維修車及amhs系統的製作方法

2023-05-21 21:02:26

維修車及amhs系統的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種用於AMHS系統的維修車，其包括車身、懸吊於軌道上的車輪和控制單元，維修車上還設有維修裝置，維修裝置包括安裝在車身上並可伸縮的機械臂、安裝於機械臂前端的工具件抓手以及容納至少一個工具件的工具箱。本發明通過在小車上設置維修裝置，可以及時對AMHS系統中出現的輸送車等設備的故障進行維修，以保證系統的正常運行，避免人工維修帶來的上述技術問題。
【專利說明】維修車及AMHS系統
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體集成電路物料輸送機臺【技術領域】，尤其涉及一種維修車及AMHS系統。
【背景技術】
[0002]隨著半導體技術的發展,300mm娃片已經逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載矽片的矽片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然藉助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體製造對於廠房的利用率以及生產周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統(Automated Material HandlingSystems,簡稱AMHS)作為連接各個製造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。
[0003]現有的AMHS系統均採用懸掛於天花板上的多條軌道結構與軌道上行駛的OHT輸送車，往返於各個機臺之間(tool to tool輸送模式),或往返於機臺與暫存區Stocker之間(走道間系統interbay與走道內系統intrabay)。如圖1所示的採用走道間、走道內的輸送系統，機臺走道每一邊的每一臺機臺10安裝有娃片盒堆疊部20 (load port), OHT輸送車70 (overhead hoist transport)能抓起堆疊部20上的娃片盒30,並通過軌道結構60傳送至另一臺機臺10的堆疊部20上。這種矽片盒30在同一走道內的輸送過程稱為走道內系統110,而娃片盒30在不同走道之間的輸送過程則稱為走道間系統100。走道內系統110的輸送使用OHT輸送車70，走道間系統100的輸送則是先將矽片盒30以輸送車70移至暫存區50中暫時儲存，等到需要用到此矽片盒30時，再同樣以輸送車70搬送到指定機臺10處。
[0004]AMHS系統的運作過程中，難免會發生輸送車等裝置出現故障的情況，這時，如果人工進入潔淨室進行維修，破壞空間潔淨度不說，還必須停止整個系統，大大降低搬送效率，也耗費了人力。

【發明內容】

[0005]本發明的目的在於彌補上述現有技術的不足，提供一種維修車及AMHS系統。
[0006]為實現上述目的，本發明提供一種用於AMHS系統的維修車，其包括車身、懸吊於軌道上的車輪和控制單元，其中，該維修車上還設有維修裝置，該維修裝置包括安裝在車身上並可伸縮的機械臂、安裝於機械臂前端的工具件抓手以及容納至少一個工具件的工具箱。
[0007]進一步地，該機械臂由至少兩段直臂可摺疊式連接而成。
[0008]進一步地，該機械臂可轉動式安裝於車身上。
[0009]進一步地，該工具件抓手可轉動式安裝於機械臂前端。
[0010]進一步地，該工具件抓手與工具箱內的工具件具有相互配合的連接部。
[0011]進一步地，該連接部通過卡扣連接，且該連接部還具有防掉落保險裝置。[0012]進一步地，該維修車車身或維修裝置上還設有攝像頭。
[0013]進一步地，該攝像頭設於機械臂前端。
[0014]進一步地，該工具箱固定於車身上。
[0015]進一步地，該工具箱具有向下的開口，以供工具件抓手取放工具件。
[0016]本發明還提供一種AMHS系統，其包括多個機臺、軌道結構、至少一輛輸送車、總控制單元以及至少一輛上述維修車。
[0017]本發明的維修車及AMHS系統，通過在小車上設置維修裝置，可以及時對AMHS系統中出現的輸送車等設備的故障進行維修，以保證系統的正常運行，避免人工維修帶來的上述技術問題。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]為能更清楚理解本發明的目的、特點和優點，以下將結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細描述，其中:
[0019]圖1是現有自動化物料傳輸系統的結構示意圖；
[0020]圖2是本發明第一實施例的維修車結構示意圖。
【具體實施方式】
[0021]第一實施例
[0022]請參閱圖2，本實施例中的用於AMHS系統的維修車1，其包括車身11、懸吊於軌道上的車輪12和控制單元(未圖示)。其中，維修車I上還設有維修裝置，維修裝置包括安裝在車身11上並可伸縮的機械臂21、安裝於機械臂21前端的工具件抓手22以及工具箱23。
[0023]本實施例中，機械臂21由兩段直臂可摺疊式連接而成；工具箱23固定於車身11內，其向下開口並具有3個工具件槽24，可放置三個工具件25，工具件抓手22可從工具件槽24內取放工具件25，工具件抓手22通過電路連接至車身內的控制單元(未圖示)，控制單元驅動和控制工具件抓手22的維修動作。
[0024]本實施例中，工具件抓手22與工具件25具有相互配合的一對連接部，如卡扣連接方式，並具有保險裝置，以防止工具件在維修作業時掉落。
[0025]在其他實施例中，工具件抓手可以通過常用的旋轉機構，可轉動式安裝於機械臂的前端，機械臂亦可通過常用的旋轉機構，可轉動式安裝於車身上，以實現360°的維修範圍；另外，工具箱也可固定於機械臂上。
[0026]在其他實施例中，機械臂的前端還設有攝像頭，並與工具件抓手平行，以供操作人員實時觀察除塵空間的畫面，更直觀、有效地控制維修車，執行除塵作業。
[0027]第二實施例
[0028]本實施例的AMHS系統，其包括矩陣狀布設的機臺、多根縱向軌道和橫向軌道懸吊設置的軌道結構、設於軌道結構上行駛的至少一輛輸送車、總控制單元以及至少一輛上述第一實施例的維修車，該維修車設於軌道結構上行駛。
【權利要求】
1.一種用於AMHS系統的維修車，其包括車身、懸吊於軌道上的車輪和控制單元，其特徵在於:該維修車上還設有維修裝置，該維修裝置包括安裝在車身上並可伸縮的機械臂、安裝於機械臂前端的工具件抓手以及容納至少一個工具件的工具箱。
2.根據權利要求1所述的用於AMHS系統的維修車，其特徵在於:該機械臂由至少兩段直臂可摺疊式連接而成，且該機械臂可轉動式安裝於車身上。
3.根據權利要求1所述的用於AMHS系統的維修車，其特徵在於:該工具件抓手可轉動式安裝於機械臂前端。
4.根據權利要求1所述的用於AMHS系統的維修車，其特徵在於:該工具件抓手與工具箱內的工具件具有相互配合的連接部。
5.根據權利要求4所述的用於AMHS系統的維修車，其特徵在於:該連接部通過卡扣連接，且該連接部還具有防掉落保險裝置。
6.根據權利要求1所述的用於AMHS系統的維修車，其特徵在於:該維修車車身或維修裝置上還設有攝像頭。
7.根據權利要求6所述的用於AMHS系統的維修車，其特徵在於:該攝像頭設於機械臂前端。
8.根據權利要求1所述的用於AMHS系統的維修車，其特徵在於:該工具箱固定於車身上。
9.根據權利要求1所述的用於AMHS系統的維修車，其特徵在於:該工具箱具有向下的開口，以供工具件抓手取放工具件。
10.一種AMHS系統，其特徵在於:其包括多個機臺、軌道結構、至少一輛輸送車、總控制單元以及至少一輛根據權利要求1至9任一項所述的維修車。
【文檔編號】B65G49/07GK103723516SQ201310728357
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年12月25日 優先權日:2013年12月25日
【發明者】李小剛 申請人:上海集成電路研發中心有限公司