一種用於鍵合工藝微缺陷檢測的方法
2023-05-07 03:37:26
專利名稱：一種用於鍵合工藝微缺陷檢測的方法
技術領域：
:本發明涉及鍵合工藝微缺陷檢測技術領域，具體涉及一種用於鍵合工藝微缺陷檢測的方法。
背景技術：
:在現代微電子工業中，在晶片的封裝階段有一個非常重要的工藝環節-鍵合絲工藝，該工藝的作用是將晶片上的導電觸點與基片相連，鍵合絲的直徑一般為25微米左右(一般人頭髮的直徑為70微米)，在這個工藝環節中，鍵合絲的缺線、斷線、彎線、交叉絲等缺陷會造成器件的使用功能障礙，以致器件報廢。傳統的檢測方法是採用人工目測的方式，對鍵合絲的工藝缺陷進行人工檢查，手工標註；核心缺陷是:1、人眼的觀測疲勞時間較短，在長時間的觀測工作下，視覺疲勞易對檢測易造成極大影響，從而無法保證無遺漏檢測，且錯檢率高，效率低下。2、人工檢測的方法，無法為每一塊器件上的所有鍵合絲自動留下工藝判別存檔資料，對鍵合工藝過程中所發生的不良無法溯源，對品質管理帶來巨大不便
發明內容
:本發明的目的是提供一種用於鍵合工藝微缺陷檢測的方法，它克服了傳統人工目檢方法下容易出現的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產線的良率和效率。為了解決背景技術所存在的問題，本發明是採用以下技術方案:它包含一種圖形化軟體工藝編程的「四要素法」和一套對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法。所述的「四要素法」包括對器件的中心位置1、鍵合起始點及允許誤差2、鍵合終點及允許誤差3和鍵合路徑4。所述的對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法的步驟如下:a、根據「四要素法」編程計算對鍵合絲圖形進行像素掃描分析的區域範圍；b、分析鍵合起點是否超出允差範圍；C、分析鍵合終點是否超出允差範圍；d、分析鍵合絲是否延鍵合路徑方向持續延伸；e、分析鍵合絲彎曲覆蓋範圍是否超出允差範圍；f、對鍵合絲是否合格進行標註。本發明的原理如下:通過一種圖形化軟體工藝編程的方法「四要素法」，直觀、有效的在標準鍵合絲圖片上預先圈定各工藝要素的位置和允差範圍，再通過一套對鍵合絲連續性進行判別的圖形處理方法，對生產過程中得到的鍵合絲工藝圖片進行自動像素分析、比對，得到與預先的工藝編程是否相符的判斷，從而快速判斷出該器件是否合格並進行標註，為後續工藝及品質管理提供依據。
與現有技術相比，本發明具有以下有益效果:1、克服了傳統人工目檢方法下容易出現的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產線的良率和效率。2、為每一塊器件留下工藝判別資料，保障了對所有不良的可溯源追蹤能力，提升對鍵合絲工藝段和責任人的品質控制力。
:圖1為本發明中「四要素法」的圖形化編程效果圖；圖2為本發明中對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法的原理圖。
具體實施方式
:參照圖1和圖2，本具體實施方式
採用以下技術方案:它包含一種圖形化軟體工藝編程的「四要素法」和一套對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法。所述的「四要素法」包括對器件的中心位置1、鍵合起始點及允許誤差2、鍵合終點及允許誤差3和鍵合路徑4。所述的對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法的步驟如下:a、根據「四要素法」編程計算對鍵合絲圖形進行像素掃描分析的區域範圍；b、分析鍵合起點是否超出允差範圍；C、分析鍵合終點是否超出允差範圍；d、分析鍵合絲是否延鍵合路徑方向持續延伸；e、分析鍵合絲彎曲覆蓋範圍是否超出允差範圍；f、對鍵合絲是否合格進行標註。本具體實施的原理如下:通過一種圖形化軟體工藝編程的方法「四要素法」，直觀、有效的在標準鍵合絲圖片上預先圈定各工藝要素的位置和允差範圍，再通過一套對鍵合絲連續性進行判別的圖形處理方法，對生產過程中得到的鍵合絲工藝圖片進行自動像素分析、比對，得到與預先的工藝編程是否相符的判斷，從而快速判斷出該器件是否合格並進行標註，為後續工藝及品質管理提供依據。與現有技術相比，本具體實施具有以下有益效果:3、克服了傳統人工目檢方法下容易出現的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產線的良率和效率。4、為每一塊器件留下工藝判別資料，保障了對所有不良的可溯源追蹤能力，提升對鍵合絲工藝段和責任人的品質控制力。
權利要求
1.一種用於鍵合工藝微缺陷檢測的方法，其特徵在於它包含一種圖形化軟體工藝編程的「四要素法」和一套對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法。
2.根據權利要求1所述的一種用於鍵合工藝微缺陷檢測的方法，其特徵在於所述的「四要素法」包括對器件的中心位置(I)、鍵合起始點及允許誤差(2)、鍵合終點及允許誤差(3)和鍵合路徑⑷。
3.根據權利要求1所述的一種用於鍵合工藝微缺陷檢測的方法，其特徵在於所述的對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法的步驟如下: (a)、根據「四要素法」編程計算對鍵合絲圖形進行像素掃描分析的區域範圍； (b)、分析鍵合起點是否超出允差範圍； (C)、分析鍵合終點是否超出允差範圍； (d)、分析鍵合絲是否延鍵合路徑方向持續延伸； (e)、分析鍵合絲彎曲覆蓋範圍是否超出允差範圍； (f)、對鍵合絲是否合格進行標註。
全文摘要
一種用於鍵合工藝微缺陷檢測的方法，它涉及鍵合工藝微缺陷檢測技術領域，它包含一種圖形化軟體工藝編程的「四要素法」和一套對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法，所述的「四要素法」包括對器件的中心位置、鍵合起始點及允許誤差、鍵合終點及允許誤差和鍵合路徑。它克服了傳統人工目檢方法下容易出現的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產線的良率和效率。
文檔編號G01N21/956GK103091339SQ201310063950
公開日2013年5月8日 申請日期2013年3月1日 優先權日2013年3月1日
發明者謝歷銘 申請人:蘇州愛特盟光電有限公司