半導體製程設備的剛性連結構造的製作方法
2023-04-24 01:38:21 3
專利名稱：半導體製程設備的剛性連結構造的製作方法
技術領域：
本實用新型是改良傳統的半導體製程設備的剛性連結構造，將連結部分以一球節、一管件轉接組及一管件三大部分作組合構造，發揮其方便、安全、堅固及耐用的特性。
背景技術：
目前在各傳統搭建平臺方式中，均採用工字型鋼骨架構焊接方式，此構造比旱期鋼筋鐵條的架構較為理想。目前該工字型鋼骨架構優點在於以人工焊接方式焊合，改進早期用鋼筋鐵條採用鐵絲捆綁方式，內部構造較為紮實穩固，相對支撐搭建的面積也可增大。在施工方面配合現代化機具，可以減少人工操作的危險性，因此目前該工字型鋼骨架構配合灌漿一體成形，達到了現有的便利、安全及堅固的優點。
舉例而言，目前所普遍使用在住宅、辦公大樓、廠房、實驗室測試平臺及高料技的半導體製程設備平臺，大都以工字型鋼骨架構配合灌漿一體成形，甚至某些道路或橋梁也以此方式作為搭建的中心骨幹，由此得知此方式也是目前業界唯一最便利、最安全及最堅固的搭建方式。其主要缺陷在於在傳統所使用的工字型鋼骨架構的連結構造中，在搬運上必須由大型機具配合，又相互焊接時，無法在其它場所事先作業，提高了現場災害與危險性，焊接品質也很難掌控；再者，擴充與維修上，因連結構造限制，無法作局部擴充與維修工程，並未適當考慮作業品質與成本問題，因此實有必要設計出一種品質與成本兼顧的半導體製程設備的剛性連結構造。
發明內容
本實用新型的主要目的是提供一種半導體製程設備的剛性連結構造，包括搬運架設便利及焊接組裝安全堅固，達到便於改善作業品質與降低成本的目的。
本實用新型的目的是這樣實現的一種半導體製程設備的剛性連結構造，包括有至少一球節及多數個管件轉接組，其特徵是該球節的球節本體表面形成有多數個平面區域，每一個平面區域各設有一螺孔，每一個螺孔皆能螺合一管件轉接組。
該管件轉接組包括一套筒、一錐形端管及一螺栓，該套筒又包括有一套筒孔，該套筒的外端面對準接合於該錐形端管，該螺栓穿過該錐形端管及套筒，該螺栓的末端凸伸出該套筒的內端面，該套筒及錐形端管相結合為一體，該螺栓的末端螺合至該球節的球節本體的對應螺孔。該套筒更包括有一錨定螺栓孔，該螺栓更包括有一螺栓孔，該套筒的外端面對準接合於該錐形端管，該錨定螺栓穿過該套筒的錨定螺栓孔及螺栓的螺栓孔，該螺栓定位在該套筒與錐形端管中。該錐形端管的後段更套合一管件。該錐形端管與管件的套合處更以全周焊接方式予以焊定。該球節的球節本體是呈一圓形表面。
本實用新型的半導體製程設備的剛性連結構造，可由一般搬運機具作業，也可事先在安全場所組裝完成，再移至現場組裝，更可配合局部擴充與維修工程，相對的降低了工程成本。
本實用新型的半導體製程設備的剛性連結構造，為了解決傳統工字型鋼骨架構無法改變的技術問題，分別採用各組件組合的技術手段，以達到更便利、更安全及更堅固的實用功效。
本實用新型的半導體製程設備的剛性連結構造，是由一球節以四面八方幅射狀，取適用的角度與每一管件轉接組螺合，每一管件轉接組後段又可套合一管件，當每一管件前後端均與每一管件轉接組套合，每一管件轉接組再與每一球節螺合，此連結構造即構成本實用新型的半導體製程設備的剛性連結構造。該每一管件轉接組後段與每一管件套合後，再作CO2混合氣體半自動全周焊接組合，以達確保作業品質和安全堅固的實用功效。
通過以上各組件組合的方式，使本實用新型的半導體製程設備的剛性連結構造，達到搬運架設便利的實用功效。
下面結合較佳實施倒和附圖進一步說明。
圖1是本實用新型的立體分解示意圖；圖2是本實用新型的球節的放大立體示意圖。
圖3是本實用新型的球節的側視示意圖。
圖4是圖2的A-A的剖視示意圖。
圖5是本實用新型的多數支管件及管件轉接組結合在一球節的立體示意圖。
圖6是本實用新型的多數支管件及多數管件轉接組結合在多數個球節的立體示意圖。
圖7是本實用新型的倒梯形的立體示意圖。
具體實施方式
參閱圖1-圖4所示，本實用新型的較佳實施例中，球節本體11是形成一圓形的構造，當然該球節本體11亦可為其它所須的任意構造型態。
在球節本體11的圓形表面形成有多數個平面區域12，每一個平面區域12的圓心位置處形成有一螺孔13。該球節本體11的每一個平面區域12中的螺孔13皆可螺合一管件轉接組2。該球節本體11的平面區域12亦可視不同的應用作成其它的所須型態，例如，可將該平面區域12進一步形成凹部構造。
該管件轉接組2的構造包括一套筒21、一錨定螺栓22、一錐形端管23及一螺栓24，該套筒21又包括有一套筒孔211及一錨定螺栓孔212。該螺栓24又包括有一螺栓孔24。該套筒21的外端面在對準接合於該錐形端管23之後，可將螺栓24穿過錐形端管23及套筒21後，使螺栓24的末端凸伸出該套筒21的內端面一適當長度，然後再以錨定螺栓22穿過錨定螺栓孔212及螺栓24的螺栓孔241，以使套筒21、錨定螺栓22及錐形端管23相結合為一體。
當套筒21、錨定螺栓22及錐形端管23通過螺栓24及錨定螺栓22相結合之後，即可以螺栓24的螺栓孔241的末端螺合至球節1的球節本體11的對應螺孔13。該錐形端管23的後段又可套合一管件3，如圖4所示，顯示球節1、管件轉接組2以及套合管件3在結合後的剖視示意圖。
如圖5所示，是本實用新型的多數支管件3及管件轉接組2結合在一球節1時的立體示意圖，當錐形端管23套合於管件3之後，亦可以CO2混合氣體半自動全周焊接方式予以固定。
當本實用新型應用在半導體製程設備的剛性連結構造或其它應用領域時，即採用以上所揭示的構件組合，取代傳統所使用的工字型鋼骨架構連結或其它傳統構造，如圖6所示，是以本實用新型的多數支管件3及多數支管件轉接組2結合在多數個球節1時的立體示意圖。
如圖7所示，本實用新型是採用以上所揭示的構件組合而成，當然在外觀形狀上亦不拘限於上述的構造體，可依環境、功能及個人所好等因素，連結成如圖7所示的半導體製程設備的剛性連結構造的倒梯形立體圖，及其它可行的立體構造。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，凡熟知此項技術者，依據本實用新型而作其它的改良及變化，仍屬於本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1.一種半導體製程設備的剛性連結構造，包括有至少一球節及多數個管件轉接組，其特徵是該球節的球節本體表面形成有多數個平面區域，每一個平面區域各設有一螺孔，每一個螺孔皆能螺合一管件轉接組。
2.根據權利要求1所述的半導體製程設備的剛性連結構造，其特徵是該管件轉接組包括一套筒、一錐形端管及一螺栓，該套筒又包括有一套筒孔，該套筒的外端面對準接合於該錐形端管，該螺栓穿過該錐形端管及套筒，將該套筒及錐形端管相結合為一體，該螺栓的末端凸伸出該套筒的內端面螺合至該球節的球節本體的對應螺孔。
3.根據權利要求2所述的半導體製程設備的剛性連結構造，其特徵是該套筒更包括有一錨定螺栓孔，該螺栓更包括有一螺栓孔，該套筒的外端面對準接合於該錐形端管，該錨定螺栓穿過該套筒的錨定螺栓孔及螺栓的螺栓孔，該螺栓定位在該套筒與錐形端管中。
4.根據權利要求1所述的半導體製程設備的剛性連結構造，其特徵是該錐形端管的後段更套合一管件。
5.根據權利要求4所述的半導體製程設備的剛性連結構造，其特徵是該錐形端管與管件的套合處更以全周焊接方式予以焊定。
6.根據權利要求4所述的半導體製程設備的剛性連結構造，其特徵是該球節的球節本體是呈一圓形表面。
專利摘要一種半導體製程設備的剛性連結構造，包括有一球節的本體的表面形成有多數個平面區域及螺孔，每一個螺孔皆可螺合一管件轉接組，而每一個管件轉接組包括一套筒、一錨定螺栓、一錐形端管及一螺栓，套筒又包括有一套筒孔及一錨定螺栓孔，螺栓又包括有一螺栓孔。套筒的外端面在對準接合於錐形端管之後，將螺栓穿過錐形端管及套筒，使螺栓的末端凸伸出套筒的內端面一適當長度，再以錨定螺栓穿過錨定螺栓孔及螺栓的螺栓孔，使套筒、錨定螺栓及錐形端管相結合為一體，錐形端管的後段又可套合一管件，該構造所架構成的框架構造平臺具有安全、堅固及耐用的優點。
文檔編號F16S3/04GK2624033SQ0324552
公開日2004年7月7日 申請日期2003年4月18日 優先權日2003年4月18日
發明者蔡宏毅 申請人:臺灣奈米科技應用股份有限公司