磁場發生裝置的製作方法
2023-10-11 19:43:24 2
專利名稱：磁場發生裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用於半導體集成電路的測試裝置，特別是涉及一種適 用於線性霍爾傳感器晶片測試的磁場發生裝置。
背景技術：
為了評價線性霍爾傳感器晶片的性能，不僅需要將線性霍爾傳感器芯
片置於不同磁場強度下測試其輸出電壓，即BV特性，還需要知道線性霍 爾傳感器晶片在不同溫度下的BV特性。但是現有的磁場發生裝置都不能 進行全溫度範圍內(-80°C 225°C)的測試，僅能進行局部溫度範圍不同 磁場強度下的測試；而現有的溫度控制裝置又不具有產生磁場的功能，這 樣就無法滿足霍爾傳感器性能測試的要求。
如果專門為此設計製造一種適用於全溫度範圍的磁場發生裝置，不僅 需要進行複雜的技術設計，而且需要半導體集成電路製造商付出昂貴的費 用成本。
發明內容
本發明要解決的技術問題是提供一種磁場發生裝置，它能夠產生全溫 度範圍內測試所需的高解析度磁場，對線性霍爾傳感器晶片進行評價。 為解決上述技術問題，本發明的磁場發生裝置，包括 一磁場發生器基座；
一對磁極，相對設置，固定安裝在所述磁場發生器基座上端面的兩端側；
一工作平臺，設置在所述一對磁極的中間位置；
一耐溫隔板，設置在所述工作平臺上端面，所述耐溫隔板的中間位
置設有一測試插座，該測試插座的測試電纜從工作平臺底部引出；
一耐溫導氣管，可拆卸地罩設所述測試插座，位於該耐溫導氣管的 頂部可與熱量發生系統的埠連接，熱量發生系統的埠、耐溫導氣管和 耐溫隔板組成一個可以改變溫度的腔體，耐溫導氣管的外壁與磁極的兩極
面不接觸。
由於採用本發明的磁場發生裝置， 一對磁極可以得到高精度的磁場， 耐溫導氣管一頭連接熱量發生系統的埠 ，另一頭安裝在墊有耐溫隔板的 工作平臺上，並將測試插座完全罩住，形成了一個由熱量發生系統的埠、 耐溫導氣管和耐溫隔板組成的，可以改變溫度的腔體。由此產生全溫度範 圍內測試所需的高解析度磁場，實現對線性霍爾傳感器晶片進行不同溫 度、不同磁場強度下的性能測試。完全能夠滿足對線性霍爾傳感器晶片性 能評價的需要。
本發明的磁場發生裝置結構非常簡單、製造容易，而且成本不高，能 夠使集成電路製造商降低生產的成本。
下面結合附圖與具體實施方式
對本發明作進一步詳細的說明 圖1是本發明的磁場發生裝置的主視圖； 圖2是圖1的側視圖。
具體實施方式
參見圖1、 2所示，本發明的磁場發生裝置包括一磁場發生器基座2，
一對磁極4相對設置，固定安裝在磁場發生器基座2上端面的兩端側，用 於產生磁場。
還包括一工作平臺1。該工作平臺1為倒置的凹字形，設置在一對磁 極4的中間位置，通過螺釘5將工作平臺1固定在磁場發生器基座2上。 工作平臺1採用鋁型材料製造，或者採用其他非磁性、可承重的材料製造。
一耐溫隔板3設置在工作平臺1上端面，所述耐溫隔板3的中間位 置設有一測試插座6。工作平臺1及位於其上端面的耐溫隔板3中間位置 設有一通孔，測試插座6上的測試電纜7穿過該通孔從工作平臺1底部引 出。所述耐溫隔板3採用矽膠板材質製作。
所述磁極4由一磁場發生器極柱8，設置在磁場發生器極柱8上的磁 場發生器線圈9組成。磁極4由非磁性材料製造的支撐座10支撐固定在 磁場發生器基座2上。磁場發生器線圈9的供電電源採用高解析度電源， 由此得到高精度磁場。所述支撐座10與磁場發生器基座2可以加工成一 體，也可以通過連接件固定安裝在一起。
一耐溫導氣管11可拆卸地罩設所述測試插座6，位於該耐溫導氣管 11的頂部可與熱量發生系統的埠 12連接。熱量發生系統的埠 12、耐 溫導氣管11和耐溫隔板3組成了一個可以改變溫度的腔體。耐溫導氣管 11的外壁與磁極4的兩極面不接觸。耐溫導氣管11和熱量發生系統的端 口 12可以拆卸地設置，在不需要溫度測試時可以不安裝耐溫導氣管11 和熱量發生系統的埠 12。耐溫導氣管11可拆卸地設置，還便於更換測 試晶片。耐溫導氣管ll採用耐溫塑料製成，還可以採用其他非磁性耐溫材料製造。
對線性霍爾傳感器晶片13進行測試時，首先根據測試的磁場範圍調
整好磁極4之間的間距。然後把待測的線性霍爾傳感器晶片13插到測試 插座6上，通過改變磁極4的磁場發生器線圈9激勵電流來改變磁場強度， 可以測試不同磁場強度下的線性霍爾傳感器晶片的輸出端電壓。這樣可以 測試線性霍爾傳感器晶片13在室溫環境下的BV特性。調節螺釘5可以使 被測的線性霍爾傳感器晶片13正好處於磁場正中。
接著安裝好耐溫導氣管11和熱量發生系統的埠 12，通過熱量發生 系統來產生設定溫度的氣體，該氣體從熱量發生系統的埠進入耐溫導氣 管11，再從耐溫導氣管底部排出，氣流溫度傳導給待測晶片。比如設置 熱量發生系統產生-4(TC的氣體，測試-4CTC時線性霍爾傳感器晶片13的 BV特性。當然，還可以測試-8(TC 225。C範圍內任意溫度下線性霍爾傳 感器晶片13的BV特性，從而實現對待測晶片的全溫度範圍內不同磁場強 度下的測試。氣流溫度只改變被測晶片的溫度，而不會影響到磁極4的溫 度，所以不會對磁場產生影響。
本發明的磁場發生裝置中除磁極4外，磁場發生器基座2、工作平臺 1、支撐座10既可採用磁性材料、也可採用非磁性材料；其餘的零部件均 採用非磁性耐高低溫材料製成。非磁性材料是為了不影響磁場的高分辨 率，耐高低溫材料是為了保證可以產生-80。C 225'C全溫度範圍的測試環 境。
本發明用簡單的裝置實現在原有磁場系統的基礎上，增加與溫度相關 的測試，並且不影響磁場的解析度。以上通過具體實施方式
對本發明進行了詳細的說明，但是這些並非對 於本發明的限制。本發明的保護範圍還應包括那些對於本領域技術人員來 說顯而易見的變換、替代及變形。
權利要求
1、一種磁場發生裝置，其特徵在於，包括一磁場發生器基座；一對磁極，相對設置、固定安裝在所述磁場發生器基座上端面的兩端側；一工作平臺，設置在所述一對磁極的中間位置；一耐溫隔板，設置在所述工作平臺上端面，所述耐溫隔板的中間位置設有一測試插座，該測試插座的測試電纜從工作平臺底部引出；一耐溫導氣管，可拆卸地罩設所述測試插座，該耐溫導氣管的頂部可與熱量發生系統的埠連接，熱量發生系統的埠、耐溫導氣管和耐溫隔板組成一個可以改變溫度的腔體，耐溫導氣管的外壁與磁極的兩極面不接觸。
2、 如權利要求1所述的磁場發生裝置，其特徵在於所述工作平臺 為倒置的凹字形，通過螺釘固定在磁場發生器基座上。
3、 如權利要求1所述的磁場發生裝置，其特徵在於所述磁極由一 磁場發生器極柱，設置在磁場發生器極柱上的磁場發生器線圈組成，所述 磁極由支撐座支撐固定在磁場發生器基座上。
全文摘要
本發明公開了一種磁場發生裝置，一對磁極相對設置，固定安裝在場發生器基座上端面的兩端側；一工作平臺，設置在所述極的中間位置；一耐溫隔板，設置在所述工作平臺上端面，所述耐溫隔板的中間位置設有一測試插座；一耐溫導氣管，可拆卸地罩設所述測試插座，該耐溫導氣管的頂部可與熱量發生系統的埠連接，熱量發生系統的埠、耐溫導氣管和耐溫隔板組成一個可以改變溫度的腔體，耐溫導氣管的外壁與磁極的兩極面不接觸。本發明能夠產生全溫度範圍內測試所需的高解析度磁場，適用於對線性霍爾傳感器晶片進行測試。
文檔編號H01F7/00GK101458986SQ20071009444
公開日2009年6月17日 申請日期2007年12月13日 優先權日2007年12月13日
發明者寧 張, 川 洛, 楠 王 申請人:上海華虹Nec電子有限公司