一種新型熱屏總成及其新型熱屏裝置的製作方法
2024-01-31 14:23:15 2
專利名稱：一種新型熱屏總成及其新型熱屏裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及單晶爐技術領域，特別涉及一種新型熱屏總成及其新型熱屏裝置。
背景技術：
熱屏是單晶爐熱場不可缺少的部分，俗稱導流筒，在拉晶的過程中，熱屏的主要作用是引導氣流，使晶體周圍快速冷卻，從而提聞晶體的生長速度。為了進一步提聞晶體的生長速度，還可以在熱屏內側增加鑰片裝置，以進一步減少加熱器對晶棒的熱輻射。熱屏包括熱屏內筒和熱屏外筒，請參閱圖1，熱屏內筒01為上大下小的中空錐形結構，其內壁具有光滑的錐度。目前通用的方法是將鑰片02捲成和熱屏內筒01的內壁結構類似的椎體，垂直放到熱屏內筒01的內側，由於熱屏內筒01特殊的錐體結構，鑰片02恰好可以架在熱屏內筒01的內壁上。但是目前這種鑰片02的使用方式對鑰片02的使用壽命有很高的要求，鑰片02在卷制好架在熱屏內筒01的內壁上使用一段時候後，就會變脆，用手輕輕一捏就可掰下一小片，並且在使用一段時候後，鑰片02在高溫下，可能會斷裂或者掉渣，也就是下沿可能會脫落，這樣的話鑰片02的碎片渣掉到裝滿矽料溶液的石英坩堝裡面，會直接影響成晶率，甚至有可能無法拉出單晶棒。因此，目前單晶爐使用的熱屏不能夠滿足盛放鑰片的需求，如何改進熱屏的結構，使其能夠方便的裝載鑰片，完全避免鑰片的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，成為本領域技術人員亟待解決的重要技術問題。
實用新型內容有鑑於此，本實用新型提供了一種新型熱屏裝置，能夠方便的裝載鑰片，完全可以避免鑰片的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，進而保證拉晶的正常進行，提高成晶率。本實用新型還提供了一種應用了上述新型熱屏裝置的新型熱屏總成。為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案:一種新型熱屏裝置，包括熱屏外筒和熱屏內筒，所述熱屏內筒的內壁沿周面開設有用於裝載鑰片的安裝槽。優選的，所述安裝槽開設在所述熱屏內筒的底部。優選的，所述安裝槽的高度和所述鑰片的高度相同。優選的，所述安裝槽的深度具體為大於所述鑰片的厚度1mm。一種新型熱屏總成，包括熱屏裝置和鑰片裝置，所述熱屏裝置為上述的新型熱屏裝置，所述鑰片裝置的鑰片卡設在所述新型熱屏裝置的熱屏內筒的安裝槽內。從上述的技術方案可以看出，本實用新型提供的新型熱屏裝置，通過在其熱屏內筒的內壁沿周面開設有用於裝載鑰片的安裝槽，使其能夠方便的承載鑰片，與現有技術中將捲成錐體的鑰片直接架在熱屏內筒光滑的錐形內壁上相比，本實用新型的設計完全可以避免鑰片的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，進而保證拉晶的正常進行，提高成晶率。本方案中對於熱屏的改造加工也很簡單，易於實現。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現有技術中熱屏的結構示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置的結構示意圖；圖3為圖2中A區域的局部放大視圖。其中，01為現有技術中的熱屏內筒，02為鑰片；11為本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置的熱屏內筒，12為鑰片。
具體實施方式
本實用新型的核心在於公開了一種新型熱屏裝置，能夠方便的裝載鑰片，完全可以避免鑰片的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，進而保證拉晶的正常進行，提高成晶率。下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。請參閱圖2和圖3，圖2為本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置的結構示意圖；圖3為圖2中A區域的局部放大視圖。本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置，包括熱屏外筒和熱屏內筒11，其核心改進點在於，熱屏內筒11的內壁沿周面開設有用於裝載鑰片12的安裝槽。在安裝時，將捲成錐體的鑰片12卡在上述安裝槽內即可，與現有技術中直接架在內壁上相比，鑰片12的裝載更加牢固和可靠，不易脫落；即使鑰片12在使用過程中產生碎片渣，也會被留在安裝槽內。從上述的技術方案可以看出，本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置，通過在其熱屏內筒11的內壁沿周面開設有用於裝載鑰片12的安裝槽，使其能夠方便的承載鑰片12，與現有技術中將捲成錐體的鑰片02直接架在熱屏內筒01光滑的錐形內壁上相比，本實用新型的設計完全可以避免鑰片12的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，進而保證拉晶的正常進行，提高成晶率。本方案中對於熱屏的改造加工也很簡單，易於實現。鑑於在實際的生產過程中，加熱器的安裝位置通常靠近於熱屏的底部，鑰片裝置也需要裝載在熱屏的底部，以減少加熱器對晶棒的熱輻射。因此，為了進一步優化上述的技術方案，在本方案的具體實施例中，安裝槽開設在熱屏內筒11的底部，以便於在新型熱屏裝置的底部裝載鑰片12。作為優選，安裝槽的高度和鑰片12的高度相同，即安裝槽的長度恰好能夠容納鑰片12的長度。這樣一來，在鑰片12卡入安裝槽內後，不會發生沿豎直方向的活動，避免了鑰片12從中脫落。[0028]本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置，安裝槽的深度具體為大於鑰片12的厚度1_，能夠更好的防止鑰片12碎片渣的掉落，即使鑰片12在使用過程中產生碎片渣，也會被留在安裝槽內。當然，針對不同尺寸的鑰片12，可以對安裝槽的高度和深度進行相應的調整，對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，在此不再贅述。本實用新型還提供了一種應用了上述新型熱屏裝置的新型熱屏總成，包括熱屏裝置和鑰片裝置，其核心改進點在於，熱屏裝置為上述的新型熱屏裝置，鑰片裝置的鑰片12卡設在新型熱屏裝置的熱屏內筒11的安裝槽內。綜上所述，本實用新型實施例提供的新型熱屏總成及其新型熱屏裝置，通過在其熱屏內筒11的內壁沿周面開設有用於裝載鑰片12的安裝槽，使其能夠方便的承載鑰片12，與現有技術中將捲成錐體的鑰片02直接架在熱屏內筒01光滑的錐形內壁上相比，本實用新型的設計完全可以避免鑰片12的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，進而保證拉晶的正常進行，提高成晶率。本方案中對於熱屏的改造加工也很簡單，易於實現。本說明書中各個實施例採用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的範圍。
權利要求1.一種新型熱屏裝置，包括熱屏外筒和熱屏內筒(11)，其特徵在於，所述熱屏內筒(11)的內壁沿周面開設有用於裝載鑰片(12)的安裝槽。
2.根據權利要求1所述的新型熱屏裝置，其特徵在於，所述安裝槽開設在所述熱屏內筒(11)的底部。
3.根據權利要求2所述的新型熱屏裝置，其特徵在於，所述安裝槽的高度和所述鑰片(12)的高度相同。
4.根據權利要求3所述的新型熱屏裝置，其特徵在於，所述安裝槽的深度具體為大於所述鑰片(12)的厚度1mm。
5.一種新型熱屏總成，包括熱屏裝置和鑰片裝置，其特徵在於，所述熱屏裝置為如權利要求1-4任意一項所述的新型熱屏裝置，所述鑰片裝置的鑰片(12)卡設在所述新型熱屏裝置的熱屏內筒(11)的安裝槽內。
專利摘要本實用新型公開了一種新型熱屏裝置，通過在其熱屏內筒的內壁沿周面開設有用於裝載鉬片的安裝槽，使其能夠方便的承載鉬片，與現有技術中將捲成錐體的鉬片直接架在熱屏內筒光滑的錐形內壁上相比，本實用新型的設計完全可以避免鉬片的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，進而保證拉晶的正常進行，提高成晶率。本方案中對於熱屏的改造加工也很簡單，易於實現。本實用新型還提供了一種應用了上述新型熱屏裝置的新型熱屏總成。
文檔編號C30B15/00GK203034137SQ20132001645
公開日2013年7月3日 申請日期2013年1月11日 優先權日2013年1月11日
發明者王永輝 申請人:英利集團有限公司