一種陶瓷基板真空移載裝置的製作方法
2023-05-10 11:52:32 1
本實用新型涉及陶瓷基板運輸設備領域，具體涉及一種陶瓷基板真空移載裝置。
背景技術：
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由於陶瓷基板具有優良的導熱性和氣密性，能夠滿足電子整機對電路的諸多要求，所以在近幾年獲得了廣泛的應用，例如陶瓷基板已被廣泛應用於功率電子、電子封裝、混合微電子與多晶片模塊等領域。
依據陶瓷基板所使用的燒成溫度的不同，其製程可分為低溫共燒多層陶瓷(LTCC)基板和高溫共燒多層陶瓷(HTCC)基板兩種。低溫共燒多層陶瓷基板的製造原理基本上是先將無機的氧化鋁粉與約 30％～50％的玻璃材料加上有機黏結劑，使其混合均勻成為泥狀的漿料，接著利用刮刀把漿料刮成片狀，再經由一道乾燥過程將片狀漿料形成一片片薄薄的生胚，然後依各層的設計鑽導通孔，作為各層訊號的傳遞，LTCC內部線路則運用網版印刷技術，分別於生胚上做填孔及印製線路，內外電極則可分別使用銀、銅、金等金屬，最後將各層做疊層動作並予以壓合，放置於小於850～900℃的燒結爐中燒結成型，即可完成。高溫共燒多層陶瓷基板的生產製造過程與低溫共燒多層陶瓷基板極為相似，主要的差異點在於高溫共燒多層陶瓷基板的陶瓷粉末並無加入玻璃材質，因此，高溫共燒多層陶瓷基板必須在高溫1300～1600℃環境下乾燥硬化成生胚，接著同樣鑽上導通孔，以網版印刷技術填孔與印製線路，因其共燒溫度較高，使得金屬導體材料的選擇受限，其主要的材料為熔點較高但導電性卻較差的鎢、鉬、錳等金屬，最後再疊層燒結成型。
可見無論是LTCC，還是HTCC，二者的製造技術基本相似，均需要將形成切割線的積層陶瓷基板生胚薄片進行燒結。在實際生產中，陶瓷基板的薄片結構在移載過程中十分易碎，傳統的搬運機械已不適宜陶瓷基板的移載。
技術實現要素：
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本實用新型的目的就是針對現有技術的不足，提供一種陶瓷基板真空移載裝置。
本實用新型的技術解決措施如下：
一種陶瓷基板真空移載裝置，包括底座，底座內設置有控制箱，底座上部焊接有安裝座，安裝座上鉸接有擺動臂，擺動臂上部固定連接有轉動圓盤，轉動圓盤上端轉動連接有移載臂總成，移載臂總成前端設置有安裝孔，安裝孔上側和下側分別連接有第一移載臂和第二移載臂，第一移載臂具有第一驅動機構，第二移載臂具有第二驅動機構，第一移載臂前端轉動連接有第一承載支架，第一承載支架上設置有真空吸盤，第二移載臂前端轉動連接有第二承載支架，第一承載支架上也設置有真空吸盤；真空吸盤包括主體部、連接部以及吸盤部,主體部與連接部通過緊固螺釘固定連接，吸盤部緊密套設在連接部上，主體部外部還連接有真空管路；主體部為中空結構，其內部設置有固定件，固定件下部具有託舉件，固定件包括球頭和設置在球頭上部的管狀部，球頭和管狀部均設置有通路，管狀部穿出主體部與真空管路通過卡箍密閉連接，球頭內部的通路向外延伸並與穿過連接部的真空吸管連接，真空吸管的末端位於吸盤部內，吸盤部的內表面為波浪狀，吸盤部的外部為喇叭狀；吸盤部的邊緣還設置有除靜電網。
第一驅動機構和第二驅動機構與控制箱電連接；第一驅動機構為旋轉液壓馬達，第二驅動機構為變頻電機。
底座為箱式底座，其內部還設置有為真空吸盤提供負壓的真空泵，真空泵與控制箱電連接。
第一承載支架和第二承載支架結構相同，均為叉子結構，包括兩個叉腿以及連接叉腿的橫梁部，叉腿上設置有均勻分布的真空吸盤2。
第一承載支架和第二承載支架上還設置有噴氣組件，噴氣組件能夠實現陶瓷基板的懸浮移載，噴氣組件與供氣泵連接，供氣泵也設置在底座內。
第一移載臂和第二移載臂均為空心結構，兩者結構相同，均包括固定套筒和空心伸縮杆，固定套筒內部伸縮設置有空心伸縮杆。
本實用新型的有益效果在於：陶瓷基板真空移載裝置設置有兩個單獨驅動的移載臂，兩個移載臂工作過程互不影響，在移載過程中，移載架能夠同時進行真空吸附移載，也能夠進行懸浮移載，提高了裝置的適應性。
附圖說明：
圖1為本實用新型的結構示意圖；
圖2本實用新型的側視圖；
圖3為真空吸盤的結構示意圖。
具體實施方式：
為了使本實用新型的上述目的、特徵和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式做出詳細的說明。
如圖1-3所示，陶瓷基板真空移載裝置包括底座11，底座11內設置有控制箱，底座上部焊接有安裝座12，安裝座12上鉸接有擺動臂13，擺動臂13上部固定連接有轉動圓盤，轉動圓盤上端轉動連接有移載臂總成14，移載臂總成14前端設置有安裝孔，安裝孔上側和下側分別連接有第一移載臂15和第二移載臂16，第一移載臂15具有第一驅動機構，第二移載臂16具有第二驅動機構，第一移載臂15 前端轉動連接有第一承載支架17，第一承載支架17上設置有真空吸盤2，第二移載臂16前端轉動連接有第二承載支架18，第一承載支架17上也設置有真空吸盤；真空吸盤2包括主體部23、連接部26 以及吸盤部27,主體部23與連接部26通過緊固螺釘29固定連接，吸盤部27緊密套設在連接部26上，主體部23外部還連接有真空管路21；主體部23為中空結構，其內部設置有固定件24，固定件24 下部具有託舉件25，固定件24包括球頭和設置在球頭上部的管狀部，球頭和管狀部均設置有通路，管狀部穿出主體部23與真空管路21通過卡箍22密閉連接，球頭內部的通路向外延伸並與穿過連接部26的真空吸管20連接，真空吸管20的末端位於吸盤部27內，吸盤部27 的內表面為波浪狀，吸盤部27的外部為喇叭狀；吸盤部27的邊緣還設置有除靜電網28。
第一驅動機構和第二驅動機構與控制箱電連接；第一驅動機構為旋轉液壓馬達，第二驅動機構為變頻電機。
底座11為箱式底座，其內部還設置有為真空吸盤2提供負壓的真空泵，真空泵與控制箱電連接。
第一承載支架17和第二承載支架18結構相同，均為叉子結構，包括兩個叉腿以及連接叉腿的橫梁部，叉腿上設置有均勻分布的真空吸盤2。
第一承載支架17和第二承載支架18上還設置有噴氣組件，噴氣組件能夠實現陶瓷基板的懸浮移載，噴氣組件與供氣泵連接，供氣泵也設置在底座11內。
第一移載臂15和第二移載臂16均為空心結構，兩者結構相同，均包括固定套筒和空心伸縮杆，固定套筒內部伸縮設置有空心伸縮杆。
所述實施例用以例示性說明本實用新型，而非用於限制本實用新型。任何本領域技術人員均可在不違背本實用新型的精神及範疇下，對所述實施例進行修改，因此本實用新型的權利保護範圍，應如本實用新型的權利要求所列。