修整器進氣系統以及拋光機的製作方法

2023-10-31 14:13:52 1

本發明涉及拋光設備技術領域，尤其涉及一種修整器進氣系統以及具有該修整器進氣系統的拋光機。

背景技術：

在化學機械拋光中，隨著拋光過程的進行，拋光墊的物理及化學性能會發生變化，導致拋光速率和拋光質量降低。因此，在拋光過程中必須對拋光墊進行適當的修整，修整器可以對拋光墊進行修整，這樣可以改善拋光效果，提高拋光墊的使用壽命，降低拋光成本。但是，修整器在初始狀態下，利用負壓將修整頭與拋光墊脫離接觸，此時修整器中加載腔室處於收縮狀態，修整器中加載腔室柔性件長時間處於受力狀態會減少使用壽命；並且需要持續地提供負壓，故在初始狀態下仍需要消耗能源。而且，修整器在檢測檢修狀態下，進行氣密性檢測通常需要人工切斷進口氣管阻斷通氣，實現保壓功能，不便於操作。

技術實現要素：

本發明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本發明提出一種修整器進氣系統，該修整器進氣系統可以在加載腔室處於初始狀態時供入大氣，從而可以避免加載腔室長時間收縮導致的壽命減少，以及可以避免消耗能源。

本發明進一步地提出了一種拋光機。

根據本發明的修整器進氣系統，包括：真空源；真空管路，所述真空管路與所述真空源相連；壓縮空氣源；壓縮空氣管路，所述壓縮空氣管路與所述壓縮空氣源相連；修整器，所述修整器形成有加載腔室，所述加載腔室選擇性地與所述真空管路、所述壓縮空氣管路和大氣相連。

根據本發明的修整器進氣系統，通過合理控制修整器和真空源、壓縮空氣源和大氣源之間的通斷狀態，可以改變修整器內的加載腔室的狀態，而且在初始狀態時，大氣源可以向加載腔室內供入大氣，從而可以避免加載腔室的破損和壽命減少，以及可以避免消耗能源。

另外，根據本發明的修整器進氣系統還可以具有以下附加技術特徵：

在本發明的一些示例中，所述修整器進氣系統還包括：第一控制閥、第二控制閥、第三控制閥和總管路，所述總管路連接在所述第一控制閥和所述修整器之間，所述第一控制閥選擇性地將所述總管路與所述真空管路和所述壓縮空氣管路相連，所述第二控制閥設置在所述總管路上且與所述第一控制閥串聯並選擇性地將所述總管路與所述第一控制閥和所述大氣相連，所述第三控制閥選擇性地通斷所述總管路。

在本發明的一些示例中，所述第一控制閥和所述第二控制閥為兩位三通閥，所述第三控制閥為兩通閥。

在本發明的一些示例中，所述修整器進氣系統還包括：第一控制閥、第二控制閥、第三控制閥和總管路，所述總管路連接在所述第一控制閥和所述修整器之間，所述第一控制閥選擇性地將所述總管路與所述真空管路和所述壓縮空氣管路相連，所述第二控制閥與所述總管路相連且與所述第一控制閥並聯並選擇性地通斷所述總管路和所述大氣，所述第三控制閥選擇性地通斷所述總管路。

在本發明的一些示例中，所述第一控制閥為兩位三通閥且所述第二控制閥和所述第三控制閥分別為兩通閥。

在本發明的一些示例中，所述修整器進氣系統還包括：第一控制閥、第二控制閥、第三控制閥和總管路，所述第一控制閥設置在所述真空管路上並選擇性地通斷所述真空管路，所述第二控制閥設置在所述壓縮空氣管路並選擇性地通斷所述壓縮空氣管路，所述第三控制閥與所述總管路相連且與所述第一控制閥和所述第二控制閥並聯並選擇性地通斷所述大氣和所述總管路。

在本發明的一些示例中，所述第一控制閥、所述第二控制閥和所述第三控制閥分別為兩通閥。

在本發明的一些示例中，所述真空管路上設置有減壓閥和過濾器，所述減壓閥靠近所述真空源，所述壓縮空氣管路上設置有減壓閥。

在本發明的一些示例中，所述修整器進氣系統還包括：壓力傳感器，所述壓力傳感器用於檢測所述加載腔室的壓力。

根據本發明拋光機，包括上述的修整器進氣系統。

所述拋光機與所述修整器進氣系統的有益效果相同，在此不再詳述。

附圖說明

圖1是根據本發明第一實施例的修整器進氣系統的結構示意圖；

圖2是根據本發明第二實施例的修整器進氣系統的結構示意圖；

圖3是根據本發明第三實施例的修整器進氣系統的結構示意圖。

附圖標記：

修整器進氣系統100；

真空管路10；真空管路的減壓閥11；過濾器12；

壓縮空氣管路20；壓縮空氣管路的減壓閥21；

修整器30；修整頭31；加載腔室32；

第一控制閥40；第二控制閥50；第三控制閥60；總管路70；壓力傳感器80。

具體實施方式

下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用於解釋本發明，而不能理解為對本發明的限制。

下面參考附圖詳細描述根據本發明實施例的修整器進氣系統100，該修整器進氣系統100可以應用在拋光機上。

根據本發明實施例的修整器進氣系統100可以包括：真空源、真空管路10、壓縮空氣源、壓縮空氣管路20、修整器30、壓力傳感器80、總管路70、第一控制閥40、第二控制閥50和第三控制閥60。

如圖1-圖3所示，真空管路10與真空源相連，壓縮空氣管路20與壓縮空氣源相連，其中，真空源可以為容納真空的容器或者產生真空的設備，壓縮空氣源可以為產生壓縮空氣的設備或者容納壓縮空氣的容器。優選地，如1圖-圖3所示，真空管路10上還可以設置有減壓閥11和過濾器12，減壓閥11靠近真空源設置。也就是說，從真空源進入真空管路10內的真空會先經過減壓閥11的減壓之後流動至過濾器12，過濾器12再過濾吸入的氣體。如1圖-圖3所示，壓縮空氣管路20上也可以設置有減壓閥21。

如圖1-圖3所示，修整器30形成有加載腔室32，加載腔室32選擇性地與真空管路10和壓縮空氣管路20和大氣相連，也就是說，真空源可以通過真空管路10向加載腔室32供入真空，壓縮空氣源可以通過壓縮空氣管路20向加載腔室32供入壓縮空氣，大氣源可以向加載腔室32供入大氣，大氣源可以直接為外界大氣環境，或者，大氣源可以為相應的大氣輸出設備。

對於修整器30與真空管路10、壓縮空氣管路20和大氣源之間的連接結構將在後面的內容中結合多個實施例詳細描述。

根據本發明的第一優選實施例，如圖1所示，總管路70連接在第一控制閥40和修整器30之間，第一控制閥40選擇性地將總管路70與真空管路10和壓縮空氣管路20相連，第二控制閥50設置在總管路70上，而且第二控制閥50與第一控制閥40串聯，並且第二控制閥50選擇性地將總管路70與第一控制閥40和大氣相連，第三控制閥60選擇性地通斷總管路70。

需要說明的是，上述的總管路70與第一控制閥40相連指的是，第一控制閥40處於連通狀態，真空或者壓縮氣體進入總管路70，第二控制閥50處於連通總管路70和第一控制閥40狀態時，真空或者壓縮氣體可以通過第二控制閥50，如果第三控制閥60處於連通狀態，這樣真空或者壓縮氣體可以進入到加載腔室32內。也就是說，真空或者壓縮氣體在流向加載腔室32時，需要經過第一控制閥40、第二控制閥50和第三控制閥60的控制，如果其中一個處於斷開狀態，真空或者壓縮氣體均無法流動至加載腔室32。

大氣在流向加載腔室32的過程中需要經過第二控制閥50和第三控制閥60，當第二控制閥50處於連通大氣和總管路70狀態且第三控制閥60處於連通總管路70狀態時，大氣可以流向加載腔室32。當第二控制閥50和第三控制閥60中的一個處於斷開狀態時，大氣均無法流動至加載腔室32。

第三控制閥60控制總管路70自身的通斷，當第三控制閥60處於斷開狀態時，加載腔室32可以進入密閉保壓狀態。

其中，如圖1所示，第一控制閥40和第二控制閥50可以分別為兩位三通閥，第三控制閥60可以為兩通閥。通過合理設置第一控制閥40、第二控制閥50和第三控制閥60的類型，可以使得修整器進氣系統100結構簡單，控制邏輯簡單。

根據本發明的第二優選實施例，如圖2所示，總管路70連接在第一控制閥40和修整器30之間，第一控制閥40選擇性地將總管路70與真空管路10和壓縮空氣管路20相連，第二控制閥50與總管路70相連，而且第二控制閥50與第一控制閥40並聯，並且第二控制閥50選擇性地通斷總管路70和大氣，第三控制閥60選擇性地通斷總管路70。結合圖1和圖2所示，可以看出圖2所示的修整器進氣系統100與圖1所示的修整器進氣系統100主要區別在於第二控制閥50的布置，在圖2中，第二控制閥50直接控制大氣源和總管路70之間的通斷，並不參與第一控制閥40和總管路70之間的通斷，而是由第三控制閥60控制第一控制閥40和加載腔室32之間的通斷，當然，第三控制閥60還控制第二控制閥50和加載腔室32之間的通斷。由此，第一控制閥40可以為兩位三通閥，而且第二控制閥50和第三控制閥60分別為兩通閥。這樣可以使得修整器進氣系統100結構簡單，控制邏輯更加簡單。

根據本發明的第三優選實施例，如圖3所示，第一控制閥40設置在真空管路10上並選擇性地通斷真空管路10，第二控制閥50設置在壓縮空氣管路20並選擇性地通斷壓縮空氣管路20，第三控制閥60與總管路70相連，而且第三控制閥60與第一控制閥40和第二控制閥50並聯，並且第三控制閥60選擇性地通斷大氣和總管路70。也就是說，真空管路10上設置有自己的通斷閥，壓縮空氣管路20上設置有自己的通斷閥，大氣源和總管路70之間也設置有自己的通斷閥，這樣可以使得修整器進氣系統100結構更加簡單，控制邏輯更加簡單。其中，第一控制閥40、第二控制閥50和第三控制閥60可以分別為兩通閥。

如圖1-圖3所示，壓力傳感器80可以用於檢測加載腔室32的壓力。由此，可以根據壓力傳感器80的檢測結果可以判斷加載腔室32的密封效果，以及可以判斷加載腔室32所加載的壓力值是否與設定的壓力值一樣。

下面以圖1所示的修整器進氣系統100為例對加載腔室32的狀態進行詳細說明。

如圖1所示，修整器30可以包括修整頭31，修整頭31處形成有加載腔室32。修整頭31內的加載腔室32可以具有三個進氣口，三個進氣口分別供真空、壓縮氣體和大氣進入，所以加載腔室32至少對應以下三個狀態：與壓縮空氣相通狀態、與真空相通狀態和與大氣相通狀態。當然，通過控制第一控制閥40、第二控制閥50和第三控制閥60的通斷，加載腔室32還可以具有密閉保壓狀態。

在加載腔室32處於初始狀態時，加載腔室32與大氣相通，第二控制閥50連通大氣和總管路70，第三控制閥60處於連通狀態。這樣可以避免加載腔室32處於長時間的收縮狀態，從而可以避免修整頭31的破損和壽命減少，以及可以避免消耗能源。

然後，第三控制閥60斷開，這樣可以使得加載腔室32可以從初始狀態切換到密閉保壓狀態，壓力傳感器80可以檢測加載腔室32內的壓力值，以判斷加載腔室32的密封性是否良好。

第一控制閥40可以控制真空管路10和總管路70之間的通斷，以及可以控制壓縮空氣管路20和總管路70之間的通斷，當第一控制閥40與真空管路10連通時且第二控制閥50和第三控制閥60不影響真空管路10和總管路70之間的真空流動時，真空進入到加載腔室32內。當第一控制閥40與壓縮空氣管路20連通時且第二控制閥50和第三控制閥60不影響壓縮空氣管路20和總管路70之間的壓縮空氣流動時，壓縮空氣進入到加載腔室32內。上述的第二控制閥50和第三控制閥60不影響真空或者壓縮氣體流動指的是第二控制閥50連通第一控制閥40和總管路70，第三控制閥60處於連通狀態。第一控制閥40還可以將真空管路10和壓縮空氣管路20同時斷開。

圖2和圖3所示的修整器進氣系統100中的加載腔室32的狀態與圖1所示的修整器進氣系統100的加載腔室32的狀態相同，區別主要在於多個控制閥的通斷狀態的不同，本領域的技術人員通過對照圖2和圖3可以清楚獲取加載腔室32不同狀態對應的多個控制閥的通斷狀態，在此不再詳述。

根據本發明實施例的修整器進氣系統100，通過合理控制修整器30和真空源、壓縮空氣源和大氣源之間的通斷狀態，可以改變修整器30內的加載腔室32的狀態，而且在初始狀態時，大氣源可以向加載腔室32內供入大氣，從而可以避免加載腔室32的破損和壽命減少，以及可以避免消耗能源。

根據本發明實施例的拋光機，包括上述實施例的修整器進氣系統100。

在本說明書的描述中，參考術語「一個實施例」、「一些實施例」、「示例」、「具體示例」、或「一些示例」等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特徵、結構、材料或者特點包含於本發明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不必須針對的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特徵、結構、材料或者特點可以在任一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領域的技術人員可以將本說明書中描述的不同實施例或示例以及不同實施例或示例的特徵進行結合和組合。

儘管上面已經示出和描述了本發明的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本發明的限制，本領域的普通技術人員在本發明的範圍內可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。