新型焊臂結構的製作方法
2023-05-05 08:04:51 1
新型焊臂結構的製作方法
【專利摘要】本實用新型適用於半導體固晶【技術領域】。本實用新型公開一種新型焊臂結構，與焊臂連接座固定的焊臂支座，在該焊臂支座的端部設有滑塊和使滑塊上下滑動的氣缸，該滑塊設有槓桿臂和晶圓吸嘴，設有收納空腔的託臂與焊臂支座連接，該收納空腔內設有與控制模塊連接的壓力傳感器，在該託臂與槓桿臂之間設有復位彈簧。工作時，由所述壓力傳感器適時將槓桿臂與託臂之間的壓力反饋給控制模塊，並控制氣缸控制晶圓吸嘴的位置。由於該託臂與焊臂支架固定，槓桿臂與晶圓吸嘴都固定在滑塊上同步移動，可以避免在壓力較大時鍵合損壞晶圓，提高焊臂與晶圓夾持的穩定性和可靠性。
【專利說明】新型焊臂結構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體固晶【技術領域】，特別涉及一種固晶機用新型焊臂結構。
【背景技術】
[0002]半導體固晶裝置在進行作時需要將固晶用的物料通過上料裝置輸送至相應位置後，由機械手將晶體，如LED晶圓移動到基板對應位置進行固定。
[0003]現有的半導體固晶裝置焊臂將晶圓與基板之間鍵合時無法精確地控制鍵合壓力，造成部分晶圓損壞，因而鍵合的穩定性和可靠性不高。
實用新型內容
[0004]本實用新型主要解決的技術問題是提供一種新型焊臂結構，該新型焊臂結構可以避免鍵合時壓壞晶圓，提高晶圓鍵合的穩定性和可靠性。
[0005]為了解決上述問題，本實用新型提供一種新型焊臂結構，該新型焊臂結構包括與焊臂連接座固定的焊臂支座，在該焊臂支座的端部設有滑塊和使滑塊上下滑動的氣缸，該滑塊設有槓桿臂和晶圓吸嘴，設有收納空腔的託臂與焊臂支座連接，該收納空腔內設有與控制模塊連接的壓力傳感器，在該託臂與槓桿臂之間設有復位彈簧。
[0006]進一步地說，所述槓桿臂上設有銷釘，所述復位彈簧套設於該銷釘之上。
[0007]進一步地說，所述槓桿臂上還設有接觸螺釘，該接觸螺釘一端與壓力傳感器配合。
[0008]本實用新型焊臂結構，包括與焊臂連接座固定的焊臂支座，在該焊臂支座的端部設有滑塊和使滑塊上下滑動的氣缸，該滑塊設有槓桿臂和晶圓吸嘴，設有收納空腔的託臂與焊臂支座連接，該收納空腔內設有與控制模塊連接的壓力傳感器，在該託臂與槓桿臂之間設有復位彈簧。工作時，由所述壓力傳感器適時將槓桿臂與託臂之間的壓力反饋給控制模塊，並控制氣缸控制晶圓吸嘴的位置。由於該託臂與焊臂支架固定，槓桿臂與晶圓吸嘴都固定在滑塊上同步移動，可以避免在壓力較大時鍵合損壞晶圓，提高焊臂與晶圓夾持的穩定性和可靠性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，而描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來說，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他附圖。
[0010]圖1是本實用新型焊臂結構實施例結構示意圖。
[0011]圖2是本發明焊臂結構分解結構示意圖。
[0012]下面結合實施例，並參照附圖，對本實用新型目的的實現、功能特點及優點作進一步說明。【具體實施方式】
[0013]為了使實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。
[0014]如圖1和圖2所示，本實用新型提供一種新型焊臂結構實施例。
[0015]該新型焊臂結構包括:與焊臂連接座固定的焊臂支座31，在該焊臂支座31的端部設有滑塊30和使滑塊30上下滑動的氣缸33，該滑塊30設有槓桿臂34和晶圓吸嘴32，設有收納空腔371的託臂37與焊臂支座31連接，該收納空腔371內設有與控制模塊連接的壓力傳感器36，在該託臂37與槓桿臂34之間設有復位彈簧38。
[0016]具體地說，所述槓桿臂34上設有銷釘，所述復位彈簧38套設於該銷釘之上，便於對復位彈簧38固定和限位。所述槓桿臂34上還設有接觸螺釘35，該接觸螺釘35 —端與壓力傳感器36配合，調節壓力傳感器36的輸出的壓力數據。
[0017]工作時，由所述壓力傳感器36適時將槓桿臂34與託臂37之間的壓力反饋給控制模塊，並通過氣缸33控制晶圓吸嘴32的位置。由於該託臂37與焊臂支架31固定，槓桿臂34與晶圓吸嘴32都固定在滑塊30上同步移動，可以避免在壓力較大時鍵合損壞晶圓，提高焊臂與晶圓夾持的穩定性和可靠性。
[0018]以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案，而非對其限制；儘管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特徵進行等同替換，而這些修改或替換，並不使相應技術方案的本質脫離本實用新型各實施例技術方案的精神和範圍。
【權利要求】
1.新型焊臂結構，包括與焊臂連接座固定的焊臂支座，其特徵在於: 在該焊臂支座的端部設有滑塊和使滑塊上下滑動的氣缸，該滑塊設有槓桿臂和晶圓吸嘴，設有收納空腔的託臂與焊臂支座連接，該收納空腔內設有與控制模塊連接的壓力傳感器，在該託臂與槓桿臂之間設有復位彈簧。
2.根據權利要求1所述的新型焊臂結構，其特徵在於: 所述槓桿臂上設有銷釘，所述復位彈簧套設於該銷釘之上。
3.根據權利要求1所述的新型焊臂結構，其特徵在於: 所述槓桿臂上還設有接觸螺釘，該接觸螺釘一端與壓力傳感器配合。
【文檔編號】H01L21/683GK203536388SQ201320683017
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年10月25日 優先權日:2013年10月25日
【發明者】區大公 申請人:深圳市恆睿智達科技有限公司