狹縫噴嘴的製作方法
2023-04-30 04:12:36 1
專利名稱：狹縫噴嘴的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種以規定的寬度在玻璃基板或半導體晶片等被處理物的表面塗敷光致抗蝕劑液或形成濾色片的塗敷液的狹縫噴嘴。
背景技術：
如專利文獻1所示，狹縫噴嘴一般通過接合左右的半體而構成。具體來講，如圖5所示，在左右的半體101、102上在寬度方向形成有通孔103，通過在該通孔103中穿插並緊固螺栓104來組裝狹縫噴嘴。在此狀態下，在左右的半體101、102之間，形成有塗敷液的儲存部105和狹縫狀排出部106。
此外，在專利文獻2和專利文獻3中也公開了相同結構的狹縫噴嘴。其結構也均為通過用螺栓緊固左右的半體來組裝狹縫噴嘴。
專利文獻1JP特開平11-274071號公報專利文獻2JP特開平11-57533號公報專利文獻3JP特開2000-33312號公報但是，對於上述結構的狹縫噴嘴而言，在用螺栓緊固左右的半體時，由於從螺栓向靠近螺栓的部分，即螺栓穿插用通孔周邊直接傳遞應力，所以與其它部分相比，通孔周邊被更牢地緊固，從而狹縫狀排出口的寬度在局部有所不同，出現塗敷分布不均的問題。
發明內容
鑑於上述問題，本發明提供一種可降低由螺栓直接傳遞來的應力所導致的對塗敷分布的影響的狹縫噴嘴。
本發明的狹縫噴嘴是以規定寬度在被處理物表面塗敷塗敷液的噴嘴，其構成為在左右的半體上在寬度方向形成有螺栓穿插用通孔，此外，在左右的半體中的至少一個半體的對接面上，在長度方向連續地形成了其上形成螺栓穿插用通孔的開口的溝槽。
根據本發明的狹縫噴嘴，由於在左右的半體上在寬度方向形成有螺栓穿插用通孔，並在左右的半體中的至少一個半體的對接面上，在長度方向連續地形成了其上形成螺栓穿插用通孔的開口的溝槽，所以在緊固螺栓時，應力均勻分散而不會集中在通孔周邊，因此，狹縫狀排出口的寬度不會在局部有所不同，塗敷分布均勻。
此外，由螺栓緊固的部位為上下兩段時，其上形成各段的螺栓穿插用通孔的開口的溝槽也形成為上下兩段。並且，上下各段分別設置多個螺栓穿插用通孔，且這些多個螺栓穿插用通孔在一條溝槽上形成開口。
根據本發明的狹縫噴嘴，可分散螺栓直接傳遞來的應力，降低對塗敷分布的影響。
因而，可實現一種針對塗敷的具有高可靠性和高精度的狹縫噴嘴。
圖1是表示本發明的狹縫噴嘴的一個實施方式的側視剖視圖。
圖2是圖1的A-A方向的向視圖。
圖3中的(a)～(c)是表示其它實施方式的與圖1相同的圖。
圖4是表示以膜厚為基準來判斷以往實施例與本發明在效果上的差異的結果的曲線圖。
圖5是以往的狹縫噴嘴的側視剖視圖。
附圖符號說明1、2構成狹縫噴嘴的左右的半體，11、12、21、22通孔，13凹部，14狹縫狀排出口，15平坦面，16、17、18、40、41、42溝槽，31螺栓具體實施方式
以下基於附圖對本發明的實施方式進行說明。
圖1是表示本發明的狹縫噴嘴的一個實施方式的側視剖視圖，圖2是圖1的A-A方向的向視圖。
本實施方式的狹縫噴嘴由左右的半體1、2構成。
在寬度方向形成有通孔11、12、21、22，使得在左右的半體1、2上分別形成上下兩段。這些通孔11、12、21、22在上下的各段，在長度方向空開間隔地形成有多個，且對應的通孔11和通孔21，以及通孔12和通孔22的軸線是一致的。並且，在各段的通孔11和通孔21、通孔12和通孔22中穿插並緊固有共同的螺栓31……，由此構成狹縫噴嘴。
此外，在半體1和半體2的相對面(抵接面)上，形成有成為塗敷液的儲存部的凹部13、以及在與右側的半體2之間形成狹縫狀排出口14的平坦面15。
並且，在本實施方式中，特別是如圖2所示，在半體1與半體2的相對面上，在半體1的對接面上在長度方向連續地形成有其上形成螺栓穿插用的通孔11、12的開口的溝槽16、17。
具體而言，在上段的溝槽16上形成有上段的通孔11的開口，在下段的溝槽17上形成有下段的通孔12的開口。
這樣，不會使穿插螺栓31的通孔11、12的端部直接接觸到對面的半體2的相對面，通過在沿長度方向延伸的溝槽16、17上形成開口，由螺栓所導致的緊固力不會集中在通孔11、12的開口周緣，而是均勻地分散於噴嘴的長度方向。其結果，狹縫狀排出口14的寬度也變得均勻。
下面，採用圖3(a)～(c)所示的剖視圖對本發明的狹縫噴嘴的其它實施方式進行說明。
圖3(a)所示的實施方式，是將形成通孔11、12的端部開口的溝槽18設為一條的情況，即，不像圖1和圖2所示的實施方式那樣，針對兩根螺栓31分別形成溝槽16、17，而是針對兩根螺栓31形成一條溝槽18的情況。
圖3(b)所示的另一其它實施方式，為在半體2上形成與溝槽16、17相對的溝槽40、41，在這些溝槽40、41上形成通孔21、22的開口的情況。
即、不像圖1和圖2所示的實施方式那樣，僅在一個半體1上形成溝槽16、17，而是在兩個半體1、2上形成溝槽16、17、40、41的情況。
在圖3(c)所示的又一其它實施方式中，在半體2上形成有與半體1的溝槽18相對的溝槽42，在溝槽18上形成有通孔11、12的端部開口，在溝槽42上形成有通孔21、22的端部開口。
即，不像圖3(a)所示的實施方式那樣，在一個半體1上針對兩根螺栓31形成一條溝槽18，而是在兩個半體1、2上針對兩根螺栓31各形成一條溝槽的情況。
即使是在圖3(a)～(c)所示的各實施方式中，在用螺栓31緊固左右的半體1、2時，也不會使應力集中在通孔11、12、21、22的開口部周緣，而能以均勻的力來緊固。
圖4是表示以膜厚為基準判斷以往實施例與本發明在效果上的差異的結果的曲線圖。
從該曲線圖可知，通過採用本發明的狹縫噴嘴，可使塗膜的厚度變得比以往更均勻。
另外，在上述的各實施方式中，舉例說明了在一個半體1或兩個半體1、2上形成圖2所示的連續溝槽的情況。然而，根據情況，也可以在各螺栓位置形成溝槽，而不是形成連續的溝槽。但是，連續溝槽便於加工。
此外，在上述的各實施方式中，舉例說明了螺栓31為上下兩段的情況。然而，螺栓31的段數不限於此，可考慮各種方式。
此外，本發明不限於上述的實施方式，在不脫離本發明的宗旨的範圍內，可採用其它各種結構。
權利要求
1.一種狹縫噴嘴，以規定寬度在被處理物表面塗敷塗敷液，該狹縫噴嘴的特徵在於，上述狹縫噴嘴在左右的半體上，在寬度方向形成有螺栓穿插用通孔，在上述左右的半體中的至少一個半體的對接面上，在長度方向連續地形成有其上形成上述螺栓穿插用通孔的開口的溝槽。
2.如權利要求1所述的狹縫噴嘴，其特徵在於，上述螺栓穿插用通孔形成為上下兩段，其上形成各段的螺栓穿插用通孔的開口的溝槽，也形成為上下兩段。
全文摘要
本發明提供一種排出口的寬度在長度方向均勻的狹縫噴嘴。該狹縫噴嘴可降低由螺栓直接傳遞來的應力所導致的對塗敷分布的影響。在沿長度方向延伸的溝槽(16、17)上形成穿插螺栓(31)的通孔(11、12)的端部開口，而不是使之與對面的半體(2)的相對面直接接觸，由此，螺栓(31)的緊固力不會集中在通孔(11、12)的開口周緣，而是在噴嘴的長度方向均勻地分散。其結果，狹縫狀排出口(14)的寬度也變得均勻。
文檔編號H01L21/02GK1954924SQ20061014998
公開日2007年5月2日 申請日期2006年10月25日 優先權日2005年10月27日
發明者高瀨真治, 升芳明 申請人:東京應化工業株式會社