旋轉式微驅動器及其製造方法

2023-10-09 05:41:29

專利名稱：:旋轉式微驅動器及其製造方法
技術領域：
：本發明涉及一種信息記錄磁碟驅動單元，更具體地涉及一種用於磁頭折片組合(headgimbalassembly，HGA)的微驅動器。
背景技術：
：一種常見的信息存儲設備是磁碟驅動系統，其使用磁性媒介來存儲數據及設置於該磁性媒介上方的移動式讀寫頭來選擇性地從磁性媒介上讀取數據或將數據寫在磁性媒介上。消費者總是希望這類磁碟驅動系統的存儲容量不斷增加，同時希望其讀寫速度更快更精確。因此磁碟製造商一直致力於開發具有較高存儲容量的磁碟系統，比如通過減少磁碟上的磁軌寬度或磁軌間距的方式增加磁軌的密度，進而增加磁碟的存儲容量。然而，隨著磁軌密度的增加，對讀寫頭的位置控制精度也必須相應的提高，以便在高密度磁碟中實現更快更精確的讀寫操作。隨著磁軌密度的增加，使用傳統技術來實現更快更精確將讀寫頭定位於磁碟上適當的磁軌變得更加困難。因此，磁碟製造商一直尋找改善對讀寫頭位置控制的方式，以便利用不斷增加的磁軌密度所帶來的益處。磁碟製造商經常使用的一種提高讀寫頭在高密度盤上位置控制精度的方法為採用第二個驅動器，也叫微驅動器。該微驅動器與一個主驅動器配合共同實現對讀寫頭的位置控制精度及速度。包含微驅動器的磁碟系統被稱為雙驅動器系統。在過去曾經開發出許多用於提高存取速度及讀寫頭在高密度磁碟的磁軌上定位精度的雙驅動器系統。這種雙驅動器系統通常包括一主音圈馬達驅動器及一副微驅動器，比如PZT微驅動器(即壓電微驅動器，以下簡稱為壓電微驅動器)。該音圈馬達驅動器由伺服控制系統控制，該伺服控制系統導致驅動臂旋轉，該驅動臂上承載讀寫頭以便將讀寫頭定位於存儲盤上適當的磁軌上。壓電微驅動器與音圈馬達驅動器配合使用共同提高存取速度及實現讀寫頭在磁軌上位置的微調。音圈馬達驅動器對讀寫頭的位置粗調，而壓電微驅動器對讀寫頭相對於磁碟的位置的精調。通過兩個驅動器的配合，共同實現數據在存儲盤上高效而精確的讀寫操作。一種已知的用於實現對讀寫頭位置微調的微驅動器包含有壓電元件。該壓電微驅動器具有相關的電子裝置，該電子裝置可導致微驅動器上的壓電元件選擇性的收縮或膨脹。壓電微驅動器具有適當的結構，使得壓電元件的收縮或膨脹引起微驅動器的運動，進而引起讀寫頭的運動。相對於僅僅使用音圈馬達驅動器的磁碟系統，該讀寫頭的運動可以實現對讀寫頭位置更快更精確的調整。這類範例性的壓電微驅動器揭露於許多專利中，比如名稱為「微驅動器及磁頭折片組合」的日本專利JP2002-133803，及名稱為「具有實現位置微調的驅動器的磁頭折片組合，包含該磁頭折片組合的磁碟系統及該磁頭折片組合的製造方法」的日本專利JP2002-074871。這類範例性的壓電微驅動器同時揭露於其它專利中，比如美國專利第6,671,131號及6,700,749號。圖1所示為傳統的磁碟驅動單元，磁碟101安裝在主軸馬達102上並由其旋轉。音圈馬達臂104上承載有磁頭折片組合100，該磁頭折片組合100包括含有磁頭103的微驅動器105，該磁頭103上安裝有讀寫頭。一音圈馬達控制音圈馬達臂104的運動，進而控制磁頭103在磁碟101的表面上的磁軌之間的移動，最終實現讀寫頭在磁碟101上數據的讀寫。在運行狀態時，包含讀寫頭的磁頭103與旋轉的磁碟101之間形成空氣動力性接觸，並產生升力。該升力與由磁頭折片組合100的懸臂施加的彈力大小相等方向相反，從而使馬達臂104在其全逕行程中，在旋轉的磁碟101的表面上方維持一個預定的飛行高度。圖2展示了圖1所示的傳統磁碟驅動單元的磁頭折片組合100，其上具有雙驅動器系統。然而，由於音圈馬達及磁頭懸臂組合的固有誤差，磁頭103不僅無法實現快速而精確的位置控制，反而會影響讀寫頭精確讀寫磁碟上數據的性能。為此，增加上述壓電微驅動器105，以便提高磁頭及讀寫頭的位置控制精度。更具體地講，相對於音圈馬達驅動器，該壓電微驅動器以更小的幅度來調整磁頭103的位移，以便補償音圈馬達和/或磁頭懸臂組合的製造誤差。該壓電微驅動器使得應用更小的磁軌間距成為可能，並且可以將磁碟系統的磁軌密度(TPI，每英寸所含的磁軌數量)提高50％，同時可以減少磁頭的尋道時間及置位時間。因此，壓電微驅動器可以大幅度提高存儲盤的表面記錄密度。如圖2所示，該磁頭折片組合100包括具有撓性件108的懸臂件106。該撓性件108上具有用於承載微驅動器105及磁頭103的懸臂舌片110。該撓性件108上懸臂舌片110的兩邊具有向外突出的導線112、114。每個導線112、114的一端連接到一個浮動板(floatplate)上，另一端連接到多導線118上，該多導線118電性連接到連接觸點120上。參考圖3，傳統的壓電微驅動器105包括金屬框架130，該金屬框架130由頂支撐板132、底支撐板134及將所述兩個支撐板132、134互相連接起來的兩個邊臂136、138組成。參考圖4-5，該壓電微驅動器105藉助金屬框架130的底支撐板134而物理地連接到懸臂舌片110上。該底支撐板134可以通過例如環氧樹脂膠或雷射焊接的方式安裝到懸臂舌片110上。三個電連接球150(金球連接或錫球連接)將壓電微驅動器105固定在位於每個壓電元件140、142旁邊的懸臂電纜118上。另外，複數球、例如四個金屬球(金球連接或錫球連接)152將磁頭103連接到懸臂電纜118上，以便與磁頭103上的讀寫感應頭電性連接。當通過懸臂電纜118對壓電元件140、142施加電壓時，壓電元件140、142收縮或膨脹導致邊臂136及138產生側向彎曲。該彎曲致使金屬框架130產生剪切變形，例如該金屬框架130的形狀由矩形變成平行四邊形，從而導致頂支撐板132的運動。這導致安裝在頂支撐板132上的磁頭103產生運動或側向位移，進而使得磁頭103在磁碟的磁軌上移動，以便精確調整讀寫頭的位置。通過上述方式，可實現磁頭位置控制的微調。為使磁頭103在壓電元件140、142變形時能保持自由移動，該磁頭103的底邊與懸臂件106的懸臂舌片110之間形成平行間隙180。所述懸臂件106的懸臂負載杆192上具有支撐所述懸臂舌片110的凸點190。圖6展示了當在壓電元件140、142上施加電壓時，壓電微驅動器105運動的情況。例如，當在首個半周期內將正極性的正弦電壓輸入到微驅動器105的具有正極性的壓電元件140上時，該壓電元件140將會收縮並導致邊臂136產生波浪狀變形。由於磁頭103安裝在頂支撐板132上，該變形導致磁頭向左側移動或擺動。類似地，當在第二個半周期內將負極性的正弦電壓輸入到微驅動器105的具有正極性的壓電元件142上時，壓電元件142將會收縮並導致邊臂138產生波浪狀變形。該變形導致磁頭向右側移動或擺動。當然，該運動可以依賴於電性控制周期及壓電元件的極性方向，但工作原理眾所周知。上述壓電微驅動器105以平移或類似擺動的方式工作，在該方式中，壓電元件140、142發生間歇性的收縮及膨脹運動並導致壓電微驅動器產生波浪狀變形，使得磁頭以類似擺動的方式移動。該間歇性的運動將在懸臂舌片110及安裝於該懸臂舌片110的底支撐板134之間產生反作用力。這些反作用力將產生懸臂共振，所述懸臂共振會限制磁碟驅動設備的性能，尤其是伺服帶寬。例如，圖7展示了現有壓電微驅動器設計的共振測試數據。如圖所示，當壓電微驅動器工作時(通過激發壓電元件)，懸臂件的較大的反作用力產生懸臂共振。曲線160展示了當懸臂件的基板被震動或激發時形成的共振，曲線170展示了當微驅動器的壓電元件被激發時形成的共振。如圖所示，曲線160與170的形狀類似。因此有必要提供一種改進的系統，以克服現有技術的不足。
發明內容本發明的一方面涉及一種可提高磁頭折片組合的共振性能的微驅動器。本發明的另一方面涉及一種磁頭折片組合，其包括微驅動器、磁頭及支撐該微驅動器與磁頭的懸臂件。該微驅動器包括框架及壓電元件。該框架包括用於支撐所述磁頭的頂支撐板、用於與所述懸臂件連接的底支撐板、將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂。所述頂支撐板包括旋轉板及將該旋轉板連接到相應邊臂上的連接臂。所述壓電元件安裝在邊臂上。每個壓電元件可被激發而導致邊臂做選擇性運動。所述懸臂件包括具有凸點的負載杆。該凸點在使用時與所述旋轉板互相配合併支撐該旋轉板。本發明的另一方面涉及一種磁碟驅動單元，其包括由微驅動器、磁頭及支撐該微驅動器與磁頭的懸臂件組成的磁頭折片組合；與所述磁頭折片組合連接的驅動臂；磁碟；及用於驅動所述磁碟的主軸馬達。該微驅動器包括框架及壓電元件。該框架包括用於支撐所述磁頭的頂支撐板、用於與所述懸臂件連接的底支撐板、將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂。所述頂支撐板包括旋轉板及將該旋轉板連接到相應邊臂上的連接臂。所述壓電元件安裝在邊臂上。每個壓電元件可被激發而導致邊臂做選擇性運動。所述懸臂件包括具有凸點的負載杆。該凸點在使用時與所述旋轉板互相配合併支撐該旋轉板。本發明的另一方面涉及一種微驅動器，其包括框架及壓電元件。該框架包括用於支撐所述磁頭的頂支撐板、用於與所述懸臂件連接的底支撐板、將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂、在相應邊臂上靠近底支撐板的位置形成的臂部元件。所述頂支撐板包括旋轉板及將該旋轉板連接到相應邊臂上的連接臂。所述壓電元件安裝在邊臂上。每個壓電元件可被激發而導致邊臂做選擇性運動。本發明的另一方面涉及一種微驅動器，其包括框架及壓電元件。該框架包括用於支撐所述磁頭的頂支撐板、用於與所述懸臂件連接的底支撐板、將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂。所述頂支撐板包括旋轉板及將該旋轉板連接到相應邊臂上的連接臂。所述壓電元件安裝在邊臂上。每個壓電元件可被激發而導致邊臂做選擇性運動。所述每個連接臂在與相應邊臂相連的位置形成槽。本發明的另一方面涉及一種磁頭折片組合的製造方法，其包括將壓電元件安裝到微驅動器的相應邊臂上；將磁頭安裝到微驅動器框架上；將微驅動器框架安裝到懸臂件上；將壓電元件與懸臂件電性連接；將磁頭與懸臂件電性連接；對所述壓電元件進行電性測試；對所述磁頭的性能進行測試；及檢查該磁頭折片組合。本發明的又一方面涉及一種磁頭折片組合的製造方法，其包括將壓電元件安裝到微驅動器的相應邊臂上；將微驅動器框架安裝到懸臂件上；將壓電元件與懸臂件電性連接；對所述壓電元件進行電性測試；將磁頭安裝到微驅動器框架上；將磁頭與懸臂件電性連接；對所述磁頭的性能進行測試；及檢查該磁頭折片組合。本發明的又一方面涉及一種磁頭折片組合的製造方法，其包括將微驅動器框架安裝到懸臂件上；將壓電元件安裝到微驅動器的相應邊臂上；將壓電元件與懸臂件電性連接；對所述壓電元件進行電性測試；將磁頭安裝到微驅動器框架上；將磁頭與懸臂件電性連接；對所述磁頭的性能進行測試；及檢查該磁頭折片組合。本發明的又一方面涉及一種微驅動器的製造方法，包括如下步驟提供一對邊臂及與該對邊臂連接的底支撐板；提供由旋轉板及連接臂構成的頂支撐板；提供壓電元件並將其安裝到所述邊臂；藉助粘結劑將頂支撐板粘結到所述兩個邊臂之間；固化所述粘結劑而形成微驅動器；最後檢查所述微驅動器。本發明的又一方面涉及一種微驅動器的製造方法，包括如下步驟混合陶瓷粉料；將所述混合後的陶瓷粉料層壓成片狀材料；將所述片狀材料加工成由旋轉板及與該旋轉板連接的連接臂構成的頂支撐板；提供一對邊臂及與該對邊臂連接的底支撐板，並藉助粘結劑將所述頂支撐板粘結在所述邊臂之間，從而形成框架；燒結所述框架，從而使所述頂支撐板與邊臂固定在一起；提供壓電元件並將其安裝到所述邊臂上而形成微驅動器；檢查所述微驅動器。本發明的又一方面涉及一種微驅動器的製造方法，包括如下步驟混合陶瓷粉料；將所述混合後的陶瓷粉料層壓成片狀材料；加工所述片狀材料，從而獲得一對邊臂、與該對邊臂連接的底支撐板、由旋轉板及與該旋轉板連接的連接臂構成的頂支撐板；藉助粘結劑將所述頂支撐板粘結在所述邊臂之間，從而形成框架；燒結所述框架，使所述頂支撐板與邊臂固定在一起；提供壓電元件並將其安裝到所述框架的邊臂上而形成微驅動器；檢查所述微驅動器。通過以下的描述並結合附圖，本發明將變得更加清晰，這些附圖用於解釋本發明的實施例。圖1為傳統磁碟驅動單元的立體圖。圖2為傳統磁頭折片組合的立體圖。圖3為圖2所示磁頭折片組合的磁頭及壓電微驅動器的立體圖。圖4為圖2所示磁頭折片組合的局部立體圖。圖5為圖2所示磁頭折片組合的側視圖。圖6為圖2所示磁頭折片組合的磁頭及壓電微驅動器使用狀態的俯視圖。圖7展示了現有壓電微驅動器設計的共振測試數據。圖8為根據本發明一個實施例所述的含有壓電微驅動器的磁頭折片組合的立體圖。圖9為圖8所示磁頭折片組合的局部立體圖。圖10為圖8所示磁頭折片組合的局部側視圖。圖11為圖8所示磁頭折片組合的懸臂件的立體分解圖。圖12為圖8所示磁頭折片組合的立體分解圖。圖13為圖8所示壓電微驅動器及磁頭從磁頭折片組合上移去後的立體分解圖。圖14a展示了圖8所示壓電微驅動器的壓電元件之間的電連接結構的一種形式。圖14b展示了施加到圖8所示壓電微驅動器的壓電元件上的電壓。圖15a為圖8所示磁頭折片組合的磁頭及壓電微驅動器處於鬆弛狀態的俯視圖。圖15b為圖8所示磁頭折片組合的磁頭及壓電微驅動器施加電壓後的俯視圖。圖16a展示了圖8所示壓電微驅動器的壓電元件之間的電連接結構的另一種形式。圖16b展示了施加到圖8所示壓電微驅動器的壓電元件上的另一種電壓。圖17展示了圖8所示壓電微驅動器的共振增益測試數據。圖18展示了圖8所示壓電微驅動器的共振相位測試數據。圖19為本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器從頂部觀察的立體圖。圖19a為本發明一個實施例所述的壓電微驅動器從頂部觀察的立體圖。圖20為本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器從頂部觀察的立體圖。圖21為本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器從頂部觀察的立體圖。圖22為本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器從頂部觀察的立體圖。圖23為本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器從底部觀察的立體圖。圖24為本發明又一個實施例所述的壓電微驅動器從頂部觀察的立體圖。圖25為本發明又一個實施例所述的壓電微驅動器從頂部觀察的立體圖。圖26為本發明又一個實施例所述的壓電微驅動器從頂部觀察的立體圖。圖27為本發明又一個實施例所述的壓電微驅動器從頂部觀察的立體圖。圖28為本發明一個實施例所述的製造及裝配流程圖。圖29為本發明另一個實施例所述的製造及裝配流程圖。圖30為本發明又一個實施例所述的製造及裝配流程圖。圖31為本發明一個實施例所述的微驅動器製造及裝配流程圖。圖32展示了一個微驅動器的立體分解圖，用於解釋圖31所示的微驅動器製造及裝配流程。圖33為本發明另一個實施例所述的微驅動器製造及裝配流程圖。圖34為本發明另一個實施例所述的微驅動器製造及裝配流程圖。具體實施方式現在參考附圖描述本發明的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元件。如上所述，本發明旨在改進磁頭折片組合內的共振性能，同時利用微驅動器精確地驅動磁頭。本發明一方面提供一種旋轉型的壓電微驅動器，用於提高磁頭折片組合的共振性能。通過提高磁頭折片組合的共振性能，使得磁碟驅動設備的性能特性得以提高。現在描述用於磁頭折片組合的壓電微驅動器的幾個實施例。應當注意該壓電微驅動器可應用於任何具有微驅動器的磁碟驅動設備中，以期提高其共振性能，而不局限於附圖中所示的特定磁頭折片組合。即本發明適用於任何領域內任何適當的含有微驅動器的設備。圖8-13為根據本發明一個範例性的實施例的含有壓電微驅動器212的磁頭折片組合210。該磁頭折片組合210包括壓電微驅動器212、磁頭214及用於支撐所述壓電微驅動器212及磁頭214的懸臂件216。如圖8、11及12所示，該懸臂件216包括基板218、負載杆220、樞接件222、撓性件224及位於該撓性件224上的內外懸臂電纜226、227。該基板218包括安裝孔228，用於將懸臂件216固定在磁碟驅動設備的音圈馬達(VCM)的驅動臂上。該基板218的形狀隨磁碟驅動設備的配置或型號而變化。並且該基板218由相對較硬或剛度較好的材料比如金屬形成，以便穩定地將懸臂件216固定在音圈馬達的驅動臂上。該樞接件222通過比如焊接方式連接到基板218與負載杆220上。如圖所示，該樞接件222包括與基板218的安裝孔228對正的孔230。另外，該樞接件222還包括用於支撐負載杆220的固持條232。該負載杆220通過比如焊接的方式固定在樞接件222的固持條232上。該負載杆220上形成與壓電微驅動器212配合的凸點234(參考圖10-12)。如圖10所示，該凸點234位於磁頭214的中心。該撓性件224通過諸如疊壓或焊接的方式安裝到樞接件222和負載杆220上。該撓性件224上具有頂部區域或懸臂舌片238，用於將壓電微驅動器212固定到懸臂件216上(參考圖10及12)。該撓性件224的懸臂電纜226、227將若干連接觸點240(與外部控制系統連接)與磁頭214及位於壓電微驅動器212上的壓電元件242、243電性連接起來。這些懸臂電纜226、227可為柔性印刷電路且可具有適當數量的導線。如圖9、10及12所示，連接觸點244直接連接到內懸臂電纜226上，以便將內懸臂電纜226電性連接到壓電元件242、243的連接觸點246上。同樣連接觸點248直接連接到外懸臂電纜227上，以便將外懸臂電纜227電性連接到磁頭214上的連接觸點250上。所述磁碟驅動設備包括音圈馬達，用於可控制地旋轉驅動臂，進而可控制地驅動磁頭折片組合210，使得磁頭214及其讀寫頭在磁碟驅動設備的磁碟的磁軌上產生運動。該壓電微驅動器212用於實現磁碟驅動設備的精確快速的位置控制及減少磁碟運行時磁頭尋道及復位的時間。因此，當磁碟驅動設備中內置該壓電微驅動器212時，便形成雙驅動器系統，其中所述音圈馬達實現讀寫頭的較大位置調整，而所述壓電微驅動器212實現對讀寫頭位置的微調。圖12、13展示了從磁頭214及懸臂件216上分離後的壓電微驅動器212。如圖所示，該壓電微驅動器212包括微驅動器框架252及安裝在微驅動器框架252的邊臂上的壓電元件242、243。該微驅動器框架252包括頂支撐板254、底支撐板256、連接所述頂支撐板254與底支撐板256的邊臂258及259。該頂支撐板254包括旋轉板(rotatableplate)260及將該旋轉板260連接到相應邊臂258及259的連接臂或連接橋262、264。該微驅動器框架252最好由金屬材料形成，但也可以由其它合適的材料形成，比如可以由陶瓷材料形成。所述邊臂258、259自頂支撐板254及底支撐板256的相對邊形成。如圖所示，所述底支撐板256與相應的邊臂258、259之間具有內槽(innernotch)或空間(space)257。這種結構使得邊臂258、259具有更長的有效長度及更廣的運動自由度。如圖12所示，該連接橋262呈曲線形並具有相反的端部262a及262b，該連接橋264呈曲線形並具有相反的端部264a及264b。所述端部262a及264a與旋轉板260連接，所述端部262b及264b與相應的邊臂258、259連接。在該實施例中，所述端部262b及264b以在y軸上相同的位置與相應的邊臂258、259連接，即所述262b及264b從連接點到相應的邊臂258、259的末端之間的距離相同。而且，所述端部262a及264a以旋轉板260的中心為對稱軸鏡像對稱地連接到旋轉板260。即所述端部262a及264a的連接點以所述旋轉板260的重心為對稱軸對稱地設置。當壓電元件242、243在使用中被激發時，這種結構允許旋轉板260繞其重心旋轉。然而，連接橋262、264可以具有其它適當的形狀及連接結構。所述微驅動器框架252的邊臂258、259面向外側的表面上安裝有相應的壓電元件242、243。該壓電元件242、243上具有連接觸點246，比如兩個觸點，用於將壓電元件242、243電性連接到內懸臂電纜226上。每個壓電元件242、243可以為陶瓷壓電元件、薄膜壓電元件或者鈮鎂酸鉛、鈦酸鉛(PMN-PT)壓電元件，並且可以為單層結構或多層結構。如圖9、10、12所示，該底支撐板256用於將所述微驅動器框架252安裝到懸臂件216上。具體地，該底支撐板256藉助環氧樹脂膠、樹脂或雷射焊接的方式局部地固定在撓性件224的頂部區域或懸臂舌片238上。而且，位於相應的壓電元件242、243上的壓電連接觸點246，比如兩個連接觸點藉助電連接球(金球焊接或錫球焊接，GBBorSBB)266而電性連接到位於內懸臂電纜226上對應的連接觸點244上。這使得電壓可通過內懸臂電纜226而施加到所述壓電元件242、243上。在該實施例中，所述內懸臂電纜226的一個連接觸點244包括電極部270及接地部(groundpart)272(參考圖12)。該連接觸點244通過接地部272而將懸臂件216(比如由不鏽鋼材料製造形成)接地，並確保藉助若干連接觸點240而將所述內懸臂電纜226的僅僅一根導線連接到壓電元件242、243上，該等連接觸點240與外部控制系統連接。所述頂支撐板254將所述微驅動器框架252固定在所述磁頭214上。具體地講，該旋轉板260包括臺階部274，其可以由聚合體層、環氧樹脂層或金屬層構成。所述磁頭214局部地安裝到所述旋轉板260的臺階部274上，使得當壓電微驅動器212運動時，該磁頭214將不會接觸到或與連接臂或連接橋262、264幹涉。而且，位於磁頭214上的多個連接觸點250，比如六個連接觸點，藉助比如電連接球(金球焊接或錫球焊接，GBBorSBB)278而電性連接到懸浮板276上的相應觸點248上。從而將所述頂支撐板254連接到所述磁頭214，並且使磁頭214及其讀寫頭電連接到懸臂件216的外懸臂電纜227上。在該實施例中，每個外懸臂電纜227均包括與所述磁頭214的相應側邊相鄰的彎曲部268。當壓電微驅動器212工作時，這種結構有助於釋放由外懸臂電纜227的剛度引起的應力，從而使得壓電微驅動器212更順利地工作。另外，所述懸臂負載杆220的凸點234支撐所述旋轉板260的重心。這樣，在壓電微驅動器212與該凸點234之間沒有平行間隙存在，從而方便製造。具體地，這種結構不像傳統技術那樣，因此不需要控制間隙或控制懸臂舌片的剛度，以避免懸臂舌片的變形。在該實施例中，所述磁頭214安裝在頂支撐板256的旋轉板260上，使得磁頭214的重心將充分地與所述旋轉板260的重心配合。而且，所述壓電微驅動器212的底支撐板254安裝在懸臂舌片238上，使得旋轉板260的重心與懸臂件216的凸點234充分地配合。當通過激發壓電元件242、243而使所述旋轉板260轉動時，該結構允許磁頭214及旋轉板260繞所述懸臂凸點234的中心旋轉。圖14a展示了壓電微驅動器212的兩個壓電元件242、243之間的電連接結構的一種形式，圖14b展示了運行電壓。如圖所示，該等壓電元件242、243具有相同的極化方向及共同的接地端。同時，施加正弦電壓驅動所述壓電元件242、243。圖15a展示了處於鬆弛狀態的壓電微驅動器212，圖15b展示了當施加電壓後的壓電微驅動器212。如圖15b所示，當電壓位於首個半周期時，壓電元件242、243將收縮，該收縮導致兩個邊臂258、259向外側彎曲。由於兩個連接橋262、264相對於旋轉板260的中心互相偏移地連接到所述旋轉板260，並且磁頭214安裝在旋轉板260上，該磁頭214將繞其中心向右側旋轉。當電壓位於第二個半周期時，所述壓電元件242、243將復位或膨脹，且磁頭214將相應地旋轉回來。圖16a展示了壓電微驅動器212的兩個壓電元件242、243之間的電連接結構的另一種形式，圖16b展示了運行電壓。如圖所示，該等壓電元件242、243具有相反的極化方向及共同的接地端。同時，兩個不同的正弦電壓施加到壓電元件242、243上，以便分別驅動壓電元件242、243。當電壓位於首個半周期時，由於壓電元件242、243中的一個具有正極化方向，另一個具有負極化方向，壓電元件242、243將收縮，該收縮導致兩個邊臂258、259向外側彎曲。由於兩個連接橋262、264相對於旋轉板260的中心互相偏移地連接到所述旋轉板260，並且磁頭214安裝在旋轉板260上，該磁頭214將繞其中心向右側旋轉(參考圖15b)。當電壓位於第二個半周期時，所述壓電元件242、243將復位或膨脹，且磁頭214將相應地旋轉回來。圖17、18展示了壓電微驅動器212的共振測試數據。圖17展示了共振增益，圖18展示了共振相位。如圖所示，曲線280、284展示了當懸臂基板振動或被激發時的共振增益及相位。曲線282、286展示了當壓電微驅動器212的壓電元件242、243被激發時的共振增益及相位。由於壓電微驅動器212以旋轉方式而不是傳統的擺動方式工作，當壓電微驅動器212運動時，相對較小的反作用力施加於懸臂件上，進而提高了共振性能。即，不會像圖7所示的現有模型那樣，該壓電微驅動器212不會形成懸臂共振模型。這樣，該壓電微驅動器212極大地提高了磁碟驅動設備的性能特性並可以獲得較高的伺服帶寬。同樣，由於壓電微驅動器212以旋轉方式而不是傳統的擺動方式工作，懸臂結構尤其是懸臂舌片的結構可以得到簡化。這可以使懸臂件的製造變得容易，並且降低成本。另外，由於重量減輕，這可以提高磁頭折片組合的靜態及動態性能，比如防震性能。圖19展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器312。在該實施例中，諸如由金屬材料形成的剛性材料或剛性塊390安裝在微驅動器框架252的邊臂258與259之間，並且由底支撐板256支撐。當壓電微驅動器312運動時，這種結構有助於避免所述邊臂258及259不協調的變形。所述壓電微驅動器312的其餘部件與壓電微驅動器212基本類似，並以與壓電微驅動器212的部件相似的標號表示。雖然結構不同，但該壓電微驅動器312的工作原理與壓電微驅動器212十分相似。圖19a展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器312a。該微驅動器312a與圖19所示的微驅動器312結構類似，區別在於在該實施例中，所述底支撐板256a的厚度與所述邊臂258及259的高度相同。當壓電微驅動器312a運動時，這種結構/材料有助於避免所述邊臂258及259產生不協調的變形。圖20展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器412。在該實施例中，所述微驅動器框架252的邊臂258及259在臨近底支撐板256處形成相應的臂部元件492及494。如圖所示，這些臂部元件492、494向底支撐板256彎曲，並具有與所述底支撐板256接合的自由端。這種結構有助於避免所述邊臂258及259不協調的變形。所述壓電微驅動器412的其餘部件與壓電微驅動器212基本類似，並以與壓電微驅動器212的部件相似的標號表示。雖然結構不同，但該壓電微驅動器412的工作原理與壓電微驅動器212十分相似。圖21展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器512。在該實施例中，所述微驅動器框架252的邊臂258及259在臨近底支撐板256處形成相應的臂部元件592及594。如圖所示，這些臂部元件592及594彼此向對方延伸並，與底支撐板256大致地平行。同樣，這些臂部元件592及594具有互相接合的自由端。這種結構有助於避免所述邊臂258及259不協調的變形。所述壓電微驅動器512的其餘部件與壓電微驅動器212基本類似，並以與壓電微驅動器212的部件相似的標號表示。雖然結構不同，但該壓電微驅動器512的工作原理與壓電微驅動器212十分相似。圖22展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器612。在該實施例中，每個連接橋262、264在靠近與所述邊臂258、259結合的位置處通過諸如局部蝕刻的方式形成槽696(僅可以看到一個槽696)。如圖所示，使用時該槽696形成於所述連接橋262、264面向磁頭214的前表面或內表面上。該局部形成的槽696對成型流程有幫助。所述壓電微驅動器612的其餘部件與壓電微驅動器212基本類似，並以與壓電微驅動器212的部件相似的標號表示。雖然結構不同，但該壓電微驅動器612的工作原理與壓電微驅動器212十分相似。圖23展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器712。在該實施例中，每個連接橋262、264在靠近與所述邊臂258、259結合的位置處通過諸如局部蝕刻的方式形成槽796。如圖所示，使用時該槽796形成於所述連接橋262、264遠離磁頭214的背面上。該局部形成的槽796對成型流程有幫助。所述壓電微驅動器712的其餘部件與壓電微驅動器212基本類似，並以與壓電微驅動器212的部件相似的標號表示。雖然結構不同，但該壓電微驅動器712的工作原理與壓電微驅動器212十分相似。圖24展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器812。在該實施例中，所述底支撐板256在靠近與邊臂258及259結合的位置上形成開孔898(僅可以看到一個開孔898)。當壓電微驅動812運動時，這些開孔898有助於降低結合剛度。所述壓電微驅動器812的其餘部件與壓電微驅動器212基本類似，並以與壓電微驅動器212的部件相似的標號表示。雖然結構不同，但該壓電微驅動器812的工作原理與壓電微驅動器212十分相似。圖25展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器912。在該實施例中，所述底支撐板256在靠近與相應邊臂258、259結合的每個位置藉助例如局部蝕刻的方式形成槽988。當壓電微驅動912運動時，這些槽988有助於降低結合剛度。所述壓電微驅動器912的其餘部件與壓電微驅動器212基本類似，並以與壓電微驅動器212的部件相似的標號表示。雖然結構不同，但該壓電微驅動器912的工作原理與壓電微驅動器212十分相似。圖26展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器1012。在該實施例中，所述底支撐板256在靠近與相應邊臂258、259結合的每個位置藉助例如局部蝕刻的方式形成槽1088。另外，每個連接橋262、264在靠近與所述邊臂258、259結合的位置處通過諸如局部蝕刻的方式形成槽1096(僅可以看到一個槽1096)。如圖所示，使用時該槽1096形成於所述連接橋262、264面向磁頭214的前表面或內表面上。當壓電微驅動1012運動時，這些槽1088及1096有助於降低結合剛度。所述壓電微驅動器1012的其餘部件與壓電微驅動器212基本類似，並以與壓電微驅動器212的部件相似的標號表示。雖然結構不同，但該壓電微驅動器1012的工作原理與壓電微驅動器212十分相似。圖27展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器1112。在該實施例中，所述底支撐板256在靠近與邊臂258及259結合的位置上形成開孔1198(僅可以看到一個開孔1198)。另外，每個連接橋262、264在靠近與所述邊臂258、259結合的位置處通過諸如局部蝕刻的方式形成槽1196(僅可以看到一個槽1196)。如圖所示，使用時該槽1196形成於所述連接橋262、264面向磁頭214的前表面或內表面上。當壓電微驅動1112運動時，這些開孔1198及槽1196有助於降低結合剛度。所述壓電微驅動器1112的其餘部件與壓電微驅動器212基本類似，並以與壓電微驅動器212的部件相似的標號表示。雖然結構不同，但該壓電微驅動器1112的工作原理與壓電微驅動器212十分相似。應當理解，圖22-27所示的開孔及/或槽可以任何適當的組合形成於微驅動器框架252。另外，這些開孔及/或槽可以具有其它適當的結構，以便當壓電微驅動器運動時能夠降低結合剛度。圖28展示了本發明一個實施例所述的壓電微驅動器的製造及組裝流程的主要步驟。當工序開始後(圖28中的步驟1)，將壓電元件安裝到微驅動器框架上(圖28中的步驟2)。該微驅動器框架及壓電元件可以具有圖8-27所示實施例的結構。接著，將磁頭安裝到微驅動器框架(圖28中的步驟3)。然後，將該微驅動器框架安裝到磁頭折片組合的懸臂件上(圖28中的步驟4)。該微驅動器框架可以圖8-12所示的方式安裝到懸臂件上。接下來，將壓電元件及磁頭電性連接到懸臂件上(圖28中的步驟5及步驟6)，並執行壓電元件電性測試及磁頭性能測試(圖28中的步驟7及步驟8)。最後，對上述組合進行檢查(圖28中的步驟9)，以便完成製造及組裝流程(圖28中的步驟10)。圖29展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器的製造及組裝流程的主要步驟。當工序開始後(圖29中的步驟1)，將壓電元件安裝到微驅動器框架上(圖29中的步驟2)。該微驅動器框架及壓電元件可以具有圖8-27所示實施例的結構。接著，將該微驅動器框架安裝到磁頭折片組合的懸臂件上(圖29中的步驟3)。該微驅動器框架可以圖8-12所示的方式安裝到懸臂件上。然後，將壓電元件電性連接到懸臂件上(圖29中的步驟4)，並執行壓電元件電性測試(圖29中的步驟5)。接下來，將磁頭安裝到微驅動器框架上(圖29中的步驟6)。再將磁頭電性連接到懸臂件上(圖29中的步驟7)，並執行磁頭性能測試(圖29中的步驟8)。最後，對上述組合進行檢查(圖29中的步驟9)，以便完成製造及組裝流程(圖29中的步驟10)。圖30展示了本發明另一個實施例所述的壓電微驅動器的製造及組裝流程的主要步驟。當工序開始後(圖30中的步驟1)，將微驅動器框架安裝到磁頭折片組合的懸臂件上(圖30中的步驟2)。該微驅動器框架可具有圖8-27所示的結構並以圖8-27所示的方式安裝到懸臂件上。接著，將壓電元件安裝到微驅動器框架上(圖30中的步驟3)。該微驅動器框架可以具有圖8-27所示實施例的結構。然後，將壓電元件電性連接到懸臂件上(圖30中的步驟4)，並執行壓電元件電性測試(圖30中的步驟5)。接下來，接下來，將磁頭安裝到微驅動器框架上(圖30中的步驟6)。再將磁頭電性連接到懸臂件上(圖30中的步驟7)，並執行磁頭性能測試(圖30中的步驟8)。最後，對上述組合進行檢查(圖30中的步驟9)，以便完成製造及組裝流程(圖30中的步驟10)。參考圖31，根據本發明的一個實施例，一種微驅動器的製造方法包括如下步驟當工序開始後(步驟400)，首先提供一對邊臂及與該對邊臂連接的底支撐板(步驟401)；再提供由旋轉板及連接臂構成的頂支撐板(步驟402)；接著提供壓電元件並將其安裝到所述邊臂(步驟403)；然後，藉助粘結劑將頂支撐板粘結到所述兩個邊臂之間(步驟404)；固化所述粘結劑而形成微驅動器(步驟405)；檢查所述微驅動器(步驟406)從而結束製造流程(步驟407)。圖32對上述製造方法進行了詳細解釋。首先提供頂支撐板416，其包括旋轉板417及形成於該旋轉板417兩側的連接臂418。同時提供底支撐板411及分別連接於該底支撐板411兩側的一對邊臂413。然後提供壓電元件414並將其安裝在邊臂413上。然後，將粘結劑415比如環氧樹脂膠塗設到上述邊臂413內側(也可以塗設到所述頂支撐板416的連接臂418邊緣或同時在兩者上塗設)，並將頂支撐板416放置到兩個邊臂413之間，使得頂支撐板416藉助粘結劑415而連接於兩個邊臂413。然後，將粘結劑415固化，從而將頂支撐板416固定起來。最後對上述部件進行檢查。圖33展示了本發明另一個實施例所述的微驅動器製造方法。當工序開始後(步驟500)，首先混合陶瓷粉料(步驟501)；其次，將所述混合後的陶瓷粉料層壓成片狀材料(步驟502)；將所述片狀材料加工成由旋轉板及與該旋轉板連接的連接臂構成的頂支撐板(步驟503)；再提供一對邊臂及與該對邊臂連接的底支撐板，並藉助粘結劑將所述頂支撐板粘結在所述邊臂之間，從而形成框架(步驟504)；燒結所述框架，從而使所述頂支撐板與邊臂固定在一起(步驟505)；提供壓電元件並將其安裝到所述邊臂上而形成微驅動器(步驟506)；最後檢查所述微驅動器(步驟507)，從而結束流程(步驟508)。在上述步驟505中，所述燒結的溫度為600-800攝氏度。在該溫度範圍內時，燒結工序能夠充分地進行，從而保證燒結質量。在這裡，由於頂支撐板、邊臂及與邊臂連接的底支撐板由陶瓷材料形成，因此通過燒結工序，兩者可以牢牢地固定在一起，從而形成微驅動器。圖34展示了本發明另一個實施例所述的微驅動器製造方法。該方法包括如下步驟首先，混合陶瓷粉料(步驟601)；將所述混合後的陶瓷粉料層壓成片狀材料(步驟602)；加工所述片狀材料，從而獲得一對邊臂、與該對邊臂連接的底支撐板、由旋轉板及與該旋轉板連接的連接臂構成的頂支撐板(步驟603)；藉助粘結劑將所述頂支撐板粘結在所述邊臂之間，從而形成框架(步驟604)；燒結所述框架，使所述頂支撐板與邊臂固定在一起(步驟605)；提供壓電元件並將其安裝到所述框架的邊臂上而形成微驅動器(步驟606)；最後檢查所述微驅動器(步驟607)。本發明的諸多實施例中描述的包含壓電微驅動器212、312、312a、412、512、612、712、812、912、1012及1112的磁頭折片組合210可用於磁碟驅動器(硬碟驅動器，HDD)中。該硬碟驅動器可以為結合圖1描述的結構。由於磁碟驅動器的結構、運行及裝配流程為該領域內的普通技術人員所熟悉，這裡省略關於磁碟驅動器的進一步詳細的描述，使本發明更加清晰。所述壓電微驅動器可使用於任何具有微驅動器的磁碟驅動器或具有微驅動器的任何設備中。在一個實施例中，該壓電微驅動器使用於具有高轉速的磁碟驅動設備中。以上結合最佳實施例對本發明進行了描述，但本發明並不局限於以上揭示的實施例，而應當涵蓋各種根據本發明的本質進行的修改、等效組合。權利要求1.一種磁頭折片組合，包括微驅動器；磁頭；及支撐該微驅動器與磁頭的懸臂件，該微驅動器包括框架；所述框架包括用於支撐所述磁頭的頂支撐板、用於與所述懸臂件連接的底支撐板及將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂；其中，所述頂支撐板包括旋轉板及將該旋轉板連接到相應邊臂上的連接臂；及安裝在每個邊臂上的壓電元件，每個壓電元件可被激發而導致所述邊臂的選擇性運動；其中，所述懸臂件包括具有凸點的負載杆，該凸點在使用時與所述旋轉板配合併支撐該旋轉板。2.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述頂支撐板的連接臂具有曲線構造。3.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述連接臂在沿框架的縱軸上相同的位置與相應的邊臂連接。4.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述連接臂以旋轉板的中心為對稱軸鏡像對稱地連接到該旋轉板上。5.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述底支撐板與相應的邊臂之間形成內槽(innernotch)或空間(space)。6.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述每個壓電元件為陶瓷壓電元件、薄膜壓電元件或鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛(PMN-PT)壓電元件。7.根據權利要求6所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述每個壓電元件為單層結構或多層結構。8.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述每個壓電元件具有與所述懸臂件上的相應連接觸點電性連接的連接觸點，並且所述懸臂件上的至少一個連接觸點具有將所述懸臂件接地的接地部(groundpart)。9.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述旋轉板具有支撐所述磁頭的臺階部，使得磁頭在使用時不會與所述連接臂發生幹涉。10.根據權利要求9所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述臺階部由聚合體疊壓層、環氧樹脂層或金屬層構成。11.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述磁頭、旋轉板及凸點的中心沿一個共同軸對齊。12.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述框架上與頂支撐板相對的一端形成安裝於邊臂之間的剛性材料或剛性塊。13.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述框架的相應邊臂上靠近底支撐板處形成臂部元件。14.根據權利要求13所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述臂部元件向所述底支撐板彎曲。15.根據權利要求13所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述臂部元件相向地延伸並與所述底支撐板平行。16.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述每個連接臂在與相應邊臂相連的位置形成槽。17.根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述槽通過局部蝕刻的方式形成。18.根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述槽形成於連接臂的前表面上，使用時該前表面朝向磁頭。19.根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述槽形成於連接臂的後表面上，使用時該後表面背離磁頭。20.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述底支撐板在與每個邊臂連接的位置形成開孔。21.根據權利要求20所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述每個連接臂在與相應邊臂相連的位置形成槽。22.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述底支撐板在與每個邊臂連接的位置形成槽。23.根據權利要求22所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述底支撐板的槽通過局部蝕刻的方式形成。24.根據權利要求22所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述每個連接臂在與相應邊臂相連的位置形成槽。25.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述底支撐板的厚度與所述邊臂的高度相同。26.根據權利要求1所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述框架由陶瓷材料或金屬材料形成。27.一種磁碟驅動設備，其包括由微驅動器、磁頭及支撐微驅動器與磁頭的懸臂件組成的磁頭折片組合；與所述磁頭折片組合連接的驅動臂；磁碟；及用於驅動所述磁碟的主軸馬達，該微驅動器包括框架；所述框架包括用於支撐所述磁頭的頂支撐板；用於與所述懸臂件連接的底支撐板；將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂；所述頂支撐板包括旋轉板及將該旋轉板連接到相應邊臂上的連接臂；及安裝在每個邊臂上的壓電元件，每個壓電元件可被激發而導致所述邊臂的選擇性運動；其中，該懸臂件包括具有凸點的負載杆，該凸點在使用時與所述旋轉板配合併支撐該旋轉板。28.一種用於磁頭折片組合的微驅動器，其包括框架，其包括用於支撐所述磁頭的頂支撐板，用於與所述懸臂件連接的底支撐板，將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂，在相應邊臂上靠近底支撐板的位置形成的臂部元件，所述頂支撐板包括旋轉板及將該旋轉板連接到相應邊臂上的連接臂；及安裝在每個邊臂上的壓電元件，每個壓電元件可被激發而導致所述邊臂的選擇性運動。29.根據權利要求28所述的微驅動器，其特徵在於所述臂部元件向所述底支撐板彎曲。30.根據權利要求28所述的微驅動器，其特徵在於所述臂部元件相向地延伸並與所述底支撐板平行。31.根據權利要求28所述的微驅動器，其特徵在於所述底支撐板的厚度與所述邊臂的高度相同。32.根據權利要求28所述的微驅動器，其特徵在於所述框架由陶瓷材料或金屬材料形成。33.一種用於磁頭折片組合的微驅動器，其包括框架，所述框架包括用於支撐所述磁頭的頂支撐板；用於與所述懸臂件連接的底支撐板；將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂；所述頂支撐板包括旋轉板及將該旋轉板連接到相應邊臂上的連接臂；及安裝在每個邊臂上的壓電元件，每個壓電元件可被激發而導致所述邊臂的選擇性運動；其中，所述每個連接臂在與相應邊臂相連的位置形成槽。34.根據權利要求33所述的微驅動器，其特徵在於所述槽通過局部蝕刻的方式形成。35.根據權利要求33所述的微驅動器，其特徵在於所述槽形成於連接臂的前表面上，使用時該前表面朝向磁頭。36.根據權利要求33所述的微驅動器，其特徵在於所述槽形成於連接臂的後表面上，使用時該後表面背離磁頭。37.根據權利要求33所述的微驅動器，其特徵在於所述底支撐板在與每個邊臂連接的位置形成開孔。38.根據權利要求33所述的微驅動器，其特徵在於所述底支撐板在與每個邊臂連接的位置形成槽。39.根據權利要求38所述的微驅動器，其特徵在於所述底支撐板的槽通過局部蝕刻的方式形成。40.根據權利要求33所述的微驅動器，其特徵在於所述底支撐板的厚度與所述邊臂的高度相同。41.根據權利要求33所述的微驅動器，其特徵在於所述框架由陶瓷材料或金屬材料形成。42.一種微驅動器製造方法，包括如下步驟提供一對邊臂及與該對邊臂連接的底支撐板；提供由旋轉板及連接臂構成的頂支撐板；提供壓電元件並將其安裝到所述邊臂；藉助粘結劑將頂支撐板粘結到所述兩個邊臂之間；固化所述粘結劑而形成微驅動器；檢查所述微驅動器。43.一種微驅動器製造方法，包括如下步驟混合陶瓷粉料；將所述混合後的陶瓷粉料層壓成片狀材料；將所述片狀材料加工成由旋轉板及與該旋轉板連接的連接臂構成的頂支撐板；提供一對邊臂及與該對邊臂連接的底支撐板，並藉助粘結劑將所述頂支撐板粘結在所述邊臂之間，從而形成框架；燒結所述框架，從而使所述頂支撐板與邊臂固定在一起；提供壓電元件並將其安裝到所述邊臂上而形成微驅動器；檢查所述微驅動器。44.根據權利要求43所述的微驅動器製造方法，其特徵在於所述燒結步驟中的燒結溫度為600-800攝氏度。45.根據權利要求43所述的微驅動器製造方法，其特徵在於所述底支撐板由陶瓷材料形成。46.一種微驅動器製造方法，包括如下步驟混合陶瓷粉料；將所述混合後的陶瓷粉料層壓成片狀材料；加工所述片狀材料，從而獲得一對邊臂、與該對邊臂連接的底支撐板、由旋轉板及與該旋轉板連接的連接臂構成的頂支撐板；藉助粘結劑將所述頂支撐板粘結在所述邊臂之間，從而形成框架；燒結所述框架，使所述頂支撐板與邊臂固定在一起；提供壓電元件並將其安裝到所述框架的邊臂上而形成微驅動器；檢查所述微驅動器。47.一種磁頭折片組合的製造方法，包括將壓電元件安裝到微驅動器的相應邊臂上；將磁頭安裝到微驅動器框架上；將微驅動器框架安裝到懸臂件上；將壓電元件與懸臂件電性連接；將磁頭與懸臂件電性連接；對所述壓電元件進行電性測試；對所述磁頭的性能進行測試；及檢查該磁頭折片組合。48.一種磁頭折片組合的製造方法，包括將壓電元件安裝到微驅動器的相應邊臂上；將微驅動器框架安裝到懸臂件上；將壓電元件與懸臂件電性連接；對所述壓電元件進行電性測試；將磁頭安裝到微驅動器框架上；將磁頭與懸臂件電性連接；對所述磁頭的性能進行測試；及檢查該磁頭折片組合。49.一種磁頭折片組合的製造方法，包括；將微驅動器框架安裝到懸臂件上；將壓電元件安裝到微驅動器的相應邊臂上；將壓電元件與懸臂件電性連接；對所述壓電元件進行電性測試；將磁頭安裝到微驅動器框架上；將磁頭與懸臂件電性連接；對所述磁頭的性能進行測試；及檢查該磁頭折片組合。專利摘要一種磁頭折片組合，包括微驅動器、磁頭及支撐該微驅動器與磁頭的懸臂件。該微驅動器包括框架及壓電元件。該框架包括用於支撐所述磁頭的頂支撐板、用於與所述懸臂件連接的底支撐板及將所述頂支撐板與底支撐板互相連接起來的一對邊臂。所述頂支撐板包括旋轉板及將該旋轉板連接到相應邊臂上的連接臂。所述壓電元件安裝在邊臂上。每個壓電元件可被激發而導致邊臂做選擇性運動。所述懸臂件包括具有凸點的負載杆。該凸點在使用時與所述旋轉板互相配合併支撐該旋轉板。文檔編號G11B25/04GK1996465SQ200610167585公開日2007年7月11日申請日期2006年12月25日發明者姚明高,謝怡如申請人:新科實業有限公司導出引文BiBTeX,EndNote,RefMan