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溶膠-凝膠法製備銅酸鑭(La<sub>2</sub>CuO<sub>4</sub>)薄膜的方法

2023-12-06 14:29:06 2

專利名稱:溶膠-凝膠法製備銅酸鑭(La2CuO4)薄膜的方法
技術領域:
本發明涉及一種La2CuO4薄膜的製備方法,具體涉及一種溶膠-凝膠法製備銅酸鑭 (La2CuO4)薄膜的方法。
背景技術:
隨著高溫超導研究的快速發展,尤其是液氮溫度以上的超導體的發現,為超導體的廣泛應用打開了方便之門,這也促使氧化物超導體薄膜物理和技術的飛速發展。就基礎研究而言,在薄膜材料中,由於薄膜和基片之間晶格失配而在薄膜中產生應力(應變),而使薄膜材料的性質有別於體材料的性質。充分理解這些性能的物理含義對於揭示超導機理是十分必要的,在這一方面,由於La2CuO4體系結構和化學成份簡單,可摻雜範圍廣,La2CuO4 體系將是研究超導機理理想的材料。同時,La2CuO4是類鈣鈦礦型(A2BO4)複合氧化物,它比ABO3型氧化物多了一個AO 巖鹽層。它的存在使層中的BO6A面體發生畸變,從而在較大的彈性範圍內使結構穩定。由於其本身是一種非整比化合物,結構中可能存在著A位離子缺位和氧空位,使其具有氣敏性,可以作為氣體傳感器,因而受到廣泛的重視。目前,關於製備La2CuO4薄膜的報導較少,汪春昌[WangChunchang. Oxygen Intercalation and Related Properties of La2CuO4Bulk Samples[D].北京清華大學, 2004.]採用脈衝雷射沉積法(PLD),以LaAW3為襯底,製備出La2CuO4薄膜,但這種方法設備要求高,工藝複雜,很難製備高質量的外延薄膜。

發明內容
本發明的目的是提供了一種不僅製備成本低,而且操作簡單,反應周期短的高質量高純的溶膠-凝膠法製備銅酸鑭(La2CuO4)薄膜的方法。為達到上述目的,本發明採用的技術方案是1)將分析純的硝酸鑭(La (NO3) 3 · 6H20)溶於60ml IOOml蒸餾水中製成La3+濃度為0. 2mol/L 0. 6mol/L的溶液A ;2)向溶液A中加入分析純的硝酸銅(Cu (NO3) 3 · 3H20),使得La3+與Cu2+的摩爾比為2 1,並不斷攪拌,然後再向溶液中加入檸檬酸,使檸檬酸與所有陽離子的摩爾比為 (0.6 2) 1,加入1 10滴乙醯丙酮,攪拌形成均勻溶膠,將溶膠靜置陳化IOh 30h 得鍍膜液B;3)將矽基板放入雙氧水中超聲振蕩Ih 3h,使其具有活性,然後將矽基板放入乾燥箱中在60°C 100°C下乾燥;4)將乾燥好的矽基板在鍍膜液B中進行提拉鍍膜,即將乾燥好的矽基板浸入B溶膠中,然後勻速緩慢的將矽基板拉出,放入乾燥箱中在50 70°C下乾燥3 10分鐘,重複鍍膜1 5次;5)將鍍膜後的矽基板放入馬弗爐中在450°C 800°C下煅燒2 6h,隨爐冷卻至室溫,即得到不含雜質的高純La2CuO4薄膜。本發明採用無機體系的溶膠-凝膠法製備La2CuO4薄膜,它的優點是凝膠中不同組員分布均勻,達到分子級或原子級,反應過程易於控制,可得到高質量的La2CuO4薄膜,並且設備要求低,操作簡單。且溶膠_凝膠法在相對較低的溫度下(600°C )製備出了不含雜質的高純La2CuO4薄膜。製得的La2CuO4薄膜晶粒尺寸較小,並且不含雜質,製備La2CuO4薄膜反應周期短,重複性好,設備簡單,操作方便,原料易得,製備成本較低。


圖1為實施例1所製備的La2CuO4薄膜的X-射線衍射(XRD)圖譜。圖2為實施例1所製備的La2CuO4薄膜的金相顯微(OM)照片。
具體實施例方式下面結合附圖及實施例對本發明作進一步詳細說明。實施例1 1)將分析純的硝酸鑭(La (NO3) 3 · 6H20)溶於60ml蒸餾水中製成La3+濃度為 0. 2mol/L 的溶液 A;2)向溶液A中加入分析純的硝酸銅(Cu(NO3)3 · 3H20),使得La3+與Cu2+的摩爾比為2 1,並不斷攪拌,然後再向溶液中加入檸檬酸,使檸檬酸與所有陽離子的摩爾比為 1.2 1,加入1滴乙醯丙酮,攪拌形成均勻溶膠,將溶膠靜置陳化15h得鍍膜液B;3)將矽基板放入雙氧水中超聲振蕩lh,使其具有活性,然後將矽基板放入乾燥箱中在60°C下乾燥;4)將乾燥好的矽基板在鍍膜液B中進行提拉鍍膜,即將乾燥好的矽基板浸入B溶膠中,然後勻速緩慢的將矽基板拉出,放入乾燥箱中在60°C下乾燥6分鐘,重複鍍膜1次;5)將鍍膜後的矽基板放入馬弗爐中在600°C下煅燒2h,隨爐冷卻至室溫,即得到不含雜質的高純La2CuO4薄膜。由圖1可以看出所製備的薄膜為單一相的La2CuO4,由圖2可以看出,薄膜較為緻密平整。實施例2 1)將分析純的硝酸鑭(La (NO3) 3 · 6H20)溶於70ml蒸餾水中製成La3+濃度為 0. 3mol/L 的溶液 A;2)向溶液A中加入分析純的硝酸銅(Cu(NO3)3 · 3H20),使得La3+與Cu2+的摩爾比為2 1,並不斷攪拌,然後再向溶液中加入檸檬酸,使檸檬酸與所有陽離子的摩爾比為 0.6 1,加入4滴乙醯丙酮,攪拌形成均勻溶膠,將溶膠靜置陳化IOh得鍍膜液B;3)將矽基板放入雙氧水中超聲振蕩2h,使其具有活性,然後將矽基板放入乾燥箱中在80°C下乾燥;4)將乾燥好的矽基板在鍍膜液B中進行提拉鍍膜,即將乾燥好的矽基板浸入B溶膠中,然後勻速緩慢的將矽基板拉出,放入乾燥箱中在50°C下乾燥10分鐘,重複鍍膜3次;5)將鍍膜後的矽基板放入馬弗爐中在450°C下煅燒6h,隨爐冷卻至室溫,即得到不含雜質的高純La2CuO4薄膜。
實施例3 1)將分析純的硝酸鑭(La (NO3) 3 · 6H20)溶於90ml蒸餾水中製成La3+濃度為 0. 5mol/L 的溶液 A ;2)向溶液A中加入分析純的硝酸銅(Cu (NO3) 3·3Η20),使得La3+與Cu2+的摩爾比為 2 1,並不斷攪拌,然後再向溶液中加入檸檬酸,使檸檬酸與所有陽離子的摩爾比為2 1, 加入7滴乙醯丙酮,攪拌形成均勻溶膠,將溶膠靜置陳化20h得鍍膜液B ;3)將矽基板放入雙氧水中超聲振蕩3h,使其具有活性,然後將矽基板放入乾燥箱中在100°C下乾燥;4)將乾燥好的矽基板在鍍膜液B中進行提拉鍍膜,即將乾燥好的矽基板浸入B溶膠中,然後勻速緩慢的將矽基板拉出,放入乾燥箱中在70°C下乾燥3分鐘,重複鍍膜5次;5)將鍍膜後的矽基板放入馬弗爐中在700°C下煅燒4h,隨爐冷卻至室溫,即得到不含雜質的高純La2CuO4薄膜。實施例4 1)將分析純的硝酸鑭(La(NO3)3-BH2O)溶於IOOml蒸餾水中製成La3+濃度為 0. 6mol/L 的溶液 A;2)向溶液A中加入分析純的硝酸銅(Cu(NO3)3 · 3H20),使得La3+與Cu2+的摩爾比為2 1,並不斷攪拌,然後再向溶液中加入檸檬酸,使檸檬酸與所有陽離子的摩爾比為 1.5 1,加入10滴乙醯丙酮,攪拌形成均勻溶膠,將溶膠靜置陳化30h得鍍膜液B;3)將矽基板放入雙氧水中超聲振蕩2h,使其具有活性,然後將矽基板放入乾燥箱中在90°C下乾燥;4)將乾燥好的矽基板在鍍膜液B中進行提拉鍍膜,即將乾燥好的矽基板浸入B溶膠中,然後勻速緩慢的將矽基板拉出,放入乾燥箱中在65°C下乾燥8分鐘,重複鍍膜2次;5)將鍍膜後的矽基板放入馬弗爐中在800°C下煅燒3h,隨爐冷卻至室溫,即得到不含雜質的高純La2CuO4薄膜。
權利要求
1.溶膠-凝膠法製備銅酸鑭(La2CuO4)薄膜的方法,其特徵在於1)將分析純的硝酸鑭(La(NO3)3· 6H20)溶於60ml IOOml蒸餾水中製成La3+濃度為 0. 2mol/L 0. 6mol/L 的溶液 A ;2)向溶液A中加入分析純的硝酸銅(Cu(NO3)3·3Η20),使得La3+與Cu2+的摩爾比為2 1,並不斷攪拌,然後再向溶液中加入檸檬酸,使檸檬酸與所有陽離子的摩爾比為 (0.6 2) 1,加入1 10滴乙醯丙酮,攪拌形成均勻溶膠,將溶膠靜置陳化IOh 30h 得鍍膜液B;3)將矽基板放入雙氧水中超聲振蕩Ih 池,使其具有活性,然後將矽基板放入乾燥箱中在60°C 100°C下乾燥;4)將乾燥好的矽基板在鍍膜液B中進行提拉鍍膜,即將乾燥好的矽基板浸入B溶膠中, 然後勻速緩慢的將矽基板拉出,放入乾燥箱中在50 70°C下乾燥3 10分鐘,重複鍍膜 1 5次;5)將鍍膜後的矽基板放入馬弗爐中在450°C 800°C下煅燒2 6h,隨爐冷卻至室溫, 即得到不含雜質的高純La2CuO4薄膜。
全文摘要
溶膠-凝膠法製備銅酸鑭薄膜的方法,將硝酸鑭溶於蒸餾水得溶液A;向溶液A中加入硝酸銅,然後加入檸檬酸和乙醯丙酮得鍍膜液B;將矽基板放入雙氧水中超聲振蕩後乾燥;將乾燥好的矽基板在鍍膜液B中進行提拉鍍膜;將鍍膜後的矽基板放入馬弗爐中煅燒後得到不含雜質的高純La2CuO4薄膜。本發明採用無機體系的溶膠-凝膠法製備La2CuO4薄膜,它的優點是凝膠中不同組員分布均勻,達到分子級或原子級,反應過程易於控制,可得到高質量的La2CuO4薄膜,並且設備要求低,操作簡單。且溶膠-凝膠法在相對較低的溫度下製備出了不含雜質的高純La2CuO4薄膜。製得的La2CuO4薄膜晶粒尺寸較小,並且不含雜質,製備La2CuO4薄膜反應周期短,重複性好,設備簡單,操作方便,原料易得,製備成本較低。
文檔編號C01G3/00GK102515242SQ20111037588
公開日2012年6月27日 申請日期2011年11月23日 優先權日2011年11月23日
發明者侯豔超, 吳建鵬, 曹麗雲, 李意峰, 黃劍鋒 申請人:陝西科技大學

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