柔性顯示面板的製作方法

2024-02-08 01:27:15

本實用新型涉及顯示技術領域，尤其涉及一種柔性顯示面板。

背景技術：

柔性顯示技術近幾年飛速發展，柔性顯示面板從屏幕尺寸到顯示質量都取得了很大進步。無論是瀕臨消失的陰極射線管(Cathode Ray Tube，CRT)，還是現今主流的液晶顯示面板(Liquid Crystal Display，LCD)，本質上都屬於傳統的剛性顯示面板。與傳統的剛性顯示面板相比，柔性顯示面板具有諸多優點，如耐衝擊，抗震能力強，重量輕，體積小，攜帶更加方便等。

柔性顯示面板的基底是柔性基底，而柔性基底易發生變形，故在柔性顯示面板的製作過程中，柔性基底的定位、搬運、存儲等均比較困難。柔性顯示面板的製作方法，通常要先在玻璃基底上形成柔性基底，之後依次在柔性基底上形成緩衝層和各種顯示結構，再用準分子雷射從玻璃基底側照射柔性基底，使柔性基底與玻璃基底間的附著力降低而與玻璃基底分開(即雷射剝離)，形成獨立的柔性顯示基板。

同時，柔性陣列基板中包括大量的薄膜電晶體，而低溫多晶矽薄膜電晶體(LTPS－TFT)是薄膜電晶體的一種重要類型，其有源區由多晶矽構成，有源區的製備方法是先形成非晶矽(α－Si)層，之後用準分子雷射從遠離玻璃基底的一側照射非晶矽層，通過雷射退火(ELA)方式使非晶矽熔融、成核、長大而轉變為多晶矽(Poly－Si)，進而形成多晶矽的有源區。

然而，在雷射剝離過程中，可能有部分準分子雷射穿過柔性基底照射到顯示結構上則會對顯示結構的性能造成影響；同樣，雷射退火過程中，可能有準分子雷射穿過非晶矽層而照射到柔性基底上而對柔性基底的性能造成破壞如造成柔性基底碳化或與相鄰層分離等。

技術實現要素：

鑑於上述狀況，有必要提供一種結構簡單的柔性顯示面板，其可防止雷射剝離及雷射退火時雷射對柔性顯示面板的損壞。

本實用新型提供一種柔性顯示面板，包括柔性基底和設置於所述柔性基底之上的顯示結構，所述柔性顯示面板還包括可吸收雷射的雷射吸收層，所述雷射吸收層設置於所述柔性基底和所述顯示結構之間。

進一步地，所述雷射吸收層為非晶矽雷射吸收層。

進一步地，所述顯示結構包括由下而上依次設置的薄膜電晶體、陽極、像素層、以及陰極。

進一步地，所述顯示結構還包括緩衝層，所述緩衝層設置所述雷射吸收層與所述薄膜電晶體之間。

進一步地，所述薄膜電晶體包括柵極、柵絕緣層、有源區、源極、漏極、層間介質層、以及平坦化層，所述有源區設置於所述緩衝層的上方，所述柵絕緣層設置於所述有源區和無所述有源區覆蓋的所述緩衝層的上方，所述柵極設置於所述有源區所對應的所述柵絕緣層的上方，所述層間介質層設置於所述柵極和無所述柵極覆蓋的所述柵絕緣層的上方，所述源極和所述漏極分別嵌設於所述有源區上方的所述層間介質層和所述平坦化層中，所述陽極設置於所述平坦化層的上方，所述陽極穿過所述平坦化層與所述漏極電性連接。

進一步地，所述像素層包括紅、綠、藍像素。

本實用新型實施例的技術方案帶來的有益效果是：上述柔性顯示面板，由於包括雷射吸收層，其可在雷射剝離和雷射退火過程中吸收穿過顯示結構和柔性基底的雷射，有效避免雷射照射對顯示結構的損害及顯示性能的影響。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的柔性顯示面板的結構示意圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型為達成預定實用新型目的所採取的技術手段及功效，以下結合附圖及較佳實施例，對本實用新型的具體實施方式、結構、特徵及其功效，詳細說明如後。

圖1是本實用新型實施例的柔性顯示面板的結構示意圖，請參見圖1所示，本實用新型的柔性顯示面板10形成在玻璃基板(未圖示)上，所述柔性顯示面板10包括柔性基底11、雷射吸收層12、以及顯示結構13。雷射吸收層12設置於柔性基底11的上方，顯示結構13設置於雷射吸收層12的上方，即雷射吸收層12設置於柔性基底11和顯示結構13之間。

柔性基底11是由柔性材料製成，柔性基底11可由聚醯亞胺或聚對苯二甲酸乙二醇酯製成，但不限於此。

顯示結構13包括緩衝層131、薄膜電晶體132、陽極133、陰極(圖未示)、以及設置於陽極133和陰極之間的像素層(圖未示)，緩衝層131、薄膜電晶體132、陽極133、像素層、及陰極由下而上依次設置，緩衝層131設置於雷射吸收層12的上方。

薄膜電晶體132包括柵極1321、柵絕緣(GI)層1322、有源區1323、源極1324、漏極1325、層間介質(ILD)層1326、以及平坦化層1327。有源區1323設置於緩衝層131的上方，柵絕緣層1322設置於有源區1323和無有源區1323覆蓋的緩衝層131的上方，柵極1321設置於有源區1323所對應的柵絕緣層1322的上方，層間介質層1326設置於柵極1321和無柵極1321覆蓋的柵絕緣層1322的上方，源極1324和漏極1325分別嵌設於有源區1323上方的柵絕緣層1322和層間介質層1326中。陽極133設置於平坦化層1327的上方，陽極133穿過平坦化層1327與漏極1325電性連接。像素層包括紅、綠、藍像素。

雷射吸收層12設置於柔性基底11和顯示結構13之間。雷射吸收層12可為非晶矽(α－Si)雷射吸收層製成，但不限於此。非晶矽對308nm準分子雷射有很高的吸收係數，其可將雷射剝離和雷射退火過程中穿過有源區134和柔性基底11的雷射吸收，避免雷射照射對顯示結構13的損害及顯示性能的影響。同時，雷射吸收層12具有較好的水、氧隔絕性能，可避免水汽、氧氣等與顯示結構13接觸，起到保護顯示結構13的作用。

本實用新型實施例的技術方案帶來的有益效果是：上述柔性顯示面板10，由於包括雷射吸收層12，其可在雷射剝離玻璃基板時候和雷射退火過程中吸收穿過顯示結構13和柔性基底11的雷射，有效避免雷射照射對顯示結構13的損害及顯示性能的影響。

在本實用新型中，術語「包括」、「包含」或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且還可包含沒有明確列出的其他要素。

在本實用新型中，所涉及的前、後、上、下等方位詞是以附圖中零部件位於圖中以及零部件相互之間的位置來定義的，只是為了表達技術方案的清楚及方便。應當理解，所述方位詞的使用不應限制本申請請求保護的範圍。

在不衝突的情況下，本實用新型中上述實施例及實施例中的特徵可以相互結合。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，並不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。