一種剝離矽片的鏟刀的製作方法
2023-07-11 05:58:01 3
專利名稱：一種剝離矽片的鏟刀的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種鏟刀，具體涉及一種剝離矽片的鏟刀，用於半導體材料的生產。
背景技術：
隨著電子信息技術的日新月異，對襯底的要求越來越高，比如平坦度水平，而提高平坦度水平必然促使有蠟拋光技術的廣泛應用。在有蠟拋光過程中，剝離是必不可少的環節，剝離過程中鏟刀的好壞直接影響到產品的良率水平。目前，被廣泛應用到有蠟拋光過程中的剝離鏟刀，如圖1-2所示，剝離鏟刀，包括刀柄120和刀身110，所述刀柄120與刀身110連接。刀身上設置安裝孔130。刀身110的下面為腹面114，刀身110的上面為背面113。腹面114為一水平設置的平面，背面113為一斜平面。刀身110的前端可以加工成厚度0. 5mm。由於刀身110的腹面113 —般採用平面設計，在使用過程中受人為施力方向的影響，刀身110往往朝下彎曲，使得尖端精度較高的設計不能發揮作用。剝離鏟刀多採用特氟龍材料所制，儘管其彈性較好，但耐磨性較差，鏟刀前端磨損速率較快，需重複加工，才能保證正常使用。
實用新型內容本實用新型的目的在於，提供一種剝離矽片的鏟刀，以克服現有剝離鏟刀所存在的刀身的腹面為平面設計、尖端精度差、刀身採用特氟龍材料所制、耐磨性較差等缺點和不足。本實用新型增加了剝離鏟刀的使用便捷度。一種剝離矽片的鏟刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄與刀身連接，其特徵在於所述刀身的下面為腹面，上面為背面，腹面設置為弧面結構；背面設置為斜平面，所述刀身採用聚醚醚酮樹脂製成一體式結構。其中，所述刀身腹面的弧面的曲率半徑R4為1300 1800mm。其中，所述刀身的前端厚度小於刀身的後端厚度。進一步，所述前端厚度為0.2mm。其中，所述刀柄上設置安裝孔。進一步，所述安裝孔的半徑R3為2 5mm。所述剝離鏟刀的刀柄依然採用PVC材料製成條狀結構。本實用新型的有益效果1、本鏟刀的腹面為弧面結構，在使用過程中刀身本來就朝下彎曲，有效增加了操作便捷度。2、由於本鏟刀的刀身採用聚醚醚酮樹脂材料製作，較特氟龍剝離鏟刀的耐磨性有很大提高，一次加工成型後可長期使用，無需再次加工，大大增加了鏟刀的使用壽命。3、本實用新型的尖端精度好，刀身的前端的厚度為0. 2mm。[0019]4、傳統的鏟刀如果採用倒角方法製造，則誰銳角或者直角的邊緣。本實用新型的刀身的左前方和右前方設置為圓弧形結構，在使用的過程中不容易挫傷產品，減少產品的破損、缺口甚至碎片的產生，從而產品的提高合格率。
圖1為現有技術的主視圖。圖2為現有技術的仰視圖。圖3為本實用新型的主視圖。圖4為本實用新型的仰視圖。附圖標記刀身110、背面113、腹面114、刀柄120、安裝孔130 ；刀身210、背面213、腹面214、刀柄220、安裝孔230。
具體實施方式
以下結合具體實施例，對本實用新型作進一步說明。應理解，以下實施例僅用於說明本實用新型而非用於限定本實用新型的範圍。實施例一種剝離矽片的鏟刀，如圖3-4所示，包括刀身210和刀柄220、刀柄220與刀身 210連接，刀柄220上設置安裝孔230。刀身210包括前端、後端、背面213、腹面214。刀身210的前端的厚度小於後端的厚度。刀身的前端的厚度加工為0.2mm。刀身210的下面為腹面214，腹面214設置為弧面結構；刀身210的上面為背面 213，背面213設置為斜平面。腹面214的弧面的曲率半徑R4為1300 1800mm，優選為1500mm。將刀身210接上PVC的刀柄220，用螺釘通過安裝孔230固定於機器上即可使用。 安裝孔230的半徑R3為2 5mm，優選為2. 2mm。再次參看圖3，以刀身210為前方，刀身210為後方，則刀身210的左前方和右前方設置為圓弧形結構，且左圓弧2136的半徑Rl為10 20mm，優選為IOmm ；左圓弧2136的半徑R2為10 20mm，優選為10mm。傳統的鏟刀如果採用倒角方法製造，則誰銳角或者直角的邊緣。本鏟刀的背面弧度設計，在使用的過程中不容易挫傷產品，減少產品的破損、缺口甚至碎片的產生，從而產品的提高合格率另外，本剝離鏟刀的腹面214設置為弧面結構，當使用鏟刀進行剝離作業時，前端由於受矽片阻擋，腹面將發生彎曲，使腹面弧度增大，進而產生自然向前的彈性恢復力，在彈性恢復力作用下，前端高精度部分將輕易滑入矽片下方貼近陶瓷板的倒角縫隙內，使矽片剝離。這相比無弧度設計的鏟刀，大大增加了操作便捷度並且充分發揮了尖端高精度設計。刀身210採用聚醚醚酮樹脂(Polyetheretherketone，簡稱PEEK)通過壓鑄成型工藝製作成，再用高精度數控銑，將尖端加工到所需精度，如前端的厚度為0. 2mm。聚醚醚酮樹脂，是一種高端的特種工程塑料。其具有高彈性模量，高耐磨性能等特點。與特氟龍材料相比。它的層間斷裂韌性高IJ數量級，強度高25%，疲勞壽命高1倍。這種複合材料對衝擊損傷不敏感，在結構設計中損傷容限較大，一次加工成型後可長期使用， 無須再次加工，可以使鏟刀的使用壽命增加2年以上。刀柄220可採用聚氯乙烯(Polyvinylchloride，PVC)材料製作。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特徵和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和範圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型範圍內。本實用新型要求保護範圍由所附的權利要求書及其等同物界定。
權利要求1.一種剝離矽片的鏟刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄與刀身連接，其特徵在於所述刀身的下面為腹面，上面為背面，腹面設置為弧面結構；背面設置為斜平面，所述刀身採用聚醚醚酮樹脂製成一體式結構。
2.根據權利要求1所述的鏟刀，其特徵在於，所述刀身腹面的弧面曲率半徑R4為 1300 1800mm。
3.根據權利要求1所述的鏟刀，其特徵在於，所述刀身的前端的厚度小於刀身的後端的厚度。
4.根據權利要求3所述的鏟刀，其特徵在於，所述前端的厚度為0.2mm。
5.根據權利要求1所述的鏟刀，其特徵在於，所述刀柄上設置安裝孔。
6.根據權利要求5所述的鏟刀，其特徵在於，所述安裝孔的半徑R3為2 5mm。
專利摘要一種剝離矽片的鏟刀，包括刀柄和刀身，所述刀柄與刀身連接，所述刀身的下面為腹面，上面為背面，腹面設置為弧面結構；背面設置為斜平面，所述刀身採用聚醚醚酮樹脂製成一體式結構。刀柄依然採用PVC材料製成，刀柄上設置安裝孔。刀身採用聚醚醚酮樹脂材料製作，耐磨性有很大提高，增加了鏟刀的使用壽命。腹面採用弧面，有效增加了操作便捷度並且充分發揮了尖端高精度設計。
文檔編號H01L21/67GK202058708SQ201120150048
公開日2011年11月30日 申請日期2011年5月12日 優先權日2011年5月12日
發明者李彬, 洪漪, 邱昕, 龔祥 申請人:上海申和熱磁電子有限公司