光刻機其實可以簡單理解（一文看懂光刻機）

2023-07-26 04:35:55 1

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來源：ASML阿斯麥光刻

隨著晶片製造工藝的持續微縮，光刻機在過去幾十年裡也有了跨越性的發展。現在正在被臺積電等先進工廠採用的EUV光刻記，更是成為了大家關照的焦點。究竟光刻機是怎麼工作的？我們來看一下ASML的科普。而要了解其原理，首先從了解其外面的保護殼開始。

視頻來源：Cymer官方網站

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