晶片清潔裝置的製作方法

2023-07-08 09:42:11 3

專利名稱：晶片清潔裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體專用設備晶片清潔裝置技術領域
背景技術：
半導體專用設備在進行晶片加工的過程中，需要用毛刷與晶片接觸進行清潔，以 去除雜質。常見的清潔裝置由電機通過滾珠絲槓帶動毛刷上下移動，這樣存在一些問題，如 結構複雜、密封性不好、柔性差等，從而影響了加工質量和效率的提高。

發明內容
本發明的目的是提供一種晶片清潔裝置，不僅可使毛刷與晶片柔性接觸，有效防 止損傷晶片，可大大提高清潔質量和效率，可靠性和穩定性較高，而且具有結構簡單緊湊、 使用方便、壽命長的特點。本發明是這樣實現的一種晶片清潔裝置，包括驅動電機，其特徵在於驅動電機通 過安裝座安裝在缸體裝置的活塞杆上，驅動電機的軸線和活塞杆運動方向平行，電機軸和 轉軸連接，轉軸的端部通過彈性支架與毛刷連接。為使彈性更好，所述的彈性支架的較好結構及連接關係為下圓片通過防松螺帽 固定在轉軸的端部，彈性支板的上端與下圓片固定聯接，下端與毛刷聯接。為使轉動更穩定精確，結構更合理，所述的轉軸最上端可通過聯軸器與驅動電機 固定在安裝座上端的孔內，轉軸為階梯軸，通過兩個角接觸球軸承安裝在在軸承套中，軸 承壓蓋和螺釘壓緊軸承外圈並與軸承套固定連接，軸承螺帽通過轉軸上的螺紋壓緊軸承內 圈。所述的兩個角接觸球軸承之間安裝有內外圈軸套，角接觸球軸承與軸承螺帽之間 安裝有內圈軸套，較好。為使潤滑更好，轉動精度高，所述的轉軸與軸承套之間，軸承壓蓋與軸承螺帽之間 均設有徑向迷宮密封。所述的缸體裝置可為氣缸或油缸裝置。本發明的積極效果是能有效解決現有技術中存在的問題，達到了發明目的；由 氣缸實現直線運動，使毛刷與晶片接觸時，彈性支板和下圓片也產生變形，可進一步緩衝毛 刷與晶片之間的作用力；不僅可使毛刷與晶片柔性接觸，有效防止損傷晶片，可大大提高清 潔質量和效率，可靠性和穩定性較高，而且具有結構簡單緊湊、使用方便、壽命長的特點。尤 其適用於半導體專用設備上。


圖1是本發明裝置的結構示意圖。圖中1-驅動電機、2-安裝座、3-聯軸器、4-轉軸、5-擋板、6-角接觸球軸承、7-軸 承套、8-軸承壓蓋、9-軸承螺帽、10-下圓片、11-防松螺帽、12-彈性支板、13-毛刷、14-缸體裝置(氣缸或油缸)。
具體實施例方式以下結合附圖和較佳實施例對本發明進一步說明，但不作為對本發明的限定。參見圖1，該晶片清潔裝置，驅動電機1通過安裝座2安裝在缸體裝置14的活塞杆 上，驅動電機1的軸線和活塞杆的運動方向相平行，電機軸和轉軸4連接，轉軸4的端部和 毛刷13連接。轉軸4的端部通過彈性支架和毛刷13連接。彈性支架的結構及連接關係為 下圓片10通過防松螺帽11固定在轉軸4的端部，彈性支板12的上端與下圓片10固定聯 接，下端與毛刷13聯接。轉軸4最上端通過聯軸器3與驅動電機1固定在安裝座2上端的 孔內，轉軸4為階梯軸，通過兩個角接觸球軸承6安裝在在軸承套7中，軸承壓蓋8和螺釘 壓緊軸承外圈並與軸承套7固定連接，軸承螺帽9通過轉軸4上的螺紋壓緊軸承內圈。兩 個角接觸球軸承6之間安裝有內外圈軸套，角接觸球軸承6與軸承螺帽9之間安裝有內圈 軸套。轉軸4與軸承套7之間，軸承壓蓋8與軸承螺帽9之間均設有徑向迷宮密封。安裝 座2與氣缸聯接，由其帶動上下移動，擋板5固定在安裝座2的外側。工作時，由氣缸帶動安裝底座上下運動，使毛刷接觸晶片。驅動電機1通過聯軸器 3帶動毛刷9旋轉運動，毛刷的轉速和轉向可通過調節電機參數實現。氣缸輸入氣壓可通 過減壓閥控制，以控制毛刷與晶片的接觸程度，達到不同的清潔效果。下圓片10和彈性支 板12在毛刷與晶片接觸時產生變形，以緩衝其相互作用力。由氣缸實現直線運動，簡化結 構。毛刷與晶片柔性接觸，防止損傷晶片；提高清潔質量；具有結構緊湊，安裝簡單、密封性 好、壽命長的特點。
權利要求
一種晶片清潔裝置，包括驅動電機(1)，其特徵在於驅動電機(1)通過安裝座(2)安裝在缸體裝置(14)的活塞杆上，驅動電機(1)的軸線和活塞杆的運動方向相平行，電機軸和轉軸(4)連接，轉軸(4)的端部通過彈性支架與毛刷(13)連接。
2.根據權利要求1所述的晶片清潔裝置，其特徵在於所述的彈性支架的結構及連接關 係為下圓片(10)通過防松螺帽(11)固定在轉軸⑷的端部，彈性支板(12)的上端與下 圓片(10)固定聯接，下端與毛刷(13)聯接。
3.根據權利要求1所述的晶片清潔裝置，其特徵在於所述的缸體裝置(14)為氣缸裝置
4.根據權利要求1、2或3所述的晶片清潔裝置，其特徵在於所述的轉軸(4)最上端通 過聯軸器(3)與驅動電機(1)固定在安裝座(2)上端的圓孔內，轉軸(4)為階梯軸，通過兩 個角接觸球軸承(6)安裝在在軸承套(7)中，軸承壓蓋(8)和螺釘壓緊軸承外圈並與軸承 套(7)固定連接，軸承螺帽(9)通過轉軸(4)上的螺紋壓緊軸承內圈。
5.根據權利要求4所述的晶片清潔裝置，其特徵在於所述的兩個角接觸球軸承(6)之 間安裝有內外圈軸套，角接觸球軸承(6)與軸承螺帽(9)之間安裝有內圈軸套
6.根據權利要求4所述的晶片清潔裝置，其特徵在於所述的轉軸(4)與軸承套(7)之 間，軸承壓蓋⑶與軸承螺帽(9)之間均設有徑向迷宮密封。
全文摘要
本發明提供一種晶片清潔裝置，涉及半導體專用設備晶片清潔裝置技術領域。驅動電機通過安裝座安裝在缸體裝置的活塞杆上，驅動電機的軸線和活塞杆運動方向平行，電機軸和轉軸連接，轉軸的端部通過彈性支架與毛刷連接。本發明能有效解決現有技術中存在的問題，不僅可使毛刷與晶片柔性接觸，有效防止損傷晶片，可大大提高清潔質量和效率，可靠性和穩定性較高，而且具有結構簡單緊湊、使用方便、壽命長的特點。尤其適用於半導體專用設備上。
文檔編號B08B1/04GK101884981SQ201010195939
公開日2010年11月17日 申請日期2010年6月10日 優先權日2010年6月10日
發明者王仲康, 衣忠波, 袁立偉 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所