最大時間；至少是第二基片加載站準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間和第二基片加載站從傳送帶系統移去載體所需的最大時間之一。
12.一種用於製造電子裝置的裝置，包括電子裝置製造設施的控制系統，其適於接收一個從包括多個基片加載站的電子裝置製造設施的第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站的請求，其中該設施還進一步包括多個連接到適於在設施內運送載體的傳送帶系統的載體支架；指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，使得至少是減少傳送所需的時間和保持傳送帶系統的平衡之一；從第一基片加載站運送載體；和將載體運送到第二基片加載站。
13.根據權利要求12所述的裝置，其中控制系統進一步適於從多個載體支架中選擇一個；和判斷採用所選擇的載體支架是否會與一個未決傳送衝突。
14.根據權利要求13所述的裝置，其中控制系統進一步適於，如果不存在與未決傳送衝突，則指定所選擇的載體支架來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
15.根據權利要求13所述的裝置，其中控制系統進一步適於，如果存在與未決傳送衝突，則從多個載體支架中選擇另一個。
16.根據權利要求15所述的裝置，其中控制系統進一步適於判斷採用所選擇的另一個載體支架是否會與一個未決傳送衝突；如果不存在與未決傳送衝突，則指定所選擇的另一個載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
17.根據權利要求13所述的裝置，其中控制系統進一步適於判斷採用所選擇的載體支架是否會使傳送帶系統不平衡。
18.根據權利要求17所述的裝置，其中控制系統進一步適於，如果不存在與未決傳送衝突且所選擇的載體支架不會使傳送帶系統不平衡，則指定所選擇的載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
19.根據權利要求18所述的裝置，其中控制系統進一步適於，如果存在與未決傳送衝突或所選擇的載體支架使傳送帶系統不平衡，則從多個載體支架中選定另一個。
20.根據權利要求19所述的裝置，其中控制系統進一步適於判斷採用所選擇的另一個載體支架是否會與一個未決傳送衝突；判斷採用所選擇的另一個載體支架是否會使傳送帶系統不平衡；以及如果不存在與未決傳送衝突並且所選擇的另一個載體支架不會使傳送帶系統不平衡，則指定所選擇的另一個載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
21.根據權利要求13所述的裝置，其中未決傳送包括在基片加載站之間的載體傳送。
22.根據權利要求13所述的裝置，其中控制系統進一步適於基於以下至少其中之一來判斷採用所選擇的載體支架是否會與一個未決傳送衝突第一組參數，包括用連接到傳送帶系統的相鄰載體支架之間的間距所除的傳送帶系統的速度；第一基片加載站準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間；以及至少是第一基片加載站準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間和第一基片加載站從傳送帶系統移去載體所需的最大時間之一；和第二組參數，包括用連接到傳送帶系統的相鄰載體支架之間的間距所除的傳送帶系統的速度；第二基片加載站準備好從傳送帶系統移去載體所需的最大時間；以及至少第二基片加載站準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間和第二基片加載站從傳送帶系統移去載體所需的最大時間之一。
23.一種用於製造電子裝置的系統，包括多個包含在電子裝置製造設施中的基片加載站；一個傳送帶系統，具有多個與其相連的載體支架，並適於在設施內運送載體；和一個控制系統，連接到多個基片加載站和該傳送帶系統，並適於接收一個從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站的請求；指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，使得至少是減少傳送所需的時間和保持傳送帶系統的平衡之一；從第一基片加載站運送載體；和將載體運送到第二基片加載站。
24.根據權利要求23所述的系統，其中控制系統進一步適於從多個載體支架中選擇一個；和判斷採用所選擇的載體支架是否會與一個未決傳送衝突。
25.根據權利要求24所述的系統，其中控制系統進一步適於，如果不存在與未決傳送衝突，則指定所選擇的載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
26.根據權利要求24所述的系統，其中控制系統進一步適於，如果存在與未決傳送衝突，則從多個載體支架中選擇另一個。
27.根據權利要求26所述的系統，其中控制系統進一步適於判斷採用所選擇的另一個載體支架是否會與一個未決傳送衝突；和如果不存在與未決傳送衝突，則指定所選擇的另一個載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
28.根據權利要求24所述的系統，其中控制系統進一步適於判斷採用所選擇的載體支架是否會使傳送帶系統不平衡。
29.根據權利要求28所述的系統，其中控制系統進一步適於，如果不存在與未決傳送衝突且所選擇的載體支架不會使傳送帶系統不平衡，則指定所選擇的載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
30.根據權利要求29所述的系統，其中控制系統進一步適於，如果存在與未決傳送衝突或所選擇的載體支架會使傳送帶系統不平衡，則從多個載體支架中選定另一個。
31.根據權利要求30所述的系統，其中控制系統進一步適於判斷採用所選擇的另一個載體支架是否會與一個未決傳送衝突；判斷採用所選擇的另一個載體支架是否會使傳送帶系統不平衡；如果不存在與未決傳送衝突同時所選擇的另一個載體支架不會使傳送帶系統不平衡，則指定所選擇的另一個載體支架用於從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站。
32.根據權利要求24所述的系統，其中未決傳送包括在基片加載站之間的載體傳送。
33.根據權利要求24所述的系統，其中控制系統進一步適於基於以下至少其中之一來判斷採用所選擇的載體支架是否會與一個未決傳送衝突第一組參數，包括用連接到傳送帶系統的相鄰載體支架之間的間距所除的傳送帶系統的速度；第一基片加載站準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間；以及至少是第一基片加載站準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間和第一基片加載站從傳送帶系統移去載體所需的最大時間之一；和第二組參數，包括用連接到傳送帶系統的相鄰載體支架之間的間距所除的傳送帶系統的速度；第二基片加載站準備好將載體放到傳送帶系統上所需的最大時間；以及至少是第二基片加載站準備好從傳送帶系統移去載體所需的最大時間和第二基片加載站從傳送帶系統移去載體所需的最大時間之一。
34.一種方法，包括提供多個適於接收基片載體的基片加載站；提供一個適於在基片加載站之間傳送載體的傳送帶系統，該系統包括多個適於支撐基片載體的載體支架；提供一個控制系統用於控制在基片加載站之間的基片載體傳送；採用該控制系統來發送一個傳送命令到第一基片加載站；如果控制系統不能指定一個用於從第一基片加載站傳送的載體支架，則採用該控制系統來發送一個命令到第一基片加載站以取消傳送；和在延遲和一個或多個載體支架的狀態改變之中的至少一個之後，採用該控制系統重新發送傳送指令到第一基片加載站。
35.根據權利要求34所述的方法，進一步包括，響應重新發送的傳送命令指定一個載體支架用於從第一基片加載站傳送；從第一基片加載站運送載體；將載體運送到第二基片加載站。
全文摘要
在第一方面，提供電子裝置製造的第一方法。該第一方法包括步驟(1)接收一個從包括多個基片加載站的電子裝置製造設施的第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站的請求，其中該設施還進一步包括多個連接到適於在設施內運送載體的傳送帶系統的載體支架；(2)指定多個載體支架中的一個來從第一基片加載站傳送載體到第二基片加載站，使得至少是減少傳送所需的時間和保持傳送帶系統的平衡之一；(3)從第一基片加載站運送載體；和(4)將載體運送到第二基片加載站。還提供了其他方面。
文檔編號B24B5/00GK1736831SQ20051009139
公開日2006年2月22日 申請日期2005年2月28日 優先權日2004年2月28日
發明者託德·J.·布裡爾, 麥可·特弗拉, 艾米特·普利, 丹尼爾·R.·傑索普, 格雷德·L.·沃納, 戴維·C.·杜芬 申請人:應用材料有限公司