彈性邊界波裝置的製作方法

2023-12-02 18:51:46

專利名稱：彈性邊界波裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種在多個介質間配置了電極的彈性邊界波裝置，更具體 來說，涉及一種構成具備濾波器、與濾波器連接的共振子及靜電電容的電 路的彈性邊界波裝置。
背景技術：
彈性邊界波裝置中，在不同的介質間的界面配置IDT (叉指換能器-Interdigitaltransduser),彈性邊界波在上述界面中傳播。所以，與彈性表面 波裝置相比，彈性邊界波裝置中，不需要複雜的封裝，可以促進構造的簡 化及低背化。該種彈性邊界波裝置的一個例子公布於下述的專利文獻1中。但是，在彈性邊界波裝置中，也可以與彈性表面波裝置相同，通過形 成各種電極，來構成各種共振子、濾波器或者包括共振子或濾波器的複合 電路。彈性表面波裝置中，在濾波器上連接靜電電容之時，多使用具有與IDT 相同的電極構造的梳形電容電極。在彈性邊界波裝置中，為了改善彈性邊 界波濾波器的衰減量，通過在上述界面上也配置該種梳形電容電極，與濾 波器連接，則可以改善衰減量。專利文獻l:特開昭58—30217號公報梳形電容電極與IDT相同，具有互相間插的多條電極指。所以，在想 要單純地獲得靜電電容的梳形電容電極中，當向應當與一方的電位連接的 電極指與應當與另一方的電位連接的電極指之間施加電位時，則會有作為 彈性邊界波共振子發揮作用的情況。即，在梳形電容電極中有可能激發出 並非所需的彈性邊界波，作為不需要共振而顯現在頻率特性上。當梳形電容電極如上所述地作為IDT發揮作用，產生並非所需的共振 時，則在利用了彈性邊界波的濾波器裝置中濾波器特性就會受損。特別是， 在梳形電容電極的頻率特性方面，在比梳形電容電極的主要的共振更高的 頻帶中，顯現出很多的響應。所以，由梳形電容電極的激發造成的共振以 及高頻側的很多響應作為彈性邊界波濾波器裝置的並非所需的亂真(suprious)響應顯現，容易大大地損害濾波器特性。 發明內容本發明的目的在於，解決上述的以往技術的缺點，提供一種彈性邊界 波裝置，是在濾波器上連接有梳形電容電極的靜電電容的彈性邊界波裝 置，難以產生梳形電容電極的激發所致的並非所需的響應所造成的濾波器 特性的惡化。在本發明的大的方面上，提供一種彈性邊界波裝置，其特徵是，具備 介質；疊層於上述第一介質上的第二介質；配置於上述第一、第二介質間 的邊界上的多個電極，利用上述多個電極，構成濾波器及/或共振子、與該 濾波器及/或共振子電連接的靜電電容，上述濾波器及/或共振子都是使用 IDT電極構成，上述靜電電容由梳形電容電極形成，在將上述IDT的電極 指的周期設為入m，將該IDT的彈性邊界波的聲速設為Vm，將上述梳形 電容電極的電極指的周期設為Ac，將梳形電容電極的電極指法線方向的 第一、第二介質的各自的慢的橫波的聲速中的聲速慢的橫波的聲速設為 Vc的情況下，使得Vm/入m0.5 X入m。本發明的另一個具體的方面中，由上述多個電極構成上述濾波器和上 述共振子，將濾波器的端子與共振子串聯連接，在連接上述濾波器和上述 共振子的電極上並聯連接梳形電容電極。本發明的另一個具體的方面中，作為上述濾波器及共振子，並聯地配 置1對具有第一、第二端子的第一濾波器和第一共振子的組；具有第一、 第二端子的第二濾波器和第二共振子的組，將上述第一濾波器的第一端子 與上述第二濾波器的第一端子連接而作為輸入端子，由上述第一濾波器的 第二端子輸出的電信號與由上述第二濾波器的第二端子輸出的電信號的 極性反轉，還具備將上述第一濾波器的第二端子與上述第一共振子串聯連 接的第一連接電極、將上述第二濾波器的第二端子與上述第二共振子串聯 連接的第二連接電極，上述第一連接電極與上述第二連接電極由梳形電容 電極並聯連接。本發明的另一個具體的方面中，作為上述梳形電容電極，具有分別與 第一、第二濾波器連接的第一、第二梳形電容電極，第一、第二梳形電容 電極的一端之間被共同地連接，並且接地。本發明的另一個具體的方面中，使得成為上述梳形電容電極的主響應的彈性邊界波傳播模式的聲速比構成上述第一共振子及第二共振子的IDT的彈性邊界波的傳播模式的聲速更快。本發明的另一個具體的方面中，使得上述梳形電容電極的電極指的長度方向與構成上述第一共振子及第二共振子的IDT的電極指的長度方向 不同。本發明的彈性邊界波裝置中，疊層有第一介質和第二介質，在第一、 第二介質間的邊界上配置多個電極。此外，由該多個電極至少構成濾波器 及/或共振子、靜電電容，濾波器及/或共振子分別使用IDT構成，靜電電 容由梳形電容電極形成，如上所述，由於設為Vm/Am<Vc/Ac，因此由梳 形電容電極激發的彈性邊界波的頻率位置與濾波器及/或共振子的傳輸頻 帶或共振點分離。而且，在單純地將由梳形電極激發的彈性邊界波的位置向高頻側移動的情況下，梳形電容電極的電極指間距變得過小，在現實中無法製造。與 之不同，本發明中，由於如上所述地設為Vm/Am<Vc/Ac,因此與由梳形電容電極激發的彈性邊界波所被截取的頻率相比，彈性邊界波裝置的所需 的頻帶被降低，所以就可以在將與梳形電容電極的電極指間距設為能夠制 造的大小的同時，實現濾波器特性或共振特性的改善。由上述多個電極構成濾波器和共振子，將濾波器的端子與共振子串聯 連接，因而在連接上述濾波器與上述共振子的電極上並聯連接梳形電容電 極的情況下，通過設為此種電路構成，就可以利用彈性邊界波的大的機電 耦合係數將濾波器與共振子的連接部的阻抗在濾波器的傳輸頻帶附近設 為電感性，通過在其上並聯電容，就可以在傳輸頻帶中取得連接部的匹配。 另外，通過在傳輸頻帶外偏離匹配點，就可以將衰減量優化。
本發明中，作為濾波器與共振子，並聯地配置有一對上述第一濾波器 和第一共振子的組、第二濾波器與第二共振子的組，將第一、第二濾波器 的第一端子共同連接而設為輸入端子，因而在由第一濾波器和第二端子輸 出的電信號、由第二濾波器的第二端子輸出的電信號、由第二濾波器的第 二端子輸出的電信號極性反轉的情況下，依照本發明可以提供具有平衡一 不平衡變換功能的彈性邊界波裝置。另外，作為上述梳形電容電極，具有與第一、第二濾波器分別連接的 第一、第二梳形電容電極，在將第一、第二梳形電容電極的一端之間共同 地連接，並且接地的情況下，就可以有效地提高平衡度。在成為梳形電容電極的主響應的彈性邊界波傳播模式的聲速與構成第一、第二共振子的IDT的彈性邊界波的傳播模式的聲速相比更快的情況 下，在梳形電容電極中被激發的彈性邊界波的響應就會位於比在上述濾波 器及與濾波器連接的第二共振子中傳播的彈性邊界波更靠高頻側。所以， 就可以將由成為梳形電容電極的主響應的彈性邊界波傳播模式造成的響 應可靠地配置於濾波器的頻帶外，可以實現濾波器特性的改善。在梳形電容電極的電極指的長度方向與構成第一、第二共振子的IDT 的電極指的長度方向不同的情況下，即使在梳形電容電極中激發出了彈性 邊界波，也會妨礙構成第一、第二共振子的IDT的電極指對所激發的彈性 邊界波的接收，由此可以進一步實現濾波器特性的改善。


圖1 (a)及(b)是本發明的一個實施方式的彈性邊界波裝置的示意 性俯視剖面圖及局部切開前視剖面圖，(c)是上述實施方式的變形例的彈 性邊界波裝置的示意性俯視剖面圖。圖2是將圖1所示的彈性邊界波裝置的梳形電容電極放大表示的示意 性俯視圖。圖3是表示LiNb03的歐拉角的i};與彈性邊界波的聲速的關係的圖。 圖4是表示LiNb03的歐拉角的々與彈性邊界波的機電耦合係數K2 的關係的圖。圖5是用於說明IDT的電極指法線方向的與LiNb03的Ai軸的角度ip 的示意性俯視圖。圖6 (a)及(b)是表示作為圖1所示的彈性邊界波裝置的第二共振 子設為屮=0°時的彈性邊界波共振子的阻抗特性及相位特性的圖。圖7 (a)及(b)是表示圖1所示的彈性邊界波裝置中所用的梳形電 容電極的々=90°時的阻抗特性及相位特性的圖。圖8 (a)、 (b)是表示圖1所示的彈性邊界波裝置的主要模式附近的 阻抗特性及相位特性的圖。圖9 (a)及(b)是表示本發明的一個實施方式的彈性邊界波裝置的 濾波器特性的各圖。其中，1…彈性邊界波裝置，2…第一介質，3…第二介質，4、 5…縱 向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部，5a 5c…IDT， 6、 7…彈性邊界波 共振子(第二共振子)，6a、 7a…IDT， 6b、 6c…反射器，7b、 7c…反射器， 8、 9A、 9B…梳形電容電極，8a、 8b…電極指，11、 12…連接電極，21… IDT， 21a…電極指。
具體實施方式
下面通過在參照附圖的同時對本發明的具體的實施方式進行說明，來 闡明本發明。圖1 (a)及(b)是本發明的一個實施方式的彈性邊界波裝置的示意 性俯視剖面圖及局部切開前視剖面圖。彈性邊界波裝置1具有將第一介質2、第三介質3疊層而成的疊層體。 本實施方式中，第一介質2由LiNb03構成，第二介質3由Si02構成。在第一、第二介質2、 3的界面上，形成有多個電極。該多個電極包 括圖1 (a)所示的縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4、 5、單埠 型彈性邊界波共振子6、 7及梳形電容電極8。圖1 (b)中，表示有形成縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4 的部分。 '
如圖1 (a)所示，縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4、 5分別 具有沿彈性邊界波傳播方向配置的3個IDT4a 4c、 5a 5c。縱向耦合共 振子型彈性邊界波濾波器部4、 5的中央的IDT4b、 5b的一端與輸入端連 接。此外，兩側的IDT4a、 4c、 5a、 5c分別與作為第二共振子的單埠型 彈性邊界波共振子6、 7連接。彈性邊界波共振子6、 7具有IDT6a、 7a和配置於IDT6a、 7a的兩側 的反射器6b、 6c、 7b、 7c。縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4、 5 藉助上述彈性邊界波共振子6、 7與輸出端子連接。艮口，縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4、 5分別由以IDT4a 4c、 5a 5c形成的第一共振子構成。此外，在縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4、 5上串聯有上述 彈性邊界波共振子6、 7。本實施方式中，上述縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4及彈性 邊界波共振子6構成第一濾波器及第一共振子的組，縱向耦合共振子型彈 性邊界波濾波器部5及單埠型彈性邊界波共振子7構成第二濾波器和第 二共振子的組，它們被並列地配置。另外，第一彈性邊界波濾波器部4及第二彈性邊界波濾波器部5的一 方的端子被共同地連接，設為輸入端子IN。另一方面，彈性邊界波濾波器部4、 5分別利用連接電極11、 12與彈 性邊界波共振子6、 7電連接。而且，圖1 (a)及後述的圖1 (c)中的將G用圓圈包圍的符號表示 該電極與接地電位連接。而且，梳形電容電極8被與縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4、 5的輸出端和接地電位之間連接地，即與縱向耦合共振子型彈性邊界波濾 波器部4、 5並聯地連接。將梳形電容電極8在圖2中放大而以示意性俯視圖表示。梳形電容電 極8具有互相間插的多條電極指8a、 8b，具有與IDT4a 4c、 5a 5c、 6a、 7a相同的構造。梳形電容電極8是為了將靜電電容與縱向耦合共振子型彈性邊界波濾 波器部4、 5並聯而設置的。梳形電容電極8可以用與IDT4a 4c、 5a 5c、6a、7a相同的材料同時地形成，由此就可以降低用於連接靜電電容的成本。 不過，梳形電容電極8也可以由與IDT4a 4c、 5a 5c等不同的材料 構成。本實施方式的彈性邊界波裝置1中，由於由第一縱向耦合共振子型彈 性邊界波濾波器部4輸出的電信號的極性與由第二縱向耦合共振子型彈性 邊界波濾波器部5輸出的電信號的極性被反轉，兩者的各一端被共同地連 接而設為輸入端子IN，因此可以提供具有平衡一不平衡變換功能的濾波器 裝置。而且，本實施方式中，上述梳形電容電極8的電極指的長度方向與 IDT4a 4c、 5a 5c的電極指的長度方向不同，並且作為第二共振子的彈 性邊界波共振子6、 7的IDT6a、 7a的電極指的長度方向也不同。在梳形 電容電極8的電極指長度方向與IDT4a 4c、 5a 5c、 6a、 7a的電極指長 度方向不同的情況下，即使利用梳形電容電極激發出了彈性邊界波， IDT4a 4c、 5a 5c、 6a、 7a對此種彈性邊界波的接收效率也會降低。所 以，可以降低由梳形電容電極8激發的彈性邊界波的影響，因而優選。本實施方式的彈性邊界波裝置1的特徵在於，當將上述IDT4a 4c、 5a 5c、 6a、 7a的周期設為人m，將各IDT中的彈性邊界波的聲速設為 Vm，將梳形電容電極8的周期設為入c，將梳形電容電極8的電極指法線 方向上的在第一、第二介質2、 3中傳播的慢的橫波當中的低聲速的橫波 的聲速設為Vc時，則設為Vm/入nKVc/入c，由此就難以受到因設置梳形 電容電極8而造成的亂真的影響，可以實現良好的濾波器特性。上述梳形電容電極8由於設於第一、第二介質2、 3之間，因此如前 所述，可以與IDT4a 4c等同時地用相同的材料形成。而且，由於LiNbCb 的介電常數為44，比較大，因此可以利用小的梳形電容電極8獲得足夠大 小的靜電電容。但是，如前所述，在與作為壓電體的LiNb03接觸地設置梳形電容電 極8的情況下，由於是在梳形電容電極8的與不同電位連接的電極指之間 施加電位，因此梳形電容電極8與IDT4a 4c等相同地作為IDT發揮作用， 激發彈性邊界波。由梳形電容電極8激發的彈性邊界波在本來的作為濾波 器使用的頻率特性中作為亂真響應而體現。
圖7 (a)及(b)分別表示々=90°的梳形電容電極8的阻抗特性及相 位特性。而且，本說明書中，所謂々=90°的梳形電容電極是基於使用了 LiNb03 基板的彈性邊界波裝置的歐拉角表述的電極。在歐拉角表述中，在將 LiNb03的晶體方位角定義為X、 Y、 Z時，將以Z軸為中心將X軸向Y 軸側旋轉4>的軸設為Al ，將以Al軸為中心軸而將Z軸逆時針旋轉e的軸 設為A2，在用以該A2軸作為法線而包括A1軸的平面切割的基板中，將 以A2軸作為中心將A1軸逆時針旋轉屮的方向規定為波的傳播方向。所 以，所謂1^90°的梳形電容電極是指電極指法線方向相對於Al軸的角度 為90°的電極。同樣地，以下說明中，所謂1|;=0°的彈性邊界波共振子是 指彈性邊界波共振子的IDT的電極指法線方向相對於Al軸的角度為0° 的彈性邊界波共振子。從圖7 (a)及(b)中可以清楚地看到，梳形電容電極8的IDT的周 期在本實施方式中設為3.4lim。梳形電容電極8在相位達到一90。附近的 頻帶中作為電容元件發揮作用。而且，圖8 (a)及(b)分別是表示t=0°的彈性邊界波共振子的阻 抗特性及相位特性的圖。從圖8 (a)、 (b)中可以清楚地看到，所謂相位 達到一90°附近的條件是滿足以下的(1) (3)的條件的部分。(1) 頻率FX梳形電容電極8的周期Ac為在至少一方的介質2、 3 中傳播的慢的橫波的聲速以下的頻帶(2) SH型彈性邊界波的基本模式的響應以外的頻帶(3) P+SV型彈性邊界波的基本模式的響應以外的頻帶如圖7 (a)、 (b)及圖8 (a)、 (b)所示，當將在至少一方的介質2、 3中傳播的慢的橫波的聲速當中較慢一方的聲速設為Vc時，則Vc/入c與 SH型彈性邊界波的基本模式響應頻率及P+SV型彈性邊界波的基本模式 的響應的頻率經常是比較接近。所以，例如在梳形電容電極8及彈性邊界 波濾波器部4、 5的(J)相同的情況下，即例如在IDT4a 4c、 5a 5c的電 極指長度方向與梳形電容電極8的電極指長度方向相等的情況下，與彈性 邊界波濾波器連接的梳形電容電極8的電極指周期入c就被設定為比濾波 器的IDT的周期入m更短，在高頻帶中，電極指寬度變細，因而不夠理想。ii
另一方面，通過使用與縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4、 5 的IDT4a 4c、 5a 5c不同的屮的梳形電容電極8，在高聲速化的情況下， 可以將梳形電容電極8的周期入c設定為長出聲速比的量。另外，可以將梳形電容電極8的周期Ac設定為長出如下的聲速比的量，SP，在梳形電容電極8中未激發與縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波 器部4、 5相同的模式的彈性邊界波，而強烈地激發高聲速的其他的模式 的cl)的梳形電容電極8的在縱向耦合共振子型彈性邊界波濾波器部4、 5 中的主要模式的聲速;與由上述梳形電容電極8激發的其他模式的聲速比。圖3及圖4是表示IDT的傳播角ij;與彈性邊界波的聲速及機電耦合 係數^的關係的圖。而且，所謂傳播角屮如圖5所示，當以IDT21為例 時，則是指IDT21的多條電極指21a的法線與LiNb03的Al軸所成的角度。而且，圖3及圖4中，彈性邊界波裝置1的多個電極由Au製成，其 厚度設為0.05人，介質1為Y切割X傳播(以歐拉角計為(0° , 105° ，的LiNb03，其厚度設為無限大，Si02的厚度設為無限大，通過計算 而得的結果。從圖3及圖4中可以清楚地看到，在1}^0°處SH型彈性邊界波的機 電耦合係數KM艮大，聲速為2960m/秒。另外，P+SV型彈性邊界波的機 電耦合係數^基本上變為0。另一方面，在1};=90°處，SH型彈性邊界波的機電耦合係數W基本 上變為0， P+SV型彈性邊界波的機電耦合係數K^略小，為5%左右，聲 速為3180m/秒。由於SH型邊界波的機電耦合係數&2變得充分小，而P+SV型邊界波 的機電耦合係數&2略大，因此會產生由P+SV型邊界波所致的亂真。但 是，由於與屮-0。的梳形電容電極的SH型邊界波的聲速相比，P+SV型 邊界波的聲速快7.4%，因此亂真響應頻率升高7.4%。所以，只要略微地 減小梳形電容電極8的電極指周期X c，就可以相對於々=0°的SH型邊界 波的主響應，將成為亂真的P+SV型邊界波的響應向高頻側移動而分開。作為略微地減小梳形電容電極8的電極指周期Xc的程度，優選入 00.5X入m的範圍。當人c在該範圍內時，則可以在精度優良地製造IDT 電極以及梳形電容電極的電極指的同時，改善亂真。如果對這一點進行進 一步說明，則如下所示。在上述梳形電容電極的電極指的周期入C與梳形電容電極的電極指的周期入m的關係上，當在一個彈性邊界波裝置中存在線(line)與空隙 (space)大大地不同的梳形電極時，如果想要獲得相同的線寬精度，則在 光刻工序的曝光時在細的線寬中焦深就會變得不足，從而無法製造。 一般 來說在線與空隙相差2倍的情況下，就難以製造。基於該情況，通過設為 入O0.5XAm， 一個彈性邊界波裝置內的線與空隙就會達到2倍以內，,人 而可以製造，能夠實現濾波器特性或共振特性的改善。將本實施方式的彈性邊界波裝置1的濾波器特性表示於圖9(a)、 (b) 中。而且，上述濾波器特性是在以下的條件下製作彈性邊界波裝置1時的 特性。第一介質為厚370nm的LiNbO3，歐拉角為[O。 ， 105° ，々]，其中， 濾波器部的4=0° ，共振子部的屮=30° ，梳形電容電極部的1|;=90° ，第 二介質設為厚m的Si02。 IDT設為將NiCr/Au/NiCr以10/150/10nm的厚度疊層的構造。雖然在上述實施方式中，設有梳形電容電極8，但是也可以將梳形電 容電極8—分為二，如圖1 (c)中所示的變形例那樣，設置第一、第二梳 形電容電極9A、 9B。該變形例中，將梳形電容電極9A以並聯地附加靜 電電容的方式連接在由彈性邊界波濾波器部4及單埠型彈性邊界波共振 子6組成的組上。另外，將梳形電容電極9B以附加靜電電容的方式連接 在由彈性邊界波濾波器部5及單埠型彈性邊界波共振子7組成的組上。此外，梳形電容電極9A、 9B的各一端被共同地連接，與和接地電位 連接的端子電極9C電連接。這裡，梳形電容電極9A、 9B的各一端配置 於上述第一組及第二組側，各圖案被配置於梳形電容電極9A、 9B相面對 的一側。此外，在該梳形電容電極9A、 9B相面對的部分中，即在兩者的 中間位置，端子電極9C與梳形電容電極9A、 9B電連接。這樣，通過形 成此種梳形電容電極9A、 9B及端子電極9C，就可以進一步提高平衡度。雖然上述實施方式中，第一介質由(0° ， 105° ， 的LiNb03的形 成，然而也可以由其他的晶體方位的LiNb03的形成，或者利用LiTa03等 的壓電單晶等壓電體形成。
另夕卜，對於第二介質，也可以利用Si02以外的非導電物質，即利用各 種絕緣性材料或介電性材料來構成第二介質。另外，在第二介質上，也可 以再疊層第三介質。
權利要求
1.一種彈性邊界波裝置，其特徵是，具備第一介質；疊層於上述第一介質上的第二介質；配置於上述第一、第二介質間的邊界上的多個電極，利用上述多個電極，構成濾波器及/或共振子、和與該濾波器及/或共振子電連接的靜電電容，上述濾波器及/或共振子都是使用IDT電極構成，上述靜電電容由梳形電容電極形成，在將上述IDT的電極指的周期設為λm，將該IDT的彈性邊界波的聲速設為Vm，將上述梳形電容電極的電極指的周期設為λc，將梳形電容電極的電極指法線方向的第一、第二介質的各自的慢的橫波的聲速中的聲速慢的橫波的聲速設為Vc的情況下，滿足Vm/λm＜Vc/λc。
2. 根據權利要求1所述的彈性邊界波裝置，其特徵是，滿足Xo0.5 X入m。
3. 根據權利要求1或2所述的彈性邊界波裝置，其特徵是，由上述 多個電極構成上述濾波器和上述共振子，將濾波器的端子與共振子串聯連接，在連接上述濾波器和上述共振子的電極上並聯連接梳形電容電極。
4. 根據權利要求3所述的彈性邊界波裝置，其特徵是， 作為上述濾波器及共振子，並聯地配置l對具有第一、第二端子的第一濾波器和第一共振子的組、和具有第一、第二端子的第二濾波器和第二 共振子的組，將上述第一濾波器的第一端子與上述第二濾波器的第一端子連接而 作為輸入端子，由上述第一濾波器的第二端子輸出的電信號與由上述第二濾波器的 第二端子輸出的電信號的極性反轉， 還具備將上述第一濾波器的第二端子與上述第一共振子串聯連接的 第一連接電極、和將上述第二濾波器的第二端子與上述第二共振子串聯連 接的第二連接電極，上述第一連接電極與上述第二連接電極由梳形電容電極並聯連接。
5. 根據權利要求4所述的彈性邊界波裝置，其特徵是，作為上述梳 形電容電極，具有分別與第一、第二濾波器連接的第一、第二梳形電容電 極，第一、第二梳形電容電極的一端相互之間被共同連接，並且接地。
6. 根據權利要求4或5所述的彈性邊界波裝置，其特徵是，成為上 述梳形電容電極的主響應的彈性邊界波傳播模式的聲速比構成上述第一 共振子及第二共振子的IDT的彈性邊界波的傳播模式的聲速更快。
7. 根據權利要求4 6中任意一項所述的彈性邊界波裝置，其特徵是， 上述梳形電容電極的電極指的長度方向與構成上述第一共振子及第二共 振子的IDT的電極指的長度方向不同。
全文摘要
本發明提供一種可以抑制由梳形電容電極造成的並非所需的響應的彈性邊界波裝置。其特徵是，具備第一介質；疊層於第一介質上的第二介質；配置於第一、第二介質間的邊界上的多個電極，利用多個電極，構成濾波器及/或共振子、與該濾波器及/或共振子電連接的靜電電容，濾波器及/或共振子都是使用IDT電極構成，靜電電容由梳形電容電極形成，在將上述IDT的電極指的周期設為λm，將該IDT的彈性邊界波的聲速設為Vm，將梳形電容電極的電極指的周期設為λc，將梳形電容電極的電極指法線方向的第一、第二介質的各自的慢的橫波的聲速中的聲速慢的橫波的聲速設為Vc的情況下，使得Vm/λm＜Vc/λc。
文檔編號H03H9/145GK101167247SQ200680014068
公開日2008年4月23日 申請日期2006年4月25日 優先權日2005年5月16日
發明者神藤始 申請人:株式會社村田製作所