晶棒專用測量平板的製作方法
2023-09-14 08:04:25 1
專利名稱：晶棒專用測量平板的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種測量裝置，特別涉及一種晶棒專用測量平板。
背景技術：
"T"型石英晶棒的準確測量，是該石英晶棒切割成石英晶片前對晶棒粘膠 時基準面和調整面的測角，測量的標準程度，直接影響石英晶片的角度。
測量石英晶棒大多通過平板進行定位。目前X射線定向儀上使用的平板， 是寬度為30mm的平板，這種平板是為測量寬度為25mm左右的晶片設計，在 測量石英晶片時完全夠用。但在測量石英晶棒時，由於石英晶棒長度為210mm 左右，平板相對於石英晶棒的長度過於太短，容易造成石英晶棒磨損變形，石 英晶棒放置不穩，測量的晶棒YY'方向角度不對稱，比如一頭為+3'，另外一 頭為-2'，在粘膠調整時不知調整哪個角度等缺點。另外，平板的寬度同對角 器上面的基準平板長度相差太大，造成測量區域與粘膠時的作為基準的區域不 一致也會形成誤差，從而導致影響石英晶片的切割精度。
發明內容
針對上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種晶棒專用測量夾板，它 可以增大與被測量晶棒的接觸面積，減小晶棒的磨損率，以及還能使晶棒緊貼 於平板上的優點。
本實用新型的目的是這樣實現的平板的下部設有安裝孔，所述平板上部 的左側面設有向左方延伸的左支撐板，平板上部的右側面設有向右方延伸的右支撐板，平板的中間區域設有多個吸氣孔。
所述平板的長度和左、右支撐板的長度之和等於對角器基準平板長度。
所述多個吸氣孔布置成多列，其中位於左列和右列吸氣孔的數目相等，位 於左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數目相等，位於左列和右列吸氣孔之間 的各列吸氣孔數目多於左列或右列吸氣孔的數目。
採用了上述方案，平板上部的左側面設有向左方延伸的左支撐板，平板上 部的右側面設有向右方延伸的右支撐板，左、右支撐板的長度之和為晶棒長度 的三分之二，通過支、右撐板的支撐作用，可以增大晶棒與平板的接觸面積， 容易與平板緊貼，減少因磨損出現的誤差。平板的中間區域設有多個吸氣孔， 晶棒檢測時，在平板的吸氣孔區域連接抽氣泵，通過抽氣泵經吸氣孔產生負壓， 進一步增強晶棒與平板的緊貼性。而且通過負壓還可便於將晶棒放置到平板上， 利於提高工作效率。
所述平板的長度和左、右支撐板的長度之和等於對角器基準平板長度。使 測量區域同調整區域一致，造成測量區域與粘膠時的作為基準的區域不一致也 會形成誤差，從而導致影響晶片的切割精度。
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步說明。
圖1為本實用新型的一種優選實施例的結構示意附圖中，l為平板，2為安裝孔，3為左支撐板，4為右支撐板，5為吸氣孔。
具體實施方式
參照圖l，本實用新型的晶棒專用測量平板，平板l的下部設有安裝孔2。 平板l上部的左側面設有向左方延伸的左支撐板3，平板上部的右側面設有向右方延伸的右支撐板4，形成"T"型的平板，左、右支撐板與平板1 一體成型。 平板1和左、右支撐板的長度之和等於對角器基準平板長度，使得測量區域與 平板粘膠時的作為基準的區域一致，以減少測量誤差。左、右支撐板3、 4的長
度之和為150mm，為晶棒長度的三分之二左右，可增大晶棒與支撐板的接觸面 積。平板l的中間區域設有多個吸氣孔5，這些吸氣孔布置成多列，其中位於左 列和右列吸氣孔的數目相等，位於左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數目相 等，位於左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數目多於左列或右列吸氣孔的數 目。在平板的吸氣孔區域連接抽氣泵，通過抽氣泵經吸氣孔產生負壓。晶棒檢 測時，可進一步增強晶棒與平板的緊貼性。
本實用新型結構雖然較為簡單，但實用性強。
上述實施例是用於說明本實用新型，而不是對本實用新型的限制，在實用 新型的構思前提下對實用新型的改進，都屬於本實用新型權利要求保護的範圍。
權利要求1. 一種晶棒專用測量平板，平板的下部設有安裝孔，其特徵在於所述平板上部的左側面設有向左方延伸的左支撐板，平板上部的右側面設有向右方延伸的右支撐板，平板的中間區域設有多個吸氣孔。
2. 根據權利要求l所述的晶棒專用測量平板，其特徵在於所述平板的長度和左、右支撐板的長度之和等於對角器基準平板長度。
3. 根據權利要求l所述的晶棒專用測量平板，其特徵在於所述多個 吸氣孔布置成多列，其中位於左列和右列吸氣孔的數目相等，位於左列和 右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數目相等，位於左列和右列吸氣孔之間的各 列吸氣孔數目多於左列或右列吸氣孔的數目。
專利摘要本實用新型涉及一種測量裝置，特別涉及一種晶棒專用測量平板。本實用新型平板的下部設有安裝孔，所述平板上部的左側面設有向左方延伸的左支撐板，平板上部的右側面設有向右方延伸的右支撐板，平板的中間區域設有多個吸氣孔。本實用新型可以增大與被測量晶棒的接觸面積，減小晶棒的磨損率，以及還能使晶棒緊貼於平板上的優點。
文檔編號G01B21/22GK201237501SQ20082004114
公開日2009年5月13日 申請日期2008年7月30日 優先權日2008年7月30日
發明者任先林, 宋秦川 申請人:常州松晶電子有限公司