自動溫控清洗皿的製作方法

2023-07-25 20:16:11 1

專利名稱：自動溫控清洗皿的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及藍寶石晶片清洗的器皿，尤其是一種自動控溫和保溫的清洗器 皿。
背景技術：
目前，在石英晶片加工行業，對晶片上的粘著物清洗都採用煤氣加熱或電加熱方 式對清洗器皿進行加熱，直至煮沸清洗器皿內的清洗液，實現對晶片進行清洗，上述清洗方 式需不停燒氣或始終通電，對加熱裝置供給熱量，當需要停下時，因節能的需要，關閉煤氣 或電源，造成清洗器皿內清洗液降溫至冷卻，當再次清洗使用時，又需要燒煤氣或通電，重 復加熱，因此上述加熱器皿的缺點是能量消耗大，使得生產成本高；同時由於加熱器皿不密 閉，會產生大量的氣體，既帶來環境汙染，又惡化工人的工作環境。

實用新型內容本實用新型的目的就是解決晶片清洗器皿因能量消耗大，使用成本高，並產生氣 體汙染環境的問題。本實用新型採用的技術方案是自動溫控清洗皿，其特徵是它包括外槽、位於外槽 內的內槽和加熱箱及位於加熱箱內的加熱裝置，所述的加熱箱位於內槽的下部，加熱裝置 固定在加熱箱內，所述的外槽與內槽和加熱箱之間設有間隙，間隙內充有保溫棉，內槽上部 設有對內槽進行密封的封蓋，外槽的底部設有底座。採用上述技術方案，內槽為清洗槽，外槽為清洗外殼，內槽內盛放清洗液，當將清 洗液加熱至清洗溫度後，即可對晶片進行清洗，當不需清洗時，由於保溫棉的保溫作用，散 失的熱量很少，再次清洗時，只需加熱很短時間即可實現達到清洗溫度。上述的加熱裝置為紅外線加熱器。為監控內槽內的溫度，所述內槽內設有溫度傳感器。綜上所述，本實用新型有益效果是一是節省能源，據測算，用煤氣時每隻清洗器 皿每月平均需15公斤/罐的氣10瓶，電加熱每隻清洗器皿每月平均用電1080度，本實用 新型每月只需用電360度，節能了能源，降低了成本；同時本實用新型由於設有溫控裝置， 因此不分產生過高的溫度，從而不會產生過多的氣體汙染環境。

圖1為本實用新型結構示意圖。圖中，1、封蓋，2、溫度傳感器，3、內槽，4、保溫棉，5、紅外線加熱器，6、加熱箱，7、底
座，8、外槽。
具體實施方式
自動溫控清洗皿，如圖1所示，它包括外槽8、位於外槽8內的內槽3和加熱箱6及位於加熱箱6內的加熱裝置，加熱箱6位於內槽3的下部，加熱裝置固定在加熱箱6內，外 槽8與內槽3和加熱箱6之間設有間隙，間隙內充有保溫棉4，內槽3上部設有對內槽3進 行密封的封蓋1，外槽8的底部設有底座7。加熱裝置為紅外線加熱器5。內槽3內設有溫 度傳感器2。
權利要求1.自動溫控清洗皿，其特徵是它包括外槽[8]、位於外槽[8]內的內槽[3]和加熱箱[6]及位於加熱箱W]內的加熱裝置，所述的加熱箱[6]位於內槽[3]的下部，加熱裝置固 定在加熱箱W]內，所述的外槽[8]與內槽[3]和加熱箱[6]之間設有間隙，間隙內充有 保溫棉W]，內槽[3]上部設有對內槽[3]進行密封的封蓋[1]，外槽[8]的底部設有底座[7]。
2.根據權利要求1所述的自動溫控清洗皿，其特徵是所述的加熱裝置為紅外線加熱器[5]0
3.根據權利要求1或2所述的自動溫控清洗皿，其特徵是所述內槽[3]內設有溫度傳 感器[2]。
專利摘要本實用新型公開了一種自動溫控清洗皿，其特徵是它包括外槽[8]、位於外槽[8]內的內槽[3]和加熱箱[6]及位於加熱箱[6]內的加熱裝置，所述的加熱箱[6]位於內槽[3]的下部，加熱裝置固定在加熱箱[6]內，所述的外槽[8]與內槽[3]和加熱箱[6]之間設有間隙，間隙內充有保溫棉[4]，內槽[3]上部設有對內槽[3]進行密封的封蓋[1]，外槽[8]的底部設有底座[7]。本實用新型大大節約了能源，降低了使用成本，不會產生氣體汙染環境的問題。
文檔編號H01L21/02GK201918366SQ20102050355
公開日2011年8月3日 申請日期2010年8月21日 優先權日2010年8月21日
發明者張學炎 申請人:銅陵市琨鵬光電科技有限公司