滅火裝置及多晶矽生產系統的製作方法

2023-06-17 20:59:06

本發明涉及多晶矽生產設備領域，具體而言，涉及一種滅火裝置及多晶矽生產系統。

背景技術：

目前改良西門子法多晶矽生產過程中會產生含有氯矽烷的可燃廢氣，這些廢氣具有可燃性和刺激性。不能夠直接排空，其通常的處理方法是由兩級尾氣淋洗塔進行串聯，通過尾氣與鹼性淋洗水的接觸而使氯矽烷發生水解反應，水解後的sio2、hcl被淋洗水吸收。氮氣、氫氣等由塔頂煙囪飄出。

在實際生產中，由於生產裝置操作不當會導致氯矽烷廢氣的量突然增加。尤其是氯矽烷中二氯二氫矽含量增加時，此物質燃點很低，很容易著火。導致淋洗塔在運行過程中會突然發生煙囪冒火的現象，尤其是淋洗塔出氣口的位置，更容易著火，並且用常規的消防水澆至煙囪口沒有辦法撲滅火焰。只能等燃點低的輕組分物質燃燒完後才能滅火。對安全生產造成隱患，且著火時會燒毀煙囪並產生大量的粉塵物質，汙染環境。

提供一種結構簡單、自動化程度高，能夠自動撲滅淋洗塔出氣口處明火的滅火裝置，這對於多晶矽的安全生產具有比較重要的現實意義。

技術實現要素：

本發明的目的在於提供了一種滅火裝置，其能夠對淋洗塔出氣口附近的明火及時自動撲滅。

本發明的另一目的在於提供一種多晶矽生產系統，其包括了淋洗塔和上述滅火裝置，故能夠對淋洗塔出氣口附近的明火及時自動撲滅。

本發明是這樣實現的：

一種滅火裝置，用於與淋洗塔連接，包括：

罐體，所述罐體包括連接管和第一排氣口，所述連接管用於與所述淋洗塔連接；

感應裝置，用於感應罐體的煙火；

輸氣管，所述輸氣管的一端與所述罐體的內部連通，另一端用於與氣源連接，所述氣源能夠供應不可燃氣體；

截止閥，所述截止閥設置在所述輸氣管上；

控制器，所述控制器與所感應裝置、所述截止閥連接；所述控制器能夠打開或關閉所述截止閥。

進一步，

所述連接管還包括第一開關門、第二開關門、第二排氣口和連杆；所述第一開關門用於打開或關閉所述連接管；所述第二排氣口設置在所述連接管的管壁上，所述第二開關門用於打開或關閉所述第二排氣口；

所述第二開關門相對於所述第一開關門更靠近所述連接管的進氣口；

所述第一開關門及所述第二開關門分別與所述連接管可轉動連接，所述連杆的一端與所述第一開關門鉸接，另一端與所述第二開關門鉸接，所述第一開關門關閉時能夠通過所述連杆帶動所述第二開關門打開；

所述輸氣管還包括第一支管，所述第一開關門打開時，所述第一支管的出氣口位於所述第一開關門的後面，從所述第一支管排出的氣體能夠將所述第一開關門關閉。

由於採用了上述結構，上述可以防止罐體的內明火進入到淋洗塔內，並且防止淋洗塔內繼續向罐體內通入可燃氣體，有助於滅火。

進一步，

所述連接管的內壁上設置有環形凸緣，所述第一開關門關閉時，所述凸緣與所述第一開關門配合密封。

環形凸緣上還可以設置密封件，從而當第一開關門關閉時，能夠保證第一開關門與連接管管壁之間的可靠密封。

進一步，

所述輸氣管還包括第二支管，所述第二支管通向所述第二排氣口附近。

進一步，

所述氣源壓力大於或等於0.6mpa。

進一步，

所述氣源為氮氣源。

進一步，

所述感應裝置為電接點溫度計。

進一步，

所述連接管的進氣口設置有法蘭。

進一步，

所述感應裝置設置在所述罐體的排氣口上部。

一種多晶矽生產系統，所述系統包括淋洗塔和所述的滅火裝置，所述連接管與所述淋洗塔的排氣管連接。

本發明的有益效果是：本發明通過上述設計得到的滅火裝置及多晶矽生產系統，當從淋洗塔中出來的可燃氣體著火時，感應裝置感應到煙火後，給控制器信號，控制器打開輸氣管上的截止閥，輸氣管將大量的非可燃氣體通入到罐體內從而進行及時滅火；滅火完畢後，感應裝置通過控制器關閉截止閥。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施方式的技術方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本發明的某些實施例，因此不應被看作是對範圍的限定，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1是本發明實施方式提供的滅火裝置的結構示意圖；

圖2是本發明實施方式提供的滅火裝置的局部視圖；

圖3是本發明實施方式提供的滅火裝置的局部視圖；

圖4是本發明實施方式提供的多晶矽生產系統的結構示意圖。

圖標：100-滅火裝置；110-罐體；112-連接管；1122-第一開關門；1124-第二開關門；1126-第二排氣口；1128-連杆；114-第一排氣口；120-感應裝置；130-輸氣管；131-第一支管；132-第二支管；133-截止閥；140-控制器；200-多晶矽生產系統；210-淋洗塔。

具體實施方式

為使本發明實施方式的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本發明實施方式中的附圖，對本發明實施方式中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施方式是本發明一部分實施方式，而不是全部的實施方式。基於本發明中的實施方式，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施方式，都屬於本發明保護的範圍。

因此，以下對在附圖中提供的本發明的實施方式的詳細描述並非旨在限制要求保護的本發明的範圍，而是僅僅表示本發明的選定實施方式。基於本發明中的實施方式，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施方式，都屬於本發明保護的範圍。

在本發明的描述中，需要理解的是，指示方位或位置關係的術語為基於附圖所示的方位或位置關係，僅是為了便於描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的設備或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。

在本發明中，除非另有明確的規定和限定，術語「安裝」、「相連」、「連接」、「固定」等術語應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通或兩個元件的相互作用關係。對於本領域的普通技術人員而言，可以根據具體情況理解上述術語在本發明中的具體含義。

在本發明的描述中，需要說明的是，術語「中心」、「上」、「下」、「左」、「右」、「豎直」、「水平」、「內」、「外」等指示的方位或位置關係為基於附圖所示的方位或位置關係，或者是該發明產品使用時慣常擺放的方位或位置關係，僅是為了便於描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。此外，術語「第一」、「第二」、「第三」等僅用於區分描述，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

此外，術語「水平」、「豎直」、「懸垂」等術語並不表示要求部件絕對水平或懸垂，而是可以稍微傾斜。如「水平」僅僅是指其方向相對「豎直」而言更加水平，並不是表示該結構一定要完全水平，而是可以稍微傾斜。

在本發明中，除非另有明確的規定和限定，第一特徵在第二特徵之上或之下可以包括第一和第二特徵直接接觸，也可以包括第一和第二特徵不是直接接觸而是通過它們之間的另外的特徵接觸。而且，第一特徵在第二特徵之上、上方和上面包括第一特徵在第二特徵正上方和斜上方，或僅僅表示第一特徵水平高度高於第二特徵。第一特徵在第二特徵之下、下方和下面包括第一特徵在第二特徵正下方和斜下方，或僅僅表示第一特徵水平高度小於第二特徵。

實施例1：

本實施例提供了一種滅火裝置100，用於與淋洗塔210連接。如圖1，這種滅火裝置100包括罐體110、感應裝置120、控制器140和輸氣管130。輸氣管130上設置有截止閥133，並且與氣源連接，氣源能夠提供不可燃氣體。輸氣管130與罐體110連接，感應裝置120設置在罐體110的頂部或內部，感應裝置120與控制器140連接，控制器140控制截止閥133的開關。

如圖1和圖2，罐體110是由鋼板製作而成的筒狀結構，其下面設置有連接管112，連接管112的端部設置有法蘭，用於與淋洗塔210連接。罐體110設置有感應裝置120和控制器140，感應裝置120可以是煙霧傳感器或者電接點溫度計，本實施例採用了電接點溫度計。控制器140用於接收感應裝置120的信號，本實施例採用了plc，在其它實施例中可以採用單片機。

輸氣管130的一端與氣源連接，並且輸氣管130上設置有截止閥133，截止閥133與控制器140電連接，控制器140能後控制截止閥133的開關。本實施例中，截止閥133採用了電控閥門，可以直接購買，本實施例不對其做詳細描述。氣源採用了氮氣源，並且其壓力在0.6mpa以上。

如圖2和圖3，連接管112還包括第一開關門1122、第二開關門1124、第二排氣口1126和連杆1128。第一開關門1122與連接管112可轉動連接，用於打開或關閉連接管112，當第一開關門1122關閉連接管112時，連接管112被封堵。為了更好的保證第一開關門1122關閉連接管112時的密封效果，在連接管112內壁上還設置有環狀凸緣，第一開關門1122關閉時其邊緣與環狀凸緣配合。

第二排氣口1126設置在連接管112的管壁上，並且其位置低於第一開關門1122關閉狀態的位置，第二開關門1124與連接管112可轉動連接，用於打開或關閉第二排氣口1126。第二開關門1124相對於第一開關門1122更靠近連接管112的進氣口。並且第一開關門1122通過連杆1128與第二開關門1124連接，具體為，連杆1128的一端與第一開關門1122鉸接，另一端與第二開關門1124鉸接。第一開關門1122、連接管112、第二開關門1124和連杆1128共同組成了雙搖杆機構，當第一開關門1122關閉時通過連杆1128帶動第二開關門1124轉動，並打開第二排氣口1126。

如圖1，輸氣管130還包括第一支管131和第二支管132，第一支管131的出氣口位於第一開關門1122的後面，從第一支管131排出的氣體能夠將第一開關門1122關閉；第二支管132通向第二排氣口1126附近。

本實施例提供的滅火裝置100的工作原理如下：當罐體110內發生火災時，感應裝置120感應到溫度提高到閾值以上，給控制器140信號，控制器140打開截止閥133，輸氣管130給罐體110供應高壓氮氣，大量氮氣進入罐體110中瞬間充滿罐體110及廢氣排放口附近區域，隔絕空氣形成氮封從而達到迅速滅火。並且，第一支管131的氮氣給第一開關門1122壓力將其關閉，防止可燃氣體進一步通入到罐體110內，從而可以更加快捷的滅火；同時，第二開關門1124打開，淋洗塔210內的廢氣可以通過第二排氣口1126排出。為了防止第二排氣口1126附近著火，第二支管132給第二排氣口1126通氮氣。

需要說明的是，本實施例為較佳實施例，在其它實施例中，可以不設置第一開關門1122和第二開關門1124；或者可以不設置第一支管131和第二支管132；或者感應裝置120可以採用煙霧傳感器；或者感應裝置120可以設置在罐體110內部。

實施例2：

如圖4，本實施例提供了一種多晶矽生產系統200，包括淋洗塔210和實施例1或者其變形的滅火裝置100，淋洗塔210的排氣管與連接管112連接。淋洗塔210可以直接採用現有技術中的淋洗塔210，本實施例不對其做詳細描述。

以上所述僅為本發明的優選實施方式而已，並不用於限制本發明，對於本領域的技術人員來說，本發明可以有各種更改和變化。凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護範圍之內。