一種新型單晶爐頂部安全閥的製作方法
2023-09-11 17:09:25
一種新型單晶爐頂部安全閥的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及單晶爐領域，尤其涉及一種新型單晶爐頂部安全閥，一種新型單晶爐頂部安全閥，包括閥體、閥芯、彈簧、鉸接法蘭、安裝法蘭，所述閥芯和彈簧均設在閥體內部，彈簧設置在閥芯後端，閥芯前端工作面為錐面，所述閥體內部與閥芯工作面相對處為與閥芯錐面配合的錐面，所述鉸接法蘭設在閥體一端，鉸接法蘭與安裝法蘭鉸接，安裝法蘭與單晶爐爐體連接，該閥在爐壓升高時能自動打開放氣，避免了爐體爆裂危險，保證了安全生產，並且可以通過鎖緊扣打開閥，清掃方便，避免外部氣體或汙染物進入到爐內。
【專利說明】一種新型單晶爐頂部安全閥【技術領域】
[0001]本實用新型涉及單晶爐領域，尤其涉及一種新型單晶爐頂部安全閥。
【背景技術】
[0002]單晶矽作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料，單晶爐在矽單晶拉制過程中，當爐體漏水等異常情況發生時，爐壓會突然增大時，爐內會從真空變更高壓狀態，這時需要通過安全閥打開放氣，洩壓，從而減少安全隱患，而且在矽單晶拉制過程中，會產生大量的氧化物，順著真空管道排放，拉晶結束後，需要打開真空管道清掃，現有的單晶爐安全閥直接與爐體真空管道連接，打開麻煩清掃不便，而且在閥體打開時外部氣體或汙染物容易進入單晶爐內部造成汙染影響晶體生長。
實用新型內容
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種新型單晶爐頂部安全閥，該閥在爐壓升高時能自動打開放氣，避免了爐體爆裂危險，保證了安全生產，並且可以通過鎖緊扣打開閥，清掃方便，避免外部氣體或汙染物進入到爐內。
[0004]本實用新型所採用的技術方案是:一種新型單晶爐頂部安全閥，包括閥體、閥芯、彈簧、鉸接法蘭、安裝法蘭，所述閥芯和彈簧均設在閥體內部，彈簧設置在閥芯後端，閥芯前端工作面為錐面，所述閥體內部與閥芯工作面相對處為與閥芯錐面配合的錐面，所述鉸接法蘭設在閥體一端，鉸接法蘭與安裝法蘭鉸接，安裝法蘭與單晶爐爐體連接。
[0005]所述閥體內部彈簧後端設有支撐凸臺，支撐凸臺中間設有錐形通孔，錐形通孔口徑小的一端向後，所述閥體後端設有向內的錐面，錐面上設有均布的通孔，錐面前端設有與凸臺通孔配合的彈性空心橡膠球。
[0006]所述鉸接法蘭與安裝法蘭接合面設有錐形凸起，安裝法蘭一側設有與凸起配合的錐形凹槽，凹槽底部設有密封O型圈，所述鉸接法蘭與安裝法蘭側邊設有鎖緊扣。
[0007]所述彈性空心橡膠球與支撐凸臺錐形通孔緊密貼合。
[0008]本實用新型的有益效果是:採用上述方案，當爐壓升高時，閥芯打開釋放氣體減壓，進入閥體的氣體再經閥體內部的支撐凸臺的錐形通孔聚能，使後端的彈性空心橡膠球發生形變，氣體經通孔釋放出，降低爐內壓力，閥芯常態閉合，彈性空心橡膠球只有在一定的壓力下才會形變，使外部的氣體和汙染物進入不到單晶爐內部，避免影響晶體生長，鉸接法蘭與安裝法蘭側邊設置的鎖緊扣，可以快捷的打開，方便清掃在矽單晶拉制過程中，產生大量的氧化物。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的截面圖。
[0010]圖2為本實用新型的打開示意圖。[0011]其中:1為閥體，2為閥芯，3為彈簧，4為鉸接法蘭，5為安裝法蘭，6為支撐凸臺，7為錐形通孔，8為彈性空心橡膠球，9為鎖緊扣，10為O型圈。
【具體實施方式】
[0012]如圖1，一種新型單晶爐頂部安全閥，包括閥體1、閥芯2、彈簧3、鉸接法蘭4、安裝法蘭5，安裝法蘭5與單晶爐爐體的真空管道連接，鉸接法蘭4與安裝法蘭5鉸接，鉸接法蘭4與安裝法蘭5側邊設有鎖緊扣9，打開鎖緊扣9鉸接法蘭4可以連動閥體I以鉸接處為軸旋轉打開，從而方便清掃在矽單晶拉制過程中，產生大量的氧化物，鉸接法蘭4與安裝法蘭5接合面設有錐形凸起，安裝法蘭5 —側設有與凸起配合的錐形凹槽，凹槽底部設有密封O型圈，有效的保證了氣密性，閥芯2和彈簧3均設在閥體I內部，彈簧3設置在閥芯2後端，閥芯2前端工作面為錐面，閥體I內部與閥芯2工作面相對處為與閥芯2錐面配合的錐面，閥體I內部彈簧3後端設有支撐凸臺6，支撐凸臺6中間設有錐形通孔7，錐形通孔7 口徑小的一端向後，I閥體I後端設有向內的錐面，錐面上設有均布的通孔，錐面前端設有與凸臺通孔配合的彈性空心橡膠球8，彈性空心橡膠球8與支撐凸臺6錐形通孔7緊密貼合，當爐壓升高時，閥芯2打開釋放氣體減壓，氣體進入閥體1，再經閥體I內部的支撐凸臺6的錐形通孔7聚能，使後端的彈性空心橡膠球8發生形變，然後氣體經通孔釋放出，降低爐內壓力，閥芯I常態閉合，彈性空心橡膠球8隻有在一定的壓力下才會形變，使外部的氣體和汙染物進入不到單晶爐內部，避免影響晶體生長。
[0013]本實用新型並不局限於所述的實施例，本領域的技術人員在不脫離本實用新型的精神即公開範圍內，仍可作一些修正或改變，故本實用新型的權利保護範圍以權利要求書限定的範圍為準。
【權利要求】
1.一種新型單晶爐頂部安全閥，包括閥體、閥芯、彈簧、鉸接法蘭、安裝法蘭，其特徵是:所述閥芯和彈簧均設在閥體內部，彈簧設置在閥芯後端，閥芯前端工作面為錐面，所述閥體內部與閥芯工作面相對處為與閥芯錐面配合的錐面，所述鉸接法蘭設在閥體一端，鉸接法蘭與安裝法蘭鉸接，安裝法蘭與單晶爐爐體連接。
2.根據權利要求1所述的一種新型單晶爐頂部安全閥，其特徵在於，所述閥體內部彈簧後端設有支撐凸臺，支撐凸臺中間設有錐形通孔，錐形通孔口徑小的一端向後，所述閥體後端設有向內的錐面，錐面上設有均布的通孔，錐面前端設有與凸臺通孔配合的彈性空心橡膠球。
3.根據權利要求1所述的一種新型單晶爐頂部安全閥，其特徵在於，所述鉸接法蘭與安裝法蘭接合面設有錐形凸起，安裝法蘭一側設有與凸起配合的錐形凹槽，凹槽底部設有密封O型圈，所述鉸接法蘭與安裝法蘭側邊設有鎖緊扣。
4.根據權利要求2所述的一種新型單晶爐頂部安全閥，其特徵在於，所述彈性空心橡膠球與支撐凸臺錐形通孔緊密貼合。
【文檔編號】F16K17/04GK203718068SQ201320823931
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2013年12月12日 優先權日:2013年12月12日
【發明者】潘燕萍 申請人:常州市天龍光電設備有限公司