一種具有高穩定性的矽電容結構的製作方法

2023-05-09 22:10:41 1

本實用新型涉及一種矽電容結構，具體為一種具有高穩定性的矽電容結構，屬於電子應用技術領域。

背景技術：

在現今的電擦除可編程只讀存儲器工藝中，矽電容已經廣泛應用作為集成電路的電容器元件使用，矽電容的基本構造為玻璃-矽-玻璃的差容結構，矽敏感晶片作為可移動極板玻璃作為固定極板，在使用過程中靈敏度高、工藝簡單而被人們不短的研究；且矽電容可封裝在專用基座中，適用於中、微壓力的高精度測量，可用於目前通用壓力傳感器的升級產品；但是這種電容仍然有他的缺陷，矽電容的輸出阻抗難以降低，傳感器和測量電路的絕緣要求很難達到，矽晶片與玻璃之間的封接技術不行，以致於矽晶片容易被電擊穿，極板間容易粘連，封接失敗，其精度和長期穩定性能弱，使用壽命短，加工工藝難。因此，針對上述問題提出一種具有高穩定性的矽電容結構。

技術實現要素：

本實用新型的目的就在於為了解決上述問題而提供一種具有高穩定性的矽電容結構。

本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的，一種具有高穩定性的矽電容結構，包括集成電路以及連接在所述集成電路一側的壓塊，所述壓塊底端設有玻璃一；所述玻璃一底端設有矽晶片，且所述矽晶片底端設有封接面；所述矽晶片中間連接矽膜片，所述封接面連接玻璃二，且所述玻璃二一側設有密封面；所述玻璃二底端連接導壓管，且所述導壓管在加熱塊的中心面；所述加熱塊一側設有引腳。

優選的，所述玻璃一和所述玻璃二均設有兩塊，且兩塊玻璃一和所述玻璃二形成對稱結構。

優選的，所述矽晶片與所述矽膜片連接形成島膜結構，且所述矽晶片的厚度比所述矽膜片的厚度厚。

優選的，所述集成電路連接所述壓塊和所述加熱塊。

優選的，所述矽晶片與所述玻璃二、所述玻璃一之間通過所述封接面連接。

本實用新型的有益效果是：該種具有高穩定性的矽電容結構採用玻璃一和玻璃二均設有兩塊，且兩塊玻璃一和玻璃二形成對稱結構，起到固定密封及電極導出的作用和提高整體的穩定性；矽晶片與矽膜片連接形成島膜結構，且矽晶片的厚度比矽膜片的厚度厚，提高了矽電容的靈敏度、降低它的輸出阻抗和減輕對電路和傳感器絕緣的要求；集成電路連接壓塊和加熱塊，且矽晶片與玻璃二、玻璃一之間通過封接面連接，在集成電路的作用下，玻璃和矽交界面形成較大靜電場，封接面就是玻璃和矽的硬封連接面，使其具有良好的氣密性和長期穩定性。

附圖說明

圖1為本實用新型整體結構示意圖。

圖中：1、矽膜片，2、集成電路，3、密封面，4、加熱塊，5、導壓管，6、壓塊，7、玻璃一，8、矽晶片，9、封接面，10、玻璃二，11、引腳。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。

請參閱圖1所示，一種具有高穩定性的矽電容結構，包括集成電路2以及連接在所述集成電路2一側的壓塊6，所述壓塊6底端設有玻璃一7；所述 玻璃一7底端設有矽晶片8，且所述矽晶片8底端設有封接面9；所述矽晶片8中間連接矽膜片1，所述封接面9連接玻璃二10，且所述玻璃二10一側設有密封面3；所述玻璃二10底端連接導壓管5，且所述導壓管5在加熱塊4的中心面；所述加熱塊4一側設有引腳11。

作為本實用新型的一種優化技術方案：所述玻璃一7和所述玻璃二10均設有兩塊，且兩塊玻璃一7和所述玻璃二10形成對稱結構，起到固定密封及電極導出的作用和提高整體的穩定性。

作為本實用新型的一種優化技術方案：所述矽晶片8與所述矽膜片1連接形成島膜結構，且所述矽晶片8的厚度比所述矽膜片1的厚度厚，提高了矽電容的靈敏度、降低它的輸出阻抗和減輕對電路和傳感器絕緣的要求。

作為本實用新型的一種優化技術方案：所述集成電路2連接所述壓塊6和所述加熱塊4。

作為本實用新型的一種優化技術方案：所述矽晶片8與所述玻璃二10、所述玻璃一7之間通過所述封接面9連接，使其具有良好的氣密性和長期穩定性。

本實用新型在使用時，玻璃-矽-玻璃形成對稱的差容結構，矽晶片8作為電容的可對極板，玻璃一7和玻璃二10作為電容的可動極板，起到固支密封及電極導出的作用；矽晶片8連接的矽膜片1形成島膜結構，提高了電容的靈敏度；玻璃二10和矽晶片8在集成電路2通電情況下，玻璃二10接負極，矽晶片8接正極，並通過加熱塊4對玻璃和矽晶片8加熱，在一定的溫度下矽晶片8的電導率下降，具有導電性，在高電場作用下玻璃和矽晶片8形成靜電場，在封接面9的作用下是的玻璃和矽晶片8精密接觸，引腳11可將形成的電信號引出，降低加工工藝難度。

對於本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限於上述示範性實施例的細節，而且在不背離本實用新型的精神或基本特徵的情況下，能夠以其他的 具體形式實現本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示範性的，而且是非限制性的，本實用新型的範圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和範圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。

此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但並非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。