一種用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置製造方法
2023-09-25 18:37:20 1
一種用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，包括電機、升降支架、帶輪導軌組件、懸臂機構、金屬盤底座；所述電機驅動所述帶輪導軌組件並帶動所述懸臂機構做上下運動，所述PLC控制系統控制所述電機從而調整所述懸臂機構在所述升降支架上的位置。本實用新型通過增設金屬盤底座，提高了升降支架的穩定性，有效把升降支架的重心降低，使裝置更穩，更安全，使升降支架不易鬆動；可調節的懸臂使熱偶測量溫度更加靈活，從而適應不同的爐體空間；通過PLC控制系統可控制熱偶升降位置從而提高熱偶測量數據的準確性，提高了工作效率。
【專利說明】一種用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及測溫裝置，具體地說，涉及一種用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置。
【背景技術】
[0002]氧化爐是用於矽片進行氧化、退火等熱處理工藝的半導體設備，現在的氧化爐分為立式結構和臥式結構，其中，臥式結構的氧化爐溫度均勻性及控溫精度不夠理想，自動化程度低，但矽片的製造有極高的外界環境要求，從而保證生產出的矽晶片質量，因此，矽片的製造通常採用立式氧化爐。
[0003]目前，對立式爐爐體進行溫度數據採集通常採用熱偶測量，但現有的測量裝置存在一些問題:1.現有的熱偶升降裝置是型材組裝的，現有型材通常固定在簡易的支架上，型材組裝容易鬆動，影響熱偶測量值的準確性；2.由於夾持熱偶的懸臂長度較短且固定，在爐體內測量溫度時不夠靈活，尤其當立式爐空間狹小時，懸臂不能與爐體空間相適應；3.現有的熱偶測量數據的準確性較低。因此，對現有的熱偶升降裝置進行改進成為本領域技術人員亟待解決的問題。
【發明內容】
[0004]本發明所要解決的技術問題是提供一種用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，防止型材鬆動，提高裝置的穩定性。
[0005]為了解決上述技術問題，本發明提供了一種用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，包括電機、升降支架、帶輪導軌組件、懸臂機構、金屬盤底座；所述升降支架的一側連接帶輪導軌組件且所述升降支架的下方固定連接金屬盤底座，所述金屬盤底座上設有電機以及PLC控制系統，所述電機驅動所述帶輪導軌組件並帶動所述懸臂機構做上下運動，所述PLC控制系統控制所述電機從而調整所述懸臂機構在所述升降支架上的位置。
[0006]優選的，所述金屬盤底座設有3個可調節金屬盤底座高度的支撐腿。
[0007]優選的，各支撐腿下端連接使金屬盤底座保持水平的地腳。
[0008]優選的，所述升降支架上設有用於檢測所述懸臂機構位置的傳感器，所述傳感器將懸臂機構的位置參數反饋給所述PLC控制系統。
[0009]優選的，所述金屬盤底座下方設有電源，所述電源為所述傳感器及所述PLC控制系統提供電能。
[0010]優選的，所述懸臂機構包括懸臂及熱偶夾持部，所述懸臂可伸縮，所述熱偶夾持部用於夾持熱偶。
[0011]優選的，所述懸臂包括第一懸臂及第二懸臂，所述第一懸臂相對於所述第二懸臂可伸縮且兩者之間設有緊固裝置。
[0012]優選的，所述升降支架與所述金屬盤底座之間通過螺栓螺母固定連接。
[0013]本發明通過增設金屬盤底座，提高了升降支架的穩定性，有效把升降支架的重心降低，使裝置更穩，更安全，使升降支架不易鬆動；可調節的懸臂使熱偶測量溫度更加靈活，從而適應不同的爐體空間；通過PLC控制系統可控制熱偶升降位置從而提高熱偶測量數據的準確性，提高了工作效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0015]圖1為本發明用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置的結構示意圖；
[0016]圖中標號說明如下:
[0017]1、電機；2、升降支架；3、帶輪導軌組件；31、皮帶；32、帶輪；4、懸臂機構；40、懸臂；41、第一懸臂；42、第二懸臂；43、熱偶夾持部；5、傳感器；51、上限位傳感器；52、復位傳感器；53、下限位傳感器；6、PLC控制系統；7、金屬盤底座；8、支撐腿；9、地腳；10、電源；11、傳感器擋片。
【具體實施方式】
[0018]以下將配合圖式及實施例來詳細說明本發明的實施方式，藉此對本發明如何應用技術手段來解決技術問題並達成技術功效的實現過程能充分理解並據以實施。
[0019]如圖1所示，本發明提供了一種用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，包括電機1、升降支架2、帶輪導軌組件3、懸臂機構4、金屬盤底座7 ;升降支架2的一側連接帶輪導軌組件3且升降支架2的下方固定連接金屬盤底座7，金屬盤底座7上設有電機I以及PLC控制系統6，電機I驅動帶輪導軌組件3並帶動懸臂機構4做上下運動，PLC控制系統6控制電機I從而調整懸臂機構4在升降支架2上的位置。
[0020]其中，升降支架2與金屬盤底座7之間通過螺栓螺母固定連接，懸臂機構4包括懸臂40及熱偶夾持部43，懸臂40固定連接用於夾持熱偶的熱偶夾持部43，所述懸臂機構4上還設有與傳感器5配合的傳感器擋片11，所述傳感器擋片11用於傳送懸臂機構4的位置信號給傳感器5。
[0021]本實施例中，傳感器5為限位傳感器，包括上限位傳感器51、下限位傳感器53和復位傳感器52，所述復位傳感器52位於上限位傳感器51與下限位傳感器53之間，當懸臂機構4向上運動時，上限位傳感器51用於限制懸臂機構4繼續向上運動，當懸臂機構4向下運動時，下限位傳感器53用於限制懸臂機構4繼續向下運動，即懸臂機構4在上限位傳感器51與下限位傳感器53之間位移，所述復位傳感器52使懸臂機構4恢復至初始位置。
[0022]所述帶輪導軌組件3包括帶輪32和繞在帶輪32上的皮帶31，帶輪32與電機I的傳動軸連接；金屬盤底座7下方設有電源10，電源10為傳感器5及PLC控制系統6提供電倉泛。
[0023]為了解決現有的熱偶升降裝置中升降支架2組裝會有誤差及容易鬆動的問題，本發明在升降支架2下方固定連接金屬盤底座7 ;金屬盤底座設有3個可調節金屬盤底座7高度的支撐腿8，各支撐腿8包括上腿和安裝在上腿內部可以上下移動的下腿；在上腿的底部與下腿之間設有定位裝置。值得說明的是，3個支撐腿8相對於4個支撐腿8更易於升降支架的穩定性，各支撐腿8下端連接使金屬盤底座保持水平的地腳9，各支撐腿8下端也可安裝便於移動金屬盤底座7的滑輪，本發明通過增設金屬盤底座7，提高了升降支架的穩定性。
[0024]為了使熱偶測量溫度更加靈活，適應不同的爐體空間，所述懸臂機構4包括可伸縮的懸臂40及熱偶夾持部43。其中，所述懸臂40包括第二懸臂42和可滑動地套設在第二懸臂42外的第一懸臂41，所述第一懸臂41與所述第二懸臂42之間設置有鎖定裝置。
[0025]本發明通過增設金屬盤底座7，提高了升降支架2的穩定性，有效把升降支架2的重心降低，使裝置更穩，更安全，使升降支架2不易鬆動；可調節的懸臂40使熱偶測量溫度更加靈活，從而適應不同的爐體空間；通過PLC控制系統6可控制熱偶升降位置從而提高熱偶測量數據的準確性，提高了工作效率。
[0026]上述說明示出並描述了本發明的若干優選實施例，但如前所述，應當理解本發明並非局限於本文所披露的形式，不應看作是對其他實施例的排除，而可用於各種其他組合、修改和環境，並能夠在本文所述發明構想範圍內，通過上述教導或相關領域的技術或知識進行改動。而本領域人員所進行的改動和變化不脫離本發明的精神和範圍，則都應在本發明所附權利要求的保護範圍內。
【權利要求】
1.一種用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，其特徵在於，包括電機、升降支架、帶輪導軌組件、懸臂機構、金屬盤底座；所述升降支架的一側連接帶輪導軌組件且所述升降支架的下方固定連接金屬盤底座，所述金屬盤底座上設有電機以及PLC控制系統，所述電機驅動所述帶輪導軌組件並帶動所述懸臂機構做上下運動，所述PLC控制系統控制所述電機從而調整所述懸臂機構在所述升降支架上的位置。
2.根據權利要求1所述的用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，其特徵在於，所述金屬盤底座設有3個可調節金屬盤底座高度的支撐腿。
3.根據權利要求2所述的用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，其特徵在於，各支撐腿下端連接使金屬盤底座保持水平的地腳。
4.根據權利要求1所述的用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，其特徵在於，所述升降支架上設有用於檢測所述懸臂機構位置的傳感器，所述傳感器將懸臂機構的位置參數反饋給所述PLC控制系統。
5.根據權利要求4所述的用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，其特徵在於，所述金屬盤底座下方設有電源，所述電源為所述傳感器及所述PLC控制系統提供電能。
6.根據權利要求1所述的用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，其特徵在於，所述懸臂機構包括懸臂及熱偶夾持部，所述懸臂可伸縮，所述熱偶夾持部用於夾持熱偶。
7.根據權利要求6所述的用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，其特徵在於，所述懸臂包括第一懸臂及第二懸臂，所述第一懸臂相對於所述第二懸臂可伸縮且兩者之間設有緊固裝置。
8.根據權利要求1?7任一所述的用於測量立式爐溫度的熱偶升降裝置，其特徵在於，所述升降支架與所述金屬盤底座之間通過螺栓螺母固定連接。
【文檔編號】F16M11/04GK204142021SQ201420211824
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年4月28日 優先權日:2014年4月28日
【發明者】柳文濤, 宋辰龍 申請人:北京七星華創電子股份有限公司