氦質譜檢漏儀的進樣系統的製作方法

2023-05-02 16:50:46 1

專利名稱：氦質譜檢漏儀的進樣系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及氣體流體領域，主要涉及一種氦質譜檢漏儀的進樣方式。
技術背景目前氦質譜檢漏儀的進樣方式採用的是逆擴散原理。其中檢漏儀包含機械泵1、旁路預抽閥2、分子泵前級閥3、分子泵4、進樣閥5、質譜檢測器6、檢漏 口 7和旁路系統8。因為氦原子質量比空氣的氮、氧分子質量小很多(氦原子量 4、氧分子量32、氮分子量28)，氦原子的擴散速度更快，更大比例的氦原子可 以從分子泵的下部逆擴散進入質譜MS檢測系統。國內外常規的連接方法是在 檢漏過程中，先關閉分子泵的前級閥3和進樣閥5，然後開旁路預抽閥2，當旁 路真空度達到檢測範圍以後，關旁路預抽閥2，開前級閥3和進樣閥5，氣體從 進樣閥進入分子泵4，由於氦原子的擴散速度快，可以從下面逆擴散進入質譜檢 測器6。發明內容本發明提出另一種進樣方式可以獲得高很多的檢漏靈敏度。本發明的檢漏 儀的結構不變，具體的操作做法是，先關閉分子泵前級閥3和進樣閥5，開旁路預抽閥2，當真空度達到5-30Pa以後，關閉前級閥3，打開進樣閥5。兩種進樣方式的差異在於前者，氣體樣品進入分子泵4後，有很大一部分氣體被抽速較高的分子泵下部葉片抽走，只有小部分逆擴散進入質譜檢測器6;而後者，氣體樣品只有一小部分被抽速低得多的機械泵抽走，大部分進入分子泵4，逆擴散到達質譜檢測器6，進入的氣體不會被分子泵下部的葉片抽走，因為前級閥門3是關閉的。經上述改進，檢漏儀的靈敏度由8X10—"Pa m7s提高到1X10—"Pa mVs，因此，具有更高的靈敏度。
權利要求
1.一種氦質譜檢漏儀的進樣方式，其特徵在於，包括以下步驟先關閉分子泵前級閥3和進樣閥5，開旁路預抽閥2，當真空度達到5-30Pa以後，關閉前級閥3，打開進樣閥5。
全文摘要
一種氦質譜檢漏儀的進樣方式，包括以下步驟先關閉分子泵前級閥3和進樣閥5，開旁路預抽閥2，當真空度達到5-30Pa以後，關閉前級閥3，打開進樣閥5。檢漏儀的靈敏度指標提高8倍。
文檔編號G01M3/02GK101303265SQ20081013274
公開日2008年11月12日 申請日期2008年7月14日 優先權日2008年7月14日
發明者黃慶文 申請人:北京中科科儀技術發展有限責任公司