一種半自動感光膜曝光裝置製造方法
2023-05-02 04:54:21
一種半自動感光膜曝光裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種半自動感光膜曝光裝置，它包括監控裝置、裝載框架（1）、曝光箱（2）和裝載箱（3），裝載框架（1）包括上框架（17）和下框架（18），下框架（18）設置有抽真空通道、抽真空氣孔（11）和抽真空接頭（12），監控裝置包括光電傳感器（21）、計時器、蜂鳴器、真空泵、氣壓傳感器和控制器。本實用新型的有益效果是：提高了曝光效率，裝載工作方便、容易進行，能夠準確的檢測下透光板和上透光板之間的真空氣壓數據，確保曝光過程中下透光板和上透光板之間的真空氣壓數值，從而保證曝光質量；通過控制器自動控制裝載框架（1）的曝光操作和曝光時間，節省了人工，提高了工效。
【專利說明】一種半自動感光膜曝光裝置
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種半自動感光膜曝光裝置。
【背景技術】
[0002]在FPC板製造工藝中，主要有FPC板的清洗、印刷(烘烤)、曝光顯影、圖像電鍍極大工序。其中，在曝光顯影工序中有一道外層曝光的工序，該工序使用一種手動曝光機。該手動曝光機包括一個玻璃臺面，用以放置待曝光的FPC板，以及一個貼膜層，用以貼敷定位所述FPC板。玻璃臺面與貼敷膜層之間，還設有抽氣口，工作時，先將FPC板放置於所述玻璃檯面上，再將貼敷膜層貼敷在所述FPC板的表面，然後通過所述抽氣口抽氣，開啟光源，對待曝光的FPC板的下表面進行曝光。此裝置僅能完成FPC板的單面曝光，對於需要雙面曝光的FPC板需要進行兩次曝光操作，效率低，耗時長。
[0003]並且，目前使用的曝光機一般通過目測憑經驗估計腔體內的的真空度，誤差大，且無法控制腔體內的真空度，可能會引起真空度抽氣過度而導致玻璃蓋板爆裂，或者由於真空度太低，空氣殘留過多，造成曝光不良。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在於克服現有技術的缺點，提供一種方便裝載、提高曝光效率、半自動感光膜曝光裝置。
[0005]本實用新型的目的通過以下技術方案來實現:一種半自動感光膜曝光裝置，它包括監控裝置、裝載框架、以及依次連接為一體的曝光箱和裝載箱，曝光箱和裝載箱上均設置有用於安裝裝載框架的水平導軌，曝光箱位於水平導軌的上下兩側均設置有曝光光源，所述的裝載框架包括上框架和下框架，上框架和下框架通過設置於後側面上的合頁連接為一體，上框架的底面上設置有上透光板，下框架的頂面上設置有容置上框架的凹槽，該凹槽的底面上設置有下透光板，下框架內部設置有抽真空通道，下框架位於上透光板和下透光板之間的部分上設置有抽真空氣孔，下框架上還設置有用於連接抽真空管路的抽真空接頭，抽真空接頭通過抽真空通道與抽真空氣孔連通，所述的下框架的左右兩側均設置有水平凸稜，下框架的水平凸稜滑動安裝於曝光箱和裝載箱的水平導軌內，曝光箱上還安裝有驅動電機，驅動電機的電機軸連接有與水平導軌平行的絲杆，下框架的底部設置有螺紋孔，絲杆通過螺紋與螺紋孔連接，所述的監控裝置包括光電傳感器、計時器、蜂鳴器、真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝於下框架的抽真空通道內，光電傳感器設置於凹槽的側壁上，用於監測上框架是否扣合於下框架的凹槽內，光電傳感器、氣壓傳感器、計時器、蜂鳴器、真空泵、電磁閥和驅動電機分別與控制器電連接。
[0006]所述的上框架的前端面上安裝有把手。
[0007]所述的上框架的前端面設置有凸塊，下框架上設置有與凸塊相配合的缺口，凸塊的前端面與下框架的前端面相平齊，把手安裝於凸塊的前端面上。[0008]本實用新型具有以下優點:本實用新型可以同時對薄板兩個表面貼附的感光膜同時進行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架的結構設計使得裝載框架與曝光光源安裝結構為分體結構，裝載工作方便、容易進行。通過設置監控裝置，從而能夠準確的檢測下透光板和上透光板之間的真空氣壓數據，確保曝光過程中下透光板和上透光板之間的真空氣壓數值，從而保證曝光質量；當抽真空達到要求的真空氣壓數值時，控制器會控制電磁閥關閉、控制真空泵停止工作，從而延長真空泵的使用壽命。本實用新型通過控制器自動控制裝載框架的曝光操作和曝光時間，節省了人工，提高了工效。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖
[0010]圖2為本實用新型的裝載框架的俯視結構示意圖
[0011]圖3為圖2沿A-A截面的剖視圖
[0012]圖4為本實用新型的下框架的剖視結構示意圖
[0013]圖5為本實用新型曝光時的結構示意圖
[0014]圖6為本實用新型監控裝置的框圖
[0015]圖中，1-裝載框架，2-曝光箱，3-裝載箱，4-水平導軌A，5_水平導軌B，6_曝光光源，7-合頁，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空氣孔，12-抽真空接頭，13-水平凸稜，14-把手，15-凸塊，16-缺口，17-上框架，18-下框架，19-驅動電機，20-絲杆，21-光電傳感器。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖對本實用新型做進一步的描述，本實用新型的保護範圍不局限於以下所述:
[0017]如圖1所示，一種半自動感光膜曝光裝置，它包括監控裝置、裝載框架1、以及依次連接為一體的曝光箱2和裝載箱3，曝光箱2和裝載箱3上均設置有用於安裝裝載框架I的水平導軌，曝光箱2內的水平導軌A4與裝載箱3的水平導軌B5連接為連續的水平導軌，曝光箱2位於水平導軌的上下兩側均設置有曝光光源6，如圖2、圖3、圖4所示，所述的裝載框架I包括上框架17和下框架18，上框架17和下框架18通過設置於後側面上的合頁7連接為一體，上框架17的底面上設置有上透光板8，下框架18的頂面上設置有容置上框架17的凹槽9，該凹槽9的底面上設置有下透光板10，上框架17和下框架18均為由四個邊框圍成的矩形框架，透光板的四個邊緣均與對應側的邊框緊密固定連接，下框架18內部設置有抽真空通道，下框架18位於上透光板8和下透光板10之間的部分上設置有抽真空氣孔11，下框架18上還設置有用於連接抽真空管路的抽真空接頭12，抽真空接頭12通過抽真空通道與抽真空氣孔11連通，所述的下框架18的左右兩側均設置有水平凸稜13，下框架18的水平凸稜13滑動安裝於曝光箱2和裝載箱3的水平導軌內，
[0018]曝光箱2上還安裝有驅動電機19，驅動電機19的電機軸連接有與水平導軌平行的絲杆20，下框架18的底部設置有螺紋孔，絲杆20通過螺紋與螺紋孔連接，如圖6所示，所述的監控裝置包括光電傳感器21、計時器、蜂鳴器、真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭12通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝於下框架18的抽真空通道內，光電傳感器21設置於凹槽9的側壁上，用於監測上框架17是否扣合於下框架18的凹槽9內，光電傳感器21、氣壓傳感器、計時器、蜂鳴器、真空泵、電磁閥和驅動電機19分別與控制器電連接。
[0019]所述的凹槽9僅設置於非安裝合頁7的邊框上，為了提高氣密性，上框架17在安裝合頁7的邊框的下表面設置有密封條，上框架17在非安裝合頁7的邊框的凹槽9的側面設置有密封條；為了進一步提高氣密性，下框架18在安裝合頁7的邊框的上表面設置有密封條，下框架18在非安裝合頁7的邊框的側面設置有密封條，所述的抽真氣孔設置於下框架18非安裝合頁7的邊框上。
[0020]所述的上框架17的前端面上安裝有把手14。
[0021]所述的上框架17的前端面設置有凸塊15，下框架18上設置有與凸塊15相配合的缺口 16，凸塊15的前端面與下框架18的前端面相平齊，把手14安裝於凸塊15的前端面上。
[0022]本實用新型的工作過程如下:通過把手14翻開上框架17，上框架17繞合頁7旋轉打開，將待曝光的貼有感光膜的薄板放置於下框架18的下透光板10上部，然後蓋合上框架17，光電傳感器21監測到上框架17蓋合後，傳輸信號至控制器，控制器控制真空泵通過抽真空氣孔11對下透光板10和上透光板8之間進行抽真空，由上透光板8和下透光板10壓緊薄板，此時，操作者可使用滾筒、壓板等裝置在上透光板8上滾壓或推壓，以將下透光板10、薄板、上透光板8之間的空氣完全抽出，氣壓傳感器實時監測抽真空通道內的氣壓變化，並將感應信號傳輸至控制器，當抽真空通道內的氣壓達到設定值時，控制器控制關閉電磁閥、真空泵停止工作，然後，控制器控制驅動電機19轉動，通過絲槓20驅動下框架18沿導軌滑動，整個裝載框架I進入曝光箱2，由分別位於裝載框架I上部和下部的光源對裝載於上透光板8和下透光板10之間的薄板的兩個表面同時進行曝光，同時計時器開始計時，如圖5所示。在此過程中，若氣壓傳感器監測到抽真空通道內的氣壓變化至未達到設定值時，控制器控制真空泵開始工作、打開電磁閥，對下透光板10和上透光板8之間進行抽真空，保證下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數值，從而保證曝光質量。當達到設定曝光時長後，計時器向控制器發送信號，控制器控制驅動電機19反向旋轉，通過絲槓20驅動下框架18沿導軌滑動，使裝載框架I退出曝光箱2，完全退出後，控制器控制蜂鳴器工作，提醒人工更換薄板。
[0023]本實用新型可以同時對薄板兩個表面貼附的感光膜同時進行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架I的結構設計使得裝載框架與曝光光源6安裝結構為分體結構，裝載工作方便、容易進行，同時能夠滿足真空條件的工況需求。本實用新型通過設置監控裝置，從而能夠準確的檢測下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數據，確保曝光過程中下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數值，從而保證曝光質量；當抽真空達到要求的真空氣壓數值時，控制器會控制電磁閥關閉、控制真空泵停止工作，從而延長真空泵的使用壽命。本實用新型通過控制器自動控制裝載框架的曝光操作和曝光時間，節省了人工，提高了工效。
【權利要求】
1.一種半自動感光膜曝光裝置，其特徵在於:它包括監控裝置、裝載框架(I)、以及依次連接為一體的曝光箱(2 )和裝載箱(3 )，曝光箱(2 )和裝載箱(3 )上均設置有用於安裝裝載框架(I)的水平導軌，曝光箱(2)位於水平導軌的上下兩側均設置有曝光光源(6)，所述的裝載框架(I)包括上框架(17)和下框架(18)，上框架(17)和下框架(18)通過設置於後側面上的合頁(7)連接為一體，上框架(17)的底面上設置有上透光板(8)，下框架(18)的頂面上設置有容置上框架(17)的凹槽(9)，該凹槽(9)的底面上設置有下透光板(10)，下框架(18)內部設置有抽真空通道，下框架(18)位於上透光板(8)和下透光板(10)之間的部分上設置有抽真空氣孔(11 )，下框架(18)上還設置有用於連接抽真空管路的抽真空接頭(12)，抽真空接頭(12)通過抽真空通道與抽真空氣孔(11)連通，所述的下框架(18)的左右兩側均設置有水平凸稜(13)，下框架(18)的水平凸稜(13)滑動安裝於曝光箱(2)和裝載箱(3)的水平導軌內，曝光箱(2)上還安裝有驅動電機(19)，驅動電機(19)的電機軸連接有與水平導軌平行的絲杆(20)，下框架(18)的底部設置有螺紋孔，絲杆(20)通過螺紋與螺紋孔連接，所述的監控裝置包括光電傳感器(21)、計時器、蜂鳴器、真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭(12)通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝於下框架(18)的抽真空通道內，光電傳感器(21)設置於凹槽(9)的側壁上，用於監測上框架(17)是否扣合於下框架(18)的凹槽(9)內，光電傳感器(21)、氣壓傳感器、計時器、蜂鳴器、真空泵、電磁閥和驅動電機(19)分別與控制器電連接。
2.根據權利要求1所述的一種半自動感光膜曝光裝置，其特徵在於:所述的上框架(17)的前端面上安裝有把手(14)。
3.根據權利要求1所述的一種半自動感光膜曝光裝置，其特徵在於:所述的上框架(17)的前端面設置有凸塊(15)，下框架(18)上設置有與凸塊(15)相配合的缺口(16)，凸塊(15)的前端面與下框架(18)的前端面相平齊，把手(14)安裝於凸塊(15)的前端面上。
【文檔編號】G03F7/20GK203799176SQ201420218735
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年4月30日 優先權日:2014年4月30日
【發明者】劉維軍, 郭寶貴 申請人:遂寧市維海電子科技有限公司