用於旋轉靶的配電裝置的製作方法

2023-04-27 19:13:26

專利名稱：用於旋轉靶的配電裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種配電裝置，尤其涉及一種用於旋轉靶的配電裝置。
背景技術：
目前生產鍍膜玻璃的設備中大多採用平面濺射陰極靶材，其工作原理是將需鍍膜的玻璃送入真空鍍膜室內，真空鍍膜室內通入一定量的高純工藝氣體一如氧氣、氮氣或氬氣，在電磁場及游離電子的作用下工藝氣體形成帶正電的等離子體，等離子體在載有高負電壓的陰極的吸引下，在磁場的控制下，按照一定的軌跡和力度轟擊固定安裝在真空鍍膜室內的平面陰極靶材上的鍍膜用材料，鍍膜材料被氣體分子碰撞出來，按照一定方向沉積在玻璃上形成一定厚度的膜層。但是，現有的配電裝置採用了一體式的構造無法進行分離，由此導致了後續維護困難，提升了製造與維護成本。

發明內容
本發明的目的在於克服現有技術存在的以上問題，提供一種用於旋轉靶的配電裝置。為實現本發明的目的用於旋轉靶的配電裝置，包括有導電桿頭，其中所述的導電桿頭頂端設置有容納槽，所述的容納槽內設置有電極碳刷組件。進一步地，上述的用於旋轉靶的配電裝置，其中，所述的電極碳刷組件包括有電極環，所述的電極環外圓周上分布有石墨片。採用本發明技術方案，實現了分離式的構造，便於後續的維護與替換。同時，能夠有效適應旋轉式驅動為主的鍍膜裝置使用需求，能夠順暢旋轉。本發明的目的、優點和特點，將通過下面優先實施例的非限制性說明進行圖示和解釋，這些實施例是參照附圖僅作為例子給出的。


圖1是導電桿頭的構造示意圖； 圖2是電極環的構造示意圖3是旋轉靶的配電裝置的構造示意圖。
具體實施例方式如圖1 3所示的用於旋轉靶的配電裝置，包括有導電桿頭1，其特別之處在於 本發明所採用的導電桿頭1頂端設置有容納槽2。同時，在容納槽2內設置有電極碳刷組件。結合本發明一較佳的實施方式來看，為了便於實現旋轉靶後續的順暢運轉，同時也為了滿足配電過程中的電流穩定，在電極碳刷組件包括有電極環3，所述的電極環3外圓周上分布有石墨片4。進一步來看，通過多次對比試驗後發現石墨片4之間等距離分布後能夠將整體的配電效果維持在較為優化的狀態，有利於鍍膜中靶材組件的運作。通過上述的文字表述並結合附圖可以看出，採用本發明後，實現了分離式的構造， 便於後續的維護與替換。同時，能夠有效適應旋轉式驅動為主的鍍膜裝置使用需求，能夠順暢旋轉。當然，以上僅是本發明的具體應用範例，對本發明的保護範圍不構成任何限制。除上述實施例外，本發明還可以有其它實施方式。凡採用等同替換或等效變換形成的技術方案，均落在本發明所要求保護的範圍之內。
權利要求
1.用於旋轉靶的配電裝置，包括有導電桿頭，其特徵在於所述的導電桿頭頂端設置有容納槽，所述的容納槽內設置有電極碳刷組件。
2.根據權利要求1所述的用於旋轉靶的配電裝置，其特徵在於所述的電極碳刷組件包括有電極環，所述的電極環外圓周上分布有石墨片。
全文摘要
本發明涉及一種用於旋轉靶的配電裝置，包括有導電桿頭，特點是導電桿頭頂端設置有容納槽，容納槽內設置有電極碳刷組件。由此，實現了分離式的構造，便於後續的維護與替換。同時，能夠有效適應旋轉式驅動為主的鍍膜裝置使用需求，能夠順暢旋轉。
文檔編號C23C14/34GK102251223SQ20111017714
公開日2011年11月23日 申請日期2011年6月28日 優先權日2011年6月28日
發明者黃峰 申請人:黃峰