還原爐底盤的雙層冷卻結構的製作方法
2023-07-28 00:00:46 1
還原爐底盤的雙層冷卻結構的製作方法
【專利摘要】本發明涉及一種還原爐底盤的雙層冷卻結構，所述結構包括底盤上面板（1）、底盤中面板（2）、底盤下面板（3）、導流板（4）、加強板（5）、冷卻水進水管（6）、冷卻水出水管（7）、假管（8）和電極座（9），底盤中面板（2）將底盤冷卻腔分為上、下兩個腔體（10、11），導流板（4）呈螺旋狀設置於上腔體（10）內，冷卻水進水管（6）接入上腔體（10），加強板（5）設置於下腔體（11）內，加強板（5）將所有的電極座（9）拉撐在一起，冷卻水出水管（7）由下腔體（11）接出。本發明採用了雙層冷卻結構，將導流與加強分設於兩個腔體，並且利用上腔體升溫後的冷卻水加熱底盤下面板，從而減小上下面板溫差，改善底盤溫差變形。
【專利說明】還原爐底盤的雙層冷卻結構
【技術領域】
[0001]本發明涉及多晶矽還原爐，具體涉及一種多晶矽行業大型還原爐底盤的冷卻及其加強結構。
【背景技術】
[0002]改良西門子法生產多晶矽，其方法主要是利用氫氣還原三氯氫矽，從而生成多晶矽，這個氫還原設備就是我們所說的還原爐。
[0003]目前國際多晶矽價格已滑落至20$/kg，各生產企業的成本壓力越來越大，為了降低還原電耗，所以目前還原爐也越來越大型化，36對棒還原爐已成為目前國內市場的主流。
[0004]目前多晶矽行業大型還原爐大多採用上下兩塊面板(如圖4)，由於底盤直徑較大，且冷卻腔深度較深，冷卻水經過底盤冷卻腔時，往往上層的冷卻水與下層的冷卻水有較大溫差，而且現有結構只有一個冷卻腔，其腔內的導流板無法兼顧加強作用，所以運行過程中往往由於上下面板的溫差，造成底盤發生溫差變形。
【發明內容】
[0005]本發明的目的在於克服上述不足，提供一種既能有效冷卻底盤且能加固底盤的新型冷卻結構，保證設備的安全運行的還原爐底盤雙層冷卻結構。
[0006]本發明的目的是這樣實現的:一種還原爐底盤的雙層冷卻結構，所述結構包括底盤上面板、底盤中面板、底盤下面板、導流板、加強板、冷卻水進水管、冷卻水出水管、假管和電極座，底盤中面板介於底盤上面板與底盤下面板之間，底盤中面板將底盤冷卻腔分為上、下兩個腔體，這樣能避免冷卻水溫度分層；假管將上、下兩個腔體和相連通，導流板呈螺旋狀設置於上腔體內，螺旋導流保證底盤上面板的冷卻無死區；冷卻水進水管接入上腔體，加強板設置於下腔體內，加強板將所有的電極座拉撐在一起，增加底盤整體強度、剛度；冷卻水出水管由下腔體接出。另外底盤冷卻水先通過上腔體，升溫後的冷卻水再通入下腔體，此時升溫後的冷卻水將對底盤下面板加熱，這樣就能有效降低底盤上、下面板的溫差，改善溫差變形。
[0007]本發明的有益效果是:
本發明採用了雙層冷卻腔，在結構上將導流與加強分開，減小了還原爐底盤上下面板的溫差，改善了其由溫差引起的變形。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0008]圖1為本發明還原爐底盤的雙層冷卻結構示意圖。
[0009]圖2為本發明的上腔室俯視圖。
[0010]圖3為本發明的下腔室俯視圖。
[0011]圖4為以往還原爐底盤的冷卻結構示意圖。
[0012] 圖中附圖標記:底盤上面板1、底盤中面板2、底盤下面板3、導流板4、加強板5、冷卻水進水管6、冷卻水出水管7、假管8、電極座9、上腔體10、下腔體11。
【具體實施方式】[0013]參見圖1，圖1為本發明還原爐底盤的雙層冷卻結構示意圖。從圖1可以看出，本發明還原爐底盤的雙層冷卻結構，包括底盤上面板1、底盤中面板2、底盤下面板3、導流板
4、加強板5、冷卻水進水管6、冷卻水出水管7、假管8和電極座9，底盤中面板2介於底盤上面板I與底盤下面板3之間，底盤中面板2將底盤冷卻腔分為上、下兩個腔體10和11，假管8將上、下兩個腔體10和11相連通，導流板4呈螺旋狀設置於上腔體10內，如圖2，冷卻水進水管6接入上腔體10，加強板5設置於下腔體11內，加強板5將所有的電極座9拉撐在一起，呈井字形布置，如圖3，提高底盤的強度、剛度，冷卻水出水管7由下腔體11接出。底盤冷卻水通過冷卻水進水管6進入上腔體，然後順著導流板4螺旋導流，有效冷卻底盤上面板I，然後順著假管8進入底盤冷卻腔的下腔體，下腔體的冷卻水對底盤下面板3加熱後就順著冷卻水出水管7流出了還原爐冷卻腔。
【權利要求】
1.一種還原爐底盤的雙層冷卻結構，其特徵在於所述結構包括底盤上面板(I)、底盤中面板(2)、底盤下面板(3)、導流板(4)、加強板(5)、冷卻水進水管(6)、冷卻水出水管(7)、假管(8)和電極座(9)，底盤中面板(2)介於底盤上面板(I)與底盤下面板(3)之間，底盤中面板(2)將底盤冷卻腔分為上、下兩個腔體(10、11)，假管(8)將上、下兩個腔體(10、11)相連通，導流板(4)呈螺旋狀設置於上腔體(10)內，冷卻水進水管(6)接入上腔體(10)，加強板(5 )設置於下腔體(11)內，加強板(5 )將所有的電極座(9 )拉撐在一起，冷卻水出水管(7)由下腔體(1 1)接出。
【文檔編號】C01B33/03GK103896272SQ201210589117
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2012年12月31日 優先權日:2012年12月31日
【發明者】趙建, 盛斌, 董黎明, 王中華, 徐辰盛 申請人:江蘇雙良新能源裝備有限公司