晶片傳輸機械手裝置的製作方法
2023-06-01 19:59:36 3
專利名稱：晶片傳輸機械手裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種機械手裝置，尤其涉及一種晶片傳輸機械手裝置。
背景技術：
離子注入機是半導體工藝中離子摻雜的典型設備，離子源產生需要摻雜的離子束，離子束再經過質量分析、校正、加速，傳輸到處於靶室終端工藝腔體的晶片表面。
晶片傳輸機械手是目前半導體工藝設備上常用的關鍵部件，其作用是在真空環境中實現晶片傳輸；此外，為滿足現代半導體矽片的工藝要求，需要晶片傳輸裝置有較高的效率和可靠性。如果不能實現有效的晶片傳輸，晶片就會脫離機械手，造成碎片和停機損失，這將會直接影響到整個設備晶片處理的可靠性指標。
發明內容
針對上述情況，本實用新型提供一種新型的晶片傳輸機械手裝置，可以實現高速可靠的晶片傳輸。
本實用新型通過以下技術方案實現晶片傳輸機械手裝置包括機械手臂、直線導軌、驅動盤、機械手支架、迴轉盤、張緊輪、鋼帶，其中機械手臂安裝在迴轉盤上，迴轉盤位於機械手支架上，機械手支架下安裝直線導軌；鋼帶繞制在迴轉盤、張緊輪、驅動盤上，驅動盤通過鋼帶、迴轉盤、張緊輪控制機械手臂旋轉。
本實用新型的有益效果是1.結構簡單有效，使用壽命長。
2.該裝置採用部件少，可靠性高、易維護。
圖1是本實用新型的示意圖。
圖2是本實用新型的鋼帶繞向示意圖。
其中1-晶片臺2-晶片盒3-真空鎖4-定向臺5-機械手臂6-直線導軌7-驅動盤8-機械手支架9-迴轉盤10-張緊輪11-鋼帶。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步介紹，但不作為對本實用新型的限定。
如圖1所示，晶片傳輸機械手裝置包括機械手臂5、直線導軌6、驅動盤7、機械手支架8、迴轉盤9、張緊輪10、鋼帶11，其中機械手臂5安裝在迴轉盤9上，迴轉盤9位於機械手支架8上，機械手支架8下安裝直線導軌6；鋼帶11繞制在迴轉盤9、張緊輪10、驅動盤7上。
本實用新型通過機械手臂5的直線和迴轉運動實現晶片的傳輸和定向。實現過程主要包括四部分從晶片盒2中取片經過真空鎖3送到定向臺4，定向臺4完成晶片定向，再將晶片送到晶片臺1，當注入完成後將晶片送到晶片盒2。
機械手臂5直線運動是通過機械手支架5沿直線導軌6運動實現的。機械手臂5到晶片盒2中晶片位置取片，然後將晶片搬運到定向臺4進行晶片定向，最後機械手臂5旋轉到晶片臺1位置將晶片放到晶片臺1上。將晶片送回晶片盒2時，不經過定向臺4。
驅動盤7是運動的驅動裝置，迴轉盤9是機械手臂5旋轉運動的實現機構。
如圖2所示，鋼帶11下圓弧位置為驅動盤7的安裝位置，上圓弧位置為迴轉盤9的安裝位置；驅動盤7驅動鋼帶11經過張緊輪10帶動迴轉盤7作迴轉運動，從而驅動機械手臂5運動。
磁流體裝置(圖中未示)實現真空密封，磁流體裝置(圖中未示)的一端安裝伺服電機(圖中未示)，一端安裝驅動盤7，通過控制電機旋轉角度精確控制驅動盤7的轉動。
本發明新型的特定實施例已對本實用新型的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本實用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本實用新型專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求1.一種晶片傳輸機械手裝置，其特徵在於包括機械手臂、直線導軌、驅動盤、機械手支架、迴轉盤、張緊輪、鋼帶，其中機械手臂安裝在迴轉盤上，迴轉盤位於機械手支架上，機械手支架下安裝直線導軌；鋼帶繞制在迴轉盤、張緊輪、驅動盤上，驅動盤通過鋼帶、迴轉盤、張緊輪控制機械手臂旋轉。
專利摘要本實用新型公開了一種晶片傳輸機械手裝置，該裝置包括機械手臂、直線導軌、驅動盤、機械手支架、迴轉盤、張緊輪、鋼帶，其中機械手臂安裝在迴轉盤上，迴轉盤位於機械手支架上，機械手支架下安裝直線導軌；鋼帶繞制在迴轉盤、張緊輪、驅動盤上，驅動盤通過鋼帶、迴轉盤、張緊輪控制機械手臂旋轉。本實用新型結構簡單有效，使用壽命長；採用部件少，可靠性高、易維護。
文檔編號B25J9/02GK2912932SQ20062000818
公開日2007年6月20日 申請日期2006年3月17日 優先權日2006年3月17日
發明者許波濤, 郭健輝, 易文杰, 伍三忠 申請人:北京中科信電子裝備有限公司