一種晶圓運輸車的製作方法

2023-06-01 18:31:36 2

專利名稱：一種晶圓運輸車的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及晶圓運輸裝置，特別涉及一種具有活動擱架的晶圓運輸車。
背景技術：
隨著晶圓尺寸從8寸增加到12寸，用於放置晶圓的前開式晶盒(FOUP) 及其零配件的尺寸也越來越大，使得晶盒的重量不斷增加， 一個載滿晶圓的 FOUP的重量約為9.8Kg。如果這些物料都是自動作業的話，那麼這種尺寸及重 量的增加可能不會引起任何重大的人體生物工程風險。但是，全自動化作業是 不能完全實現的，因此不可避免地還是存在人工搬運的情況，例如晶片測量、 將晶盒搬運到人工貨架等環節。隨著越來越多的晶片製造商往亞洲轉移，而多 數作業人員為女性，FOUP的尺寸及重量問題變得更為明顯。
從人體生物工程學的角度而言，搬運重物時最理想的搬運高度應當在人的 腰部上下。而隨著現行潔淨室的運行成本及工作效率的提高，將運送FOUP的 推車的擱架高度設在作業人員腰部這樣一個單一高度是不實際的，這樣會大大 影響運輸效率。通常，採用具有雙層固定式擱架的運輸車來進行搬運，每層放 置兩個前開式晶盒，那麼必然至少會有一層擱架的高度是不符合人體生物工程 學要求的。作業人員需要重複由低到高或由高到低放置前開式晶盒的動作，如 果不能遵從正確的舉放技巧的話，會導致作業人員背部及腰部的持續性慢性疼 痛，從而嚴重影響員工的身心健康。
因此，如何提供一種符合人體生物工程學原理的晶圓運輸車已成為業界亟 待解決的技術問題。

實用新型內容
本實用新型的目的在於提供一種新的晶圓運輸車，該運輸車的多層擱架均 能調到符合人體工程學原理的高度，從而避免作業人員因晶盒放置位置過高或
過低而導致搬運時出現的人體損傷。
為了實現上述的目的，本實用新型提供了一種晶圓運輸車，包括車身和兩 層擱架，其中，上層擱架由兩塊擱板4交接至一軸杆而組成，所迷軸杆固定在車
身的支架上，兩塊擱板可繞軸杆轉動，並具有一展開狀態和一收攏狀態；車身 上固定有兩組滑輪，每組滑輪上均跨設有拉繩，所述拉繩的一端固定在下層擱 架上，通過拉動拉繩的另一端可升起下層擱架。
所述下層擱架的底部還設有活動金屬柱，所述拉繩的一端連接至活動金屬 柱，通過拉動拉繩的另一端升起活動金屬柱而託起下層擱架。
所述擱板的底部與車身支架之間通過阻尼彈簧連接。
所述擱板底部開有兩道滑槽，滑槽內設有滑動件，且每個滑動件與相應的 活動金屬柱之間通過一滑輪繩相連，所述的滑輪繩跨設在滑輪上。
所述的下層擱架與車身底座之間還設有緩衝裝置，例如阻尼彈簧。
所述車身的兩側位於滑輪下方的位置設有一組卡榫，所迷的卡榫通過鉸接
結構與車身相連；車身上還裝有卡#4醜，以控制卡榫的收合。
與現有的具有多層固定式擱架的晶圓運輸車相比，本實用新型的運輸車採 用了可收攏的上層擱架，通過滑輪和拉繩可將下層擱架升起，使作業人員在存 取晶盒時，其作業高度可保持在符合人體工程學的最佳位置，避免了不必要的 人體損傷。


本實用新型的晶圓運輸車由以下的實施例及附圖給出。
圖l是本實用新型的晶圓運輸車的內部結構示意圖2是晶圓運輸車的上層擱架位於收攏狀態時的結構示意圖3是本實用新型第一實施例的結構示意圖4是本實用新型第二實施例的結構示意圖5是本實用新型第三實施例的結構示意圖。
具體實施方式
以下將對本實用新型的晶圓運輸車作進一步的詳細描述。
參見圖1,本實用新型的晶圓運輸車包括車身IO和兩層擱架。上層擱架由
兩塊擱板31、 32和一軸杆33組成，擱板31、 32 4交接至軸杆33,並可繞軸杆 33轉動至一展開狀態或一收攏狀態。圖1所示的是展開狀態，在該狀態下，兩 塊擱板31、 32上可分別放置一晶盒40。下層擱架20為活動式擱架，通過滑輪 21與拉繩22的配合，可使下層擱架20在拉繩22的牽引下在車身IO內作升降 運動。
當上層擱架上的晶盒40被作業人員取走後，需要繼續存取下層擱架20上 的晶盒40。參見圖2，當作業人員通過拉繩22將下層擱架20升起時，擱板31、 32沿軸杆33轉動至收攏狀態，留出供晶盒40通過的通道。當下層擱架2'0上升 到最大高度時，將擱架20固定，從而作業人員可以進行晶盒40的取放工作。 雖然該高度略低於上層擱架的高度，但仍在符合人體工程學的合理高度範圍內。
參見圖3,於本實用新型的第一實施例中，下層擱架20的底部對應四個角 的位置還設有活動金屬柱23,拉繩22的一端固定在活動金屬柱23上，通過拉 動拉繩22的另一端升起活動金屬柱23而託起下層擱架20。上層擱架的兩塊擱 板31、 32的底部與車身支架11之間裝有阻尼彈簧34,該阻尼彈簧34將擱板 31、 32向上頂起，使擱板31、 32能自動轉到收攏位置。為了方便控制擱板31、 32的開合，在每塊擱板的底部開有兩道滑槽35，滑槽35內嵌設有滑動件，例 如小滑輪(圖中未示出)。每個滑動件與相應的活動金屬柱23之間通過滑輪繩 24相連，該滑輪繩24也跨設在滑輪21上。當下層擱架20上升時，滑輪繩24 放鬆，滑動件沿著滑槽35向軸杆方向滑動，此時，阻尼彈簧34松解，擱板31、 32在阻尼彈簧34彈力的推動下漸漸向收攏位置轉動；當下層擱架20下降時， 活動金屬柱34牽動滑輪繩24逐漸收緊，滑動件沿著滑槽35向遠離軸杆的方向 滑動，此時，滑輪繩24給擱板31、 32—個向下的拉力，使擱板31、 32慢慢回 到展開位置。
參見圖4，於本實用新型的第二實施例中，下層擱架20和車身IO底座之間 還設有緩衝裝置，例如阻尼彈簧12。當下層擱架20下降時，阻尼彈簧12可起 到緩衝作用，避免擱架20急速下降；當拉動拉繩升起擱架20時，由於阻尼彈 簧12具有彈性恢復力，給擱架20—個向上的推力，因此可以達到省力的目的。
如圖5所示，於本實用新型的第三實施例中，車身10兩側位於滑輪21下
方的位置還設有卡榫13及相應的卡#4醜14,卡榫13通過鉸接結構與車身10相 連接，其自然狀態下的位置如圖5所示。當下層擱架20升起時，卡榫13在擱 架20的推動下向車身IO的兩側收攏，從而使下層擱架20可以順利通過。當擱 架20完全經過卡榫13時，由於卡榫13所受的外力已撤銷，其義恢復到自然狀 態的位置。此時，鬆開拉繩22，則下層擱架20由卡榫13支撐並固定在圖示位 置。當下層擱架20上的晶盒取放完畢後，通過按動卡榫鈕14收攏卡榫13,使 下層擱架20又可以下通行，回到初始位置。
本實用新型的晶圓運輸車，還可根據需要進行橫向和縱向的擴展，改變成 三層以上的結構，以實現運輸效率的進一步提高。任何對本實用新型的裝置結 構作本技術領域內熟知的替換、組合、分立，均不超出本實用新型的揭露以及 保護範圍。
權利要求1、一種晶圓運輸車，包括車身和兩層擱架，其特徵在於上層擱架由兩塊擱板鉸接至一軸杆而組成，所述軸杆固定在車身的支架上，兩塊擱板可繞軸杆轉動，並具有一展開狀態和一收攏狀態；車身上固定有兩組滑輪，且每組滑輪上均跨設有拉繩，所述拉繩的一端固定在下層擱架上，通過拉動拉繩的另一端可升起下層擱架。
2、 如權利要求1所述的晶圓運輸車，其特徵在於所述下層擱架的底部還 設有活動金屬柱，所述拉繩的一端連接至活動金屬柱，通過拉動拉繩的另一端 升起活動金屬柱而託起下層擱架。
3、 如權利要求2所述的晶圓運輸車，其特徵在於所述擱板的底部與車身 支架之間通過阻尼彈簧連接。
4、 如權利要求2所述的晶圓運輸車，其特徵在於所述擱板底部開有兩道 滑槽，滑槽內設有滑動件，且每個滑動件與相應的活動金屬柱之間通過一滑輪 繩相連。
5、 如權利要求4所述的晶圓運輸車，其特徵在於所述的滑輪繩跨設在滑 輪上。
6、 如權利要求1所述的晶圓運輸車，其特徵在於所述的下層擱架與車身 底座之間還設有緩沖裝置。
7、 如權利要求6所述的晶圓運輸車，其特徵在於所述的緩沖裝置是阻尼 彈簧。
8、 如權利要求1所述的晶圓運輸車，其特徵在於所述車身的兩側位於滑 輪下方的位置設有一組卡榫，所述的卡榫通過鉸接結構與車身相連。
9、 如權利要求8所述的晶圓運輸車，其特徵在於車身上還裝有卡榫鈕， 以控制卡榫的收合。
專利摘要本實用新型公開了一種晶圓運輸車。現有的雙層固定式擱架運輸車所設置的擱架高度不符合人體工程學原理，且高度無法調節，使得作業人員從擱架上取放晶盒時容易傷及背部和腰部，長期作業對健康危害很大。為解決上述問題，本實用新型提供了一種具有可活動式擱架的晶圓運輸車，其包括車身和兩層擱架，上層擱架由兩塊擱板鉸接至一軸杆而組成，所述軸杆固定在車身的支架上，兩塊擱板可繞軸杆轉動，並具有一展開狀態和一收攏狀態；車身上固定有兩組滑輪，每組滑輪上均跨設有拉繩，所述拉繩的一端固定在下層擱架上，通過拉動拉繩的另一端可升起下層擱架。採用本實用新型的運輸車可將擱架調到符合人體工程學原理的高度，從而避免作業人員的人體損傷。
文檔編號B62B3/02GK201068158SQ20072007193
公開日2008年6月4日 申請日期2007年6月29日 優先權日2007年6月29日
發明者李雨庭 申請人:李雨庭