佳能出問題 將導致面板六代線難產？

2025-04-28 08:58:24

    第六代液晶面板生產線（6代線）又遇到了新的難題，曝光作為面板生產中重要的一環，最近又顯露出技術上的瓶頸，這甚至直接影響到全球數條6代線的量產，由此將波及大尺寸LCD以及液晶電視的進一步普及……

    最近，Canon曝光機臺傳出設計不良的問題，雖然Canon尚未對此進行進一步的澄清與說明，但是韓國法人圈已經傳出三星（Samsung）七代廠以及樂金飛利浦（LG.Philips LCD）六代廠產能開出時程將因此延後。臺灣面板廠包含友達、奇美、華映、廣輝的裝機時程雖然沒有受到影響，但是事實上，因為五代以上面板設備機臺設計難度提高不少，因此也為2005年各家六代廠產能開出狀況添增了許多變數。

　   據了解，目前除了夏普（Sharp）的六代廠是全數採用尼康（Nikon）的曝光機臺外，三星的七代廠、LG.Philips的六代廠、友達的六代廠、奇美的5.5代廠、廣輝的六代廠也都有採用一部分Canon的機臺，由於各家設備組合併不相同，裝機時程也不相同，加上各家廠商工程師在技術能力水準上的差異，因此對於各家面板廠造成的影響程度也不盡相同。不過若機臺設備的技術問題沒有及時解決，必然或多或少會影響2005年次世代面板廠的產能貢獻度。

　   事實上，次世代面板廠由於面板基版尺寸放大，對於量產設備技術造成的挑戰是要比想像中還來得多且複雜，Canon的曝光機問題便是其中一例。曝光機臺有兩種主要的設計，一種為接觸式，另一種則為投影式，各有優缺點。接觸式的優點是較為精準，但是光罩尺寸無法做得很大，因此，一般是用在實驗線或者是小尺寸生產線，而投影式相對而言，比較容易往大尺寸方面發展，因此Nikon和Canon在五代以上都有開發投影式的曝光機臺。

　   然而光罩做得再大，最多也只能做到約19英寸左右，因此大尺寸的面板曝光就必需要用拼接的方式，也因此同一片面板每一次曝光的區塊之間，接縫是否能處理得宜變成了重要的課題，尤其以大尺寸的液晶電視（LCD TV）面板來說，倘若接縫處重複曝光的情形嚴重，那麼做出來的LCD TV面板品質太差就只得報廢了。

　   五代以上的玻璃基板尺寸巨大，因此曝光就必須要採取多次曝光拼接的方式，而在這一個部分，Nikon與Canon所採用的技術便不相同，Nikon是將光罩固定，移動玻璃基板以進行曝光，但是Canon則是以滑軌的方式，讓光罩移動進行曝光。而根據面板廠工程師表示，由於在無塵室當中，只要有一個小小的微粒出現在滑軌上，就會影響對位的精準度，造成曝光的偏差，因此在調整上就要花費相當大的功夫。

　   也因此，曝光機臺的問題暴露出次世代面板廠量產設備技術上所遭遇到的技術瓶頸，也顯示次世代面板廠並不是砸錢下去就會有快速的效益回收。同時，曝光機臺的技術難題，也點出了未來大尺寸LCD TV面板在量產良率的提升速度上，可能會比原先預期的要來得慢些。