高精度x射線粘料定向儀的製作方法

2023-05-27 08:05:46 2

專利名稱：高精度x射線粘料定向儀的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及的是根據X射線衍射原理，用X射線測定水晶晶棒材料的幾何表面與內部晶面間的角度，保證晶棒粘結精度的光機電一體化的精密測量儀器。
在上述整體方案中，其數顯器為顯示計數器輸出值並可比較、貯存峰值的數字/模擬率表。
本技術方案中，避開了現有X射線定向儀均經Z面來測定晶棒晶面角的測量光路結構形式，以反射能力很強的大R面作為測量光路中的檢測構件，解決了現有晶棒粘料技術中無法應用高精度X射線定向儀、直接影響測量精度的現實矛盾。本技術的應用不僅可以使晶棒粘料精度能夠達到±15″檔次，而且本技術中採用了顯示計數器輸出值並記憶鎖定峰值的數字/模擬率表，改變了在一定範圍中盲目尋找峰值的測量現狀，使測量精度達到±15″檔次得到保證，還因採用了高分辯率的編碼器和數顯器，使最小讀數達到1″，共同為進行高質量、高精度晶體切片打下了堅實的技術基礎。另外，本技術中料板的鎖定採用了電磁鐵結構，使之符合了鎖定時鎖緊力儘可能大而牢固、取下時鎖緊力儘可能小而輕便的使用要求，確保滑板基準側準確性的長久性，加之採用了高精密導軌，從結構上完善了晶棒粘料操作質量，確保了晶棒粘料的高精度要求。綜上所述，本技術具有晶棒粘料精度高、便於操作、測量工作效率高的優點，並可使操作誤差降至最低。
權利要求1.一種高精度X射線粘料定向儀，其結構組成包括X射線管(1)、測晶平臺(15)、計數器(4)、放大器、數顯器(5)及支持它們工作的電氣機構和由X射線管至計數器的測定晶體材料內部晶面角的測量光路，還包括有設置於測晶平臺上用於粘結晶棒的粘料機構，其特徵在於測量光路為由X射線管(1)發出的X射線經單色器(2)、以大R面為檢測面的被測晶棒(3)至計數器(4)構成，粘料機構包括平臺上的託板(9)、滑板(14)和滑板上的料板定位機構，託板(9)上固定設有橫跨滑板(14)之上的橫梁(16)，橫梁上設有晶棒大R面的定位頂針(6)和微調晶棒角的微調器(13)，滑板與託板之間設有精密導軌(10)，滑板的料板定位機構設有電磁鐵。
2.根據權利要求1所述的定向儀，其特徵在於數字/模擬率表(5)為最大值比較、貯存的數字/模擬率表。
3.根據權利要求1所述的定向儀，其特徵在於滑板的料板定位機構為設置其一側的電磁鐵基準凸臺(7)。
4.根據權利要求1所述的定向儀，其特徵在於滑板(14)按大R面的晶面角與X射線管(1)所在的作標線以+X晶面向上或向下兩種測試方式中選擇傾斜角設置。
專利摘要本實用新型涉及的是依據X射線衍射原理來完成晶棒高精度粘結的光機電一體化的精密定向儀，該定向儀包括X射線管、測晶平臺、計數器、放大器、數顯器、測量光路和設置於測晶平臺上用於粘結晶棒的粘料機構，其測量光路為X射線管發出的X射線經單色器、以大R面為檢測面的被測晶棒至計數器構成，粘料機構包括平臺上的託板、滑板和滑板上的料板定位機構，滑板與託板之間通過精密導軌滑動配合，滑板的料板定位機構中設有電磁鐵。本技術具有晶棒粘板精度高、便於操作、測量工作效率高的優點，並可使操作誤差降至最低。
文檔編號G01N23/20GK2553377SQ0227403
公開日2003年5月28日 申請日期2002年7月4日 優先權日2002年7月4日
發明者趙久, 甄偉 申請人:趙久