一種用於半導化熱處理工藝的承燒缽的製作方法

2023-06-22 20:47:46

專利名稱：一種用於半導化熱處理工藝的承燒缽的製作方法
技術領域：
本發明屬於半導體陶瓷材料領域，特別涉及半導體陶瓷的半導化熱處理工藝領域。
眾所周知，鈦酸鋇、鈦酸鍶系統的半導體陶瓷是製作高比容表面層電容器、晶界層電容器、大電容一壓敏雙功能器件的基礎材料。工業化生產的半導體陶瓷的半導化熱處理工藝一般需要在中性或還原性氣氛隧道式電爐中於850℃～1050℃溫度條件下進行，放置產品的承燒缽均採用耐高溫陶瓷製作的承燒缽。由於半導體陶瓷的半導化工藝需要潔淨的工藝環境，因而承燒缽均由耐火材料專業生產廠家用高純度的氧化鋁或氧化鋯陶瓷製作，因而價格昂貴。如尺寸200×200×20mm3的高純度Al2O3承燒缽每隻售價超過200元人民幣。而且這種承燒缽由於原料純度高，使其耐高低溫衝擊工藝性欠佳，在循環使用過程中破損率較高，使得半導體陶瓷的半導化熱處理工藝的生產成本較高。
本發明的目的是提供一種低成本、耐高低溫衝擊工藝性好、循環使用壽命長的用於半導體陶瓷半導化熱處理工藝的承燒缽。
本發明是這樣實現的在半導體陶瓷的半導化熱處理工藝中，採用耐高溫鎳鐵合金製作在中性或還原性氣氛隧道電爐中放置產品的承燒缽，即製作承燒缽的材料採用鎳鐵合金。
鎳鐵合金製作的承燒缽具有如下特點鎳鐵合金承燒缽製作成本低，同樣尺寸大小的製作成本僅為高純度AL2O3承燒缽的四分之一左右；鎳鐵合金承燒缽的耐高低溫衝擊工藝好，循環使用壽命為高純陶瓷承燒缽的30倍以上；由於鎳鐵合金的傳熱性能優於陶瓷承燒缽，因而鎳鐵合金承燒缽的溫度均勻性優於陶瓷承燒缽，有利於提高產品的一致性。
下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。


圖1是本發明實施例示意圖。
圖1中，1是鎳鐵合金承燒缽，2是中性或還原性氣氛隧道電爐，3是進行半導化熱處理的陶瓷產品，4是機械推進裝置，5是陶瓷推板，6是推板導軌。
在圖1中，在鎳鐵合金承燒缽1中放置進行半導化熱處理的陶瓷產品3，鎳鐵合金承燒缽1放在陶瓷推板5上，陶瓷推板5放在推板導軌6上，由機械推進裝置4推動陶瓷推板5，使鎳鐵合金承燒缽1中放置的進行半導化熱處理的陶瓷產品3通過中性或還原性氣氛隧道電爐2，完成半導體陶瓷3的半導化熱處理工序。
由鎳鐵合金特性，使得半導體陶瓷的半導化熱處理工藝中採用鎳鐵合金承燒缽取代陶瓷承燒缽，具有明顯改善的工藝適應性和良好的經濟效益。尤其是在大規模生產工藝中採用鎳鐵合金承燒缽，具有更大的技術價值和經濟價值。
權利要求
1.一種用於半導體陶瓷半導化熱處理工藝的承燒缽，其特徵是它是由鎳鐵合金製作而成。
全文摘要
本發明公開了一種用於半導體陶瓷生產過程中的半導化熱處理工藝的承燒缽,它是由鎳鐵合金製作而成。由鎳鐵合金特性,使得半導體陶瓷的半導化熱處理工藝中採用鎳鐵合金承燒缽取代陶瓷承燒缽,具有明顯改善的工藝適應性和良好的經濟效益。
文檔編號C04B35/622GK1345705SQ0011613
公開日2002年4月24日 申請日期2000年9月28日 優先權日2000年9月28日
發明者鍾朝位, 周曉華, 譚宜成, 廖永紅 申請人:電子科技大學, 成都宏明電子股份有限公司