用於顯影設備的排氣箱及黃光製程顯影設備的製作方法

2023-06-13 07:26:26 3

本發明涉及一種液晶面板製造技術，特別是一種用於陣列製程塗膠、曝光後進行顯影製程的用於顯影設備的排氣箱及黃光製程顯影設備。

背景技術：

薄膜電晶體液晶顯示器製程中，陣列製程的黃光製程塗膠、曝光後進行的顯影製程，多採用浸漬處理方式(Puddle方式)，主要作用是：當是正性光阻時，與曝光後的光阻進行反應使其溶解在顯影液中，當是負性光阻時，與沒有曝光的光阻進行反應使其溶解在顯影液中，經過顯影製程後，基板光阻可以定義出曝光膜(Mask)的圖形，對底層須定義的電路圖形進行保護，再進行後續蝕刻與光阻剝離製程，最終在基板上製作出電路圖形。目前，經過塗布曝光製程後的基板執行Puddle方式顯影時，可能因為廠務排氣流量不穩定，導致顯影腔體排氣出現氣流紊亂，將可能導致在顯影液未塗布前，顯影蒸汽提前轟擊至基板的光阻上，由於陣列製成中光阻對顯影液異常敏感，將導致基板上部分光阻提前顯影，造成本該有光阻保護的區域裸露，出現光阻斷線問題，進而後續蝕刻製程時，造成電路圖形斷路。

技術實現要素：

為克服現有技術的不足，本發明提供一種用於顯影設備的排氣箱及黃光製程顯影設備，從而使顯影腔室內的排氣均勻。

本發明提供了一種用於顯影設備的排氣箱，包括箱體，所述箱體的其中一側表面上設有均勻分布的排氣孔，在箱體上設有與箱體內腔連通的連接管。

進一步地，所述排氣孔呈蜂窩狀排布。

進一步地，所述排氣孔的孔徑為10～20mm。

進一步地，所述箱體為長方體。

本發明還提供了一種黃光製程顯影設備，包括多個相互拼接而成的顯影腔室，在顯影腔室中設有用於將待顯影基板依次輸送至每個顯影腔室中的傳送機構，在每個顯影腔室的同一位置上分別設有與顯影腔室連通的排氣管，所述排氣管上設有風量調節閥，還包括所述的用於顯影設備的排氣箱，每個顯影腔室內分別設有一個與排氣管連接的排氣箱，所述排氣孔與顯影腔室的頂部相對，連接管與排氣管相連。

進一步地，每個排氣管的排氣量按照顯影腔室的排列順序從頭到尾排氣量依次增大。

進一步地，所述排氣孔呈蜂窩狀排布。

進一步地，所述排氣孔的孔徑為10～20mm。

進一步地，所述箱體為長方體。

進一步地，所述箱體的長度為300～800mm，寬度為100～200mm，高度為100～200mm。

本發明與現有技術相比，通過設置排氣箱，在排氣箱上均勻設置排氣孔並且排氣孔朝上，使得顯影腔室內的排氣均勻，避免單一排氣孔排氣造成顯影蒸汽流向紊亂現象，改善黃光製成後因顯影排氣設計不合理造成的光阻破孔及光阻線路斷線現象。

附圖說明

圖1是本發明的排氣箱的外部結構示意圖；

圖2是本發明的排氣箱的內部結構示意圖；

圖3是本發明的黃光製程顯影設備的結構示意圖；

圖4是本發明的黃光製程顯影設備的局部示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步詳細說明。

如圖1和圖2所示，本發明的用於顯影設備的排氣箱包括箱體1，箱體1所述箱體1的其中一側表面上設有均勻分布的排氣孔2，在箱體1上設有與箱體1內腔連通的連接管3；所述排氣孔2設置在箱體1面積最大的一側表面上。

作為箱體1的一種較佳實施方式，箱體1為長方體，具有四個上、下、左右四個端面以及兩個側面，排氣孔2設置在其中一個端面上；箱體1優選為：長度為300～800mm，寬度為100～200mm，高度為100～200mm；本發明箱體1的尺寸不限於此，還可根據顯影設備的顯影腔室的大小進行調整。

所述排氣孔2呈蜂窩狀排布，排氣孔2的孔徑為10～20mm，排氣孔2的密度可根據實際要求進行設置。

如圖3和圖4所示，本發明的一種黃光製程顯影設備，其主要改進部分為增加了如圖1和圖2所示的排氣箱，其餘部件與現有技術相同，並未做改進，黃光製成顯影設備主要包括多個相互拼接而成的顯影腔室5，在顯影腔室5中設有用於將待顯影基板依次輸送至每個顯影腔室5中的傳送機構6，位於傳送機構6上方、顯影腔室5中的顯影液塗布裝置；在每個顯影腔室5的同一位置上分別設有與顯影腔室5連通的排氣管7，使顯影腔室5的腔室壁上形成一個排氣口，排氣管7與廠務排氣連接，所述排氣管7上設有風量調節閥4，每個顯影腔室5內分別設有一個與排氣管7連接的排氣箱，所述排氣孔2與顯影腔室5的頂部相對，即排氣孔2朝上設置，連接管3從排氣口插入與排氣管7相連。在每個排氣管7上設置排氣箱，使得各排氣管均勻排氣，避免氣流發生紊亂現象。

本發明中將排氣孔2朝上設置，可以最大限度的引導排氣箱上，避免對基板造成影響。

具體地，如圖4所示，由於一般情況下，排氣管7設於設置在基板前進方向的一側腔室壁上，因此，連接管3設於與排氣孔2相鄰的一端面上，從而使連接管3能夠與排氣管7連接後排氣孔2始終朝上，但連接管3的設置不限於此，具體可根據黃光製成顯影設備中與顯影腔室5連接的排氣管7的具體位置進行設置，在此不做具體限定。

本發明中，每個排氣管7的排氣量按照顯影腔室5的排列順序從頭到尾排氣量依次增大，其風壓在-50～-300帕之間從小到大進行設置，具體地，一般情況下，顯影腔室5設有3個，根據基板的移動方向每個顯影腔室5中排氣管7的排氣量(吸力，負風壓)分別為-100～-50帕、-200～-100帕、-300～-200帕，由於排風其是指為將顯影腔室5內的氣流吸走，因此負值表示為排風的吸力，為負風壓。

所述黃光製成顯影設備中排氣箱上排氣孔2呈蜂窩狀排布；排氣孔2的孔徑為10～20mm；所述箱體1為長方體箱體1優選為：長度為300～800mm，寬度為100～200mm，高度為100～200mm；本發明箱體1的尺寸不限於此，還可根據顯影設備的顯影腔室的大小進行調整。

雖然已經參照特定實施例示出並描述了本發明，但是本領域的技術人員將理解：在不脫離由權利要求及其等同物限定的本發明的精神和範圍的情況下，可在此進行形式和細節上的各種變化。