丙烯酸系聚合物和放射線敏感性樹脂組合物的製作方法

2023-05-10 01:45:41

>透過率(％)感光度(J/m2)析象清晰度(nm)線邊緣粗糙度PEB溫度依賴性(nm/℃)實施例106547590良好1.8116246090良好1.9126344090良好1.4136242590良好1.5146345090良好2.1156143090良好4.8166343590良好1.6176144090良好1.8186445090良好3.5比較例269522100不良7.4如表3所示，各實施例可製得線邊緣粗糙度(LER)特性好，並且PEB溫度依賴性也好的放射線敏感性樹脂組合物。本發明的放射線敏感性樹脂組合物，由於線邊緣粗糙度(LER)特性與PEB溫度依賴性好，故由該樹脂組合物作為預想再進行微細化的半導體設備製造用的化學放大型抗蝕劑極為有用。權利要求1.丙烯酸系聚合物，其含有式(1)所示的重複單元(i)、式(2)所示的重複單元(ii)、及含有選自式(3)所示重複單元和式(4)所示重複單元的至少一個重複單元(iii)的含有酸解離性基團的單元，式(1)～式(4)中，R、R′、R″與R分別表示氫原子、甲基或三氟甲基，式(1)中，R1表示氫原子、C1-4的直鏈狀或支鏈狀的烷基、C1-4的直鏈狀或支鏈狀的烷氧基、或C1-4的直鏈狀或支鏈狀的氟代烷基，式(2)中，X表示C7-20的由碳原子與氫原子構成的多環型脂環式烴基，式(3)中，R2與R3相互獨立地表示C1-4的直鏈狀或支鏈狀的烷基，R4表示C4-20的脂環式烴基，式(4)中，R5表示C1-4的直鏈狀或支鏈狀的烷基，R6與R7分別表示氫原子、或C1-4的直鏈狀或支鏈狀的烷基，n表示3～7的整數。2.權利要求1所述的丙烯酸系聚合物，其特徵在於所述重複單元(iii)是所述式(4)。3.權利要求2所述的丙烯酸系聚合物，其特徵在於所述式(4)中，R5是甲基或乙基，R6與R7是氫原子，n是4或5。4.權利要求1所述的丙烯酸系聚合物，其特徵在於在所述式(1)表示的重複單元(i)中，R是氫原子或甲基，R1是氫原子。5.權利要求1所述的丙烯酸系聚合物，其特徵在於在所述式(2)表示的重複單元(ii)中，C7-20的由碳原子與氫原子構成的多環型脂環式烴基是來自雙環[2.2.1]庚烷、雙環[2.2.2]辛烷、三環[5.2.1.02，6]癸烷、四環[6.2.1.13，6.02，7]十二烷、三環[3.3.1.13，7]癸烷的烴基。6.權利要求1所述的丙烯酸系聚合物，其特徵在於相對於全部重複單元，所述重複單元(i)是20～70摩爾％，所述重複單元(ii)是1～20摩爾％，含有所述重複單元(iii)的含有酸解離性基團的單元是20～60摩爾％。7.放射線敏感性樹脂組合物，其中含有權利要求1所述的丙烯酸系聚合物和放射線敏感性酸發生劑。8.放射線敏感性樹脂組合物，其中含有權利要求2所述的丙烯酸系聚合物和放射線敏感性酸發生劑。全文摘要本發明的目的在於提供對抗蝕劑溶劑的溶解性好，烘烤溫度依賴性小，並且降低顯像後的圖案的線邊緣粗糙度的抗蝕劑。丙烯酸系聚合物，其特徵在於含有式(1)、式(2)、及式(3)和/或式(4)。其中，R、R′、R″與R″′表示氫原子、甲基或三氟甲基，R文檔編號H01L21/30GK1842551SQ200480024689公開日2006年10月4日申請日期2004年8月4日優先權日2003年8月5日發明者藤原考一,山口宙志,中村敦申請人:Jsr株式會社