一種矽片合金的製作工藝的製作方法

2023-06-01 13:56:16

一種矽片合金的製作工藝的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種矽片合金的製作工藝，主要為在氣體的保護下，在二極體焊接爐中進行合金製得，所述製作工藝是在整流二極體的隧道爐中，使用氮氣保護在400±10℃的溫度下合金20±3分鐘製得合金矽片。本發明的優點在於：只使用氮氣，使得生產更為安全；利用整流二極體的隧道爐減少電能源消耗；節約用電；由於使用擴散爐合金時，都是在高溫的狀態下矽片進爐，同時又是在高溫的狀態下矽片出爐，從而採用擴散爐矽片會產生一定的應力。在整流二極體的隧道爐中合金減少了矽片應力和變形。
【專利說明】—種矽片合金的製作工藝
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及一種矽片合金的製作工藝。
【背景技術】
[0002]目前市場上的矽片合金的製作工藝是用專用的擴散爐，採用通氮氣和氫氣進行保護的，溫度為380-480°C，合金時間為15-20分鐘。
[0003]該工藝的缺點在於:1、由於氣體氫氣在高溫的作用下會變為危險氣體，使用不當會引起爆炸，發生安全事故；2、專用擴散爐在正常使用時，電能能耗相對消耗較多，不利於節能；3、由於使用擴散爐合金時，都是在高溫的狀態下矽片進爐，同時又是在高溫的狀態下矽片出爐，從而採用擴散爐矽片會產生一定的應力，然後使部分矽片合金變形，使用擴散爐合金影響產品質量。

【發明內容】

[0004]本發明的主要任務在於提供一種矽片合金的製作工藝，主要為在氣體的保護下，在專用爐中進行高溫擴散製得，其特徵在於:所述製作工藝是在整流二極體的隧道爐中，只採用氮氣保護在400°C的溫度下進行恆溫控制20分鐘後取出得矽片合金。
[0005]進一步地，所述氮氣在隧道爐中的分布量如下:在爐口的分布量為2700-2900 m3/h，在爐中下段的分布量為:4000±100 m3/h，在爐中南3800±100 m3/h，爐中北4000± 100m3/h，爐尾 2500±100 m3/h。
[0006]本發明的優點在於:1、只使用氮氣，使得生產更為安全；2、利用整流二極體的隧道爐減少電能源消耗；節約用電；3、由於使用擴散爐合金時，都是在高溫的狀態下矽片進爐，同時又是在高溫的狀態下矽片出爐，從而採用擴散爐矽片會產生一定的應力。在整流二極體的隧道爐中合金減少了矽片應力和變形。
【具體實施方式】
[0007]—種矽片合金的製作工藝:所述製作工藝的具體步驟為:
A、將待合金的矽片放在二極體焊接爐內進行常規合金；
B、將A)步驟的矽片夾在普通二極體的石墨舟間一起置入整流二極體的隧道爐中；
C、向整流二極體的隧道爐中通入氮氣，氮氣的流量為(見表I)；
D、矽片合金坯料在只採用氮氣保護下，在400±10°C的溫度下合金20±3分鐘製得合金娃片。
[0008]表1:單位:m3/h
【權利要求】
1.一種矽片合金的製作工藝，主要為在氣體的保護下，在二極體焊接爐中進行合金製得，其特徵在於:所述製作工藝是在整流二極體的隧道爐中，使用氮氣保護在400±10°C的溫度下合金20 ±3分鐘製得合金娃片。
2.根據權利要求1所述的矽片合金的製作工藝，其特徵在於；所述氮氣在隧道爐中的分布量如下:在爐口的分布量為2700-2900 m3/h，在爐中下段的分布量為:4000±100 m3/h，在爐中南 3800±100 m3/h，爐中北 4000±100 m3/h，爐尾 2500± 100 m3/h。
【文檔編號】H01L21/60GK103441084SQ201310345642
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2013年8月9日 優先權日:2013年8月9日
【發明者】吳亞紅, 陸國華, 鍾盛鳴 申請人:如皋市日鑫電子有限公司