一種量測圖案化襯底的量測方法
2023-09-23 16:56:10
專利名稱：一種量測圖案化襯底的量測方法
技術領域：
本發明涉及一種圖形的測量方法，尤其是一種利用SEM無損傷測試圖形化襯底圖形尺寸的方法。
背景技術：
目前資源匱乏，能源緊張問題已經成為全球經濟發展的瓶頸，在供電日趨緊張的情況下，世界各國均不約而同地開始了新型照明光源的探索。LED作為一種得到廣泛關注的新型光源，具有節能、環保、壽命長等優勢，理論上可實現只消耗白熾燈10%的能耗，比螢光燈節能50%。 LED用於日常生產生活必須提高其發光效率，而目前常用的技術方案就是使用圖案化藍寶石襯底，即PSS技術。PSS就是利用光刻、刻蝕等技術在單拋的藍寶石襯底表面加工出有規律的圖案，選擇合適的PSS襯底，可以減少LED外延中的位錯密度，改善晶體質量提高LED內量子效率；同時PSS的特殊結構也可以散射光線增加光萃取效率，因此增加LED亮度。基於此，對PSS的選擇也隨即成為了 LED產業鏈中重要一環，目前用於檢測PSS的主要測試方式主要包括掃SEM和原子力顯微鏡(AFM):然而常規測試中SEM是破壞性測試，無形中將會增加原料成本;AFM測試則會導致探針的損耗嚴重，並且一旦探針更換不及時就會得到看似理想的結果，實則為虛假信息，這樣便會給生產帶來嚴重後果。
發明內容
本發明要解決的技術問題是:提出一種通過測試旋轉SEM承載臺一定角度的圖形尺寸來計算實際尺寸的量測圖案化襯底的方法。本發明所採用的技術方案為:一種量測圖案化襯底的量測方法，包括以下步驟:I)將樣品整片放置在掃描電子顯微鏡SEM承載臺上；2)旋轉SEM承載臺一定的角度m ；3)分別記錄旋轉後樣片圖形的高度h，水平夾角α，通過公式得到圖形實際高度H與h，a，m之間的關係，計算得出實際高度H。所述的實際高度H與h，a，m之間的關係是:
權利要求
1.一種量測圖案化襯底的量測方法，其特徵在於包括以下步驟: 1)將樣品整片放置在掃描電子顯微鏡SEM承載臺上； 2)旋轉SEM承載臺一定的角度m； 3)分別記錄旋轉後樣片圖形的高度h，水平夾角α，通過公式得到圖形實際高度H與h，a，m之間的關係，計算得出實際高度H。
2.如權利要求1所述的一種量測圖案化襯底的量測方法，其特徵在於:所述的實際高度H與h，a，m之間的關係是:
3.如權利要求1所述的一種量測圖案化襯底的量測方法，其特徵在於:所述的待測樣品為具有圓錐形圖案的圖形化襯底，其正視圖為等腰三角形；所述的實際高度H與h，a，m之間的關係是:
4.如權利要求1所述的一種量測圖案化襯底的量測方法，其特徵在於:所述的測試中的SEM的探頭保持不變，圖形與水平夾角α為恆定值。
全文摘要
本發明涉及一種量測圖形化襯底圖形的方法，主要用於測試在平滑襯底上進行規則圖形化後圖形尺寸的量測；方法中利用掃描電子顯微鏡(SEM)作為測試工具，但測試過程沒有按照普通裂片的制樣方式進行，而是將整片無損傷地進行測試；測試中將樣品進行一定角度傾斜，量測傾斜後的成像尺寸，經過一定運算可以得到所測樣品實際圖形尺寸。本發明介紹的方法給出了SEM在高度測試中新的形式，開啟了圖形化襯底圖形尺寸的無損傷測試模式，既節約了成本又簡化了測試中制樣的流程。
文檔編號G01B15/00GK103196400SQ201310119340
公開日2013年7月10日 申請日期2013年4月8日 優先權日2013年4月8日
發明者盛建明, 江成龍, 塗亮亮, 石劍舫 申請人:常州同泰光電有限公司