一種進氣歧管壓力傳感器的製作方法
2023-07-25 04:17:16 1
專利名稱：一種進氣歧管壓力傳感器的製作方法
技術領域：
一種進氣歧管壓力傳感器技術領域[0001]本實用新型涉及一種傳感器，尤其涉及一種進氣歧管壓力傳感器。
背景技術：
[0002]進氣歧管壓力傳感器，是D型(速度密度型)燃油噴射系統中非常重要的傳感器，其作用是將進氣歧管內的壓力變化轉換成電壓信號，電控單元控制系統(ECU)依據該信號和發動機轉速來確定進入氣缸內的空氣量。目前，在汽車上使用的基本上都是半導體壓敏電阻式進氣歧管壓力傳感器，這種半導體壓敏電阻式進氣歧管壓力傳感器阻容元件比較多，在使用時會產生溫度漂移帶來的誤差。另一方面，採用可變電阻調節其輸出電壓，控制精度不聞。實用新型內容[0003]本實用新型的目的是提供一種採用電容法控制的進氣歧管壓力傳感器。[0004]為實現上述目的，本實用新型提供了一種進氣歧管壓力傳感器。該傳感器包括殼體、基板、壓力感應晶片和專用集成電路晶片，所述基板放置於所述殼體內；所述壓力感應晶片和所述專用集成電路晶片均放置於所述基板上，所述壓力感應晶片用於將壓力變化轉換成電容變化；所述專用集成電路晶片的信號輸入端與所述壓力感應晶片輸出端相連接，用於測量壓力感應晶片的電容變化量，並將測量結果轉換為數位訊號輸出，同時也提供與外接電路的接口。[0005]本實用新型通過採用壓力感應晶片，將壓力變化轉換為電容變化，並通過所述專用集成電路晶片對測量到的電容變化量進行線性化處理後再輸入電控單元(ECU)。與現有技術相比，本實用新型具有結構新穎、操作簡單、控制精度高等優點。
[0006]圖1是根據本實用新型實施例的進氣歧管壓力傳感器的結構圖。
具體實施方式
[0007]下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。[0008]圖1是根據本實用新型實施例的進氣歧管壓力傳感器的結構圖。[0009]如圖1所示，該實施例的進氣歧管壓力傳感器包括壓力感應晶片1、矽應變膜2、真空腔體3、專用集成電路晶片4、基板5、焊盤6、引線7、裝片膠8、殼體9。其中，壓力感應晶片I通過裝片膠8固定在基板5上，基板5為陶瓷基板或印刷線路板，其上面設有用於內部互連的線路以及焊盤6。裝片膠8可以採用環氧膠、矽膠、銀漿或金屬焊料中的任意一種，其用於固定壓力感應晶片I和專用集成電路晶片4。壓力感應晶片I可以包括矽應變膜2、真空腔體3，通過外界氣壓在所述矽應變膜2表面形成的上下壓力差，使得矽應變膜2上的兩極板間距發聲變化，進而將壓力變化轉換成電容變化。基板5上設有專用集成電路晶片4，專用集成電路晶片4的信號輸入端通過引線7與壓力感應晶片I輸出端相連接，專用集成電路晶片4的信號輸出端通過引線7連接焊盤6，焊盤6設有與外接電路連接的輸入/輸出埠。其中，引線7可以採用鋁線、銅線或者金線中的任意一種，其用於傳輸電信號，電信號通過導通孔11連接到焊盤6。當發動機工作時，外界大氣壓經進氣口 10作用在矽應變膜2上，由於矽應變膜2的一面是真空腔體3，另一面導入進氣歧管壓力越高，矽應變膜2變形越大，其膜片上的兩極板間距也就越大，此時壓力的變化就轉換成了電容的變化。通過專用集成電路晶片4測量電容的變化量並將測量結果轉換為數位訊號進行線性化處理後輸出，電控單元控制系統(ECU)依據該輸出信號和發動機轉速來確定進入氣缸內的空氣量。以上所述的具體實施方式
，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施方式
而已，並不用於限定本實用新型的保護範圍，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1.一種進氣歧管壓力傳感器，包括殼體、基板、壓力感應晶片和專用集成電路晶片，所述基板放置於所述殼體內；所述壓力感應晶片和所述專用集成電路晶片均放置於所述基板上，所述壓力感應晶片用於將壓力變化轉換成電容變化；所述專用集成電路晶片的信號輸入端與所述壓力感應晶片輸出端相連接，用於測量壓力感應晶片的電容變化量，並將測量結果轉換為數位訊號輸出，同時也提供與外接電路的接口。
2.根據權利要求1所述的進氣歧管壓力傳感器，其特徵在於，所述壓力感應晶片包括矽應變膜和真空腔體，通過外界氣壓在所述矽應變膜表面形成的上下壓力差，使得矽應變膜上的兩極板間距發聲變化，進而將壓力變化轉換成電容變化。
3.根據權利要求1所述的進氣歧管壓力傳感器，其特徵在於，所述基板為陶瓷基板或印刷線路板，所述基板上面設有用於內部互連的線路以及焊盤。
4.根據權利要求3所述的進氣歧管壓力傳感器，其特徵在於，所述焊盤用於提供與外接電路連接的輸入/輸出埠。
5.根據權利要求1所述的進氣歧管壓力傳感器，其特徵在於，還包括引線，用於傳輸電信號。
6.根據權利要求1所述的進氣歧管壓力傳感器，其特徵在於，還包括裝片膠，用於固定所述壓力感應晶片和所述專用集成電路晶片。
專利摘要本實用新型涉及一種進氣歧管壓力傳感器，該傳感器包括殼體、基板、壓力感應晶片和專用集成電路晶片，所述基板放置於所述殼體內；所述壓力感應晶片和所述專用集成電路晶片均放置於所述基板上；所述專用集成電路晶片的信號輸入端與所述壓力感應晶片輸出端相連接。本實用新型通過採用壓力感應晶片，將壓力變化轉換為電容變化，並通過所述專用集成電路晶片對測量到的電容變化量進行線性化處理後再輸入電控單元(ECU)。與現有技術相比，本實用新型具有結構新穎、操作簡單、控制精度高等優點。
文檔編號G01L23/24GK203011622SQ20122059690
公開日2013年6月19日 申請日期2012年11月13日 優先權日2012年11月13日
發明者張毅, 陳利軍 申請人:無錫康森斯克電子科技有限公司