一種實用性強的無磁真空腔體的製作方法

2023-06-05 19:07:51 2

本實用新型涉及真空腔體設備技術領域，具體為一種實用性強的無磁真空腔體。

背景技術：

真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數而研發的，而晶圓容量幾乎不變。這種結構採用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產品的特點有改善的機臺定位的靜態、動態響應，抽氣時間、穩定時間縮短等等。傳統的無磁真空腔體的功能比較單一，而且無磁真空腔體沒有設置有加熱帶，不能將無磁真空腔體內的輕體完全抽取出來，同時不能檢測到無磁真空腔體內的具體壓力大小，容易造成腔體損壞的現象。

技術實現要素：

本實用新型的目的在於提供一種實用性強的無磁真空腔體，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種實用性強的無磁真空腔體，包括真空腔體外殼和控制器，所述空腔體外殼的頂部安裝有上蓋，所述上蓋的中心處安裝有減壓閥門，且上蓋與真空泵通過抽氣管連接，所述空腔體外殼的外表壁安裝有不鏽鋼保護層，所述不鏽鋼保護層上安裝有加熱帶，所述加熱帶的外表壁安裝有鋁箔隔熱層，所述空腔體外殼的底部安裝有壓力傳感器，且空腔體外殼的下方安裝有真空腔體底座，所述真空腔體底座上安裝有支撐架。

優選的，所述控制器安裝在真空泵上。

優選的，所述支撐架共設有四個，且四個支撐架分別安裝在真空腔體底座的底部四個拐角處。

優選的，所述空腔體外殼的前表壁安裝有微電腦控制器，所述微電腦控制器的表面安裝有顯示屏幕和操控按鍵，所述顯示屏幕位於操控按鍵的上方。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型結構科學合理，使用方便高效；通過真空腔體底座的底部安裝有四個支撐架，有效的提高了無磁真空腔體的穩固性，避免在工作過程中發生抖動現象，影響無磁真空腔體的工作效率；通過真空腔體外殼的外表壁安裝有不鏽鋼保護層，具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270～900℃工作等優點；通過該真空腔體上安裝有加熱帶和鋁箔隔熱層，促使材料表面和內部的氣體儘快放出，並且加熱帶的外面再用鋁箔包裹，防止熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱；通過真空腔體外殼的底部安裝有壓力傳感器，可以檢測出腔體的內部壓力大，並且將該壓力信息反饋到顯示屏幕上，方便使用者觀察。

附圖說明

圖1為本實用新型一種實用性強的無磁真空腔體的結構示意圖；

圖2為本實用新型一種實用性強的無磁真空腔體的前視圖。

圖中：1-真空腔體外殼；2-減壓閥門；3-抽氣管；4-控制器；5-真空泵；6-上蓋；7-不鏽鋼保護層；8-加熱帶；9-鋁箔隔熱層；10-壓力傳感器；11-真空腔體底座；12-支撐架；13-微電腦控制器；14-顯示屏幕；15-操控按鍵。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。

請參閱圖1-2，本實用新型提供的一種實施例：一種實用性強的無磁真空腔體，包括真空腔體外殼1和控制器4，空腔體外殼1的頂部安裝有上蓋6，上蓋6的中心處安裝有減壓閥門2，且上蓋6與真空泵5通過抽氣管3連接，空腔體外殼1的外表壁安裝有不鏽鋼保護層7，不鏽鋼保護層7上安裝有加熱帶8，加熱帶8的外表壁安裝有鋁箔隔熱層9，空腔體外殼1的底部安裝有壓力傳感器10，且空腔體外殼1的下方安裝有真空腔體底座11，真空腔體底座11上安裝有支撐架12，控制器4安裝在真空泵5上，支撐架12共設有四個，且四個支撐架12分別安裝在真空腔體底座11的底部四個拐角處，空腔體外殼1的前表壁安裝有微電腦控制器13，微電腦控制器13的表面安裝有顯示屏幕14和操控按鍵15，顯示屏幕14位於操控按鍵15的上方。

具體使用方式：本實用新型工作中，打開微電腦控制器13上的操控按鍵15，真空泵6開始工作，對真空腔體內部進行抽取，通過加熱帶8和鋁箔隔熱層9的配合使用，促使材料表面和內部的氣體儘快放出，鋁箔隔熱層9可以有效的防止熱量散失的同時也可使腔體內均勻受熱，當壓力傳感器10檢測出真空腔體的內部壓力過小時，通過減壓閥門2可以進行調節。

對於本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限於上述示範性實施例的細節，而且在不背離本實用新型的精神或基本特徵的情況下，能夠以其他的具體形式實現本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示範性的，而且是非限制性的，本實用新型的範圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和範圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。