準單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構的製作方法
2023-07-27 01:34:51 1
準單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種準單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構,包括坩堝平臺、石墨立柱、鋼立柱、託板、升降裝置、傳動軟軸和電機,所述坩堝平臺底面設有石墨立柱,石墨立柱向下伸出下保溫體外後與鋼立柱連接,鋼立柱向下伸出爐體後與水平設置的託板固定連接,爐體下固定設有升降裝置,升降裝置與託板連接,託板上設有傳動軟軸及電機,升降裝置由傳動軟軸連接帶動,傳動軟軸由電機連接帶動。本實用新型結構合理,使坩堝平臺在鑄錠爐保溫體內可以上下移動,滿足了準單晶矽鑄錠生產所需要的工藝要求。
【專利說明】準單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構
【技術領域】
[0001]本實用新型屬於準單晶鑄錠爐【技術領域】,特別涉及鑄錠爐中坩堝平臺的升降機構。
【背景技術】
[0002]準單晶是在多晶矽鑄錠爐上採用鑄造結晶的方式,經過一系列先進的工藝流程所生產出的具有高轉換率的準單晶矽片。其主要工藝是通過在準單晶爐內石英坩堝的底部放置籽晶,並在真空狀態下,採用精確分段控溫,保證矽料融化時籽晶部分融化,由此長出單晶。目前國內的多晶矽鑄錠爐主要是GT的結構,是坩堝、平臺不動,上發熱體、側發熱體及上保溫體上下移動。這種結構對多晶矽鑄錠爐可以滿足工藝要求,但在生產準單晶矽的鑄錠爐中就不能滿足工藝要求。為了滿足準單晶矽鑄錠的要求,鑄錠爐必須有嚴格的溫度梯度及凝固速度控制,適合的界面形狀,因此需要一個與之對應的精準熔化控制機構。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的在於提供一種準單晶鑄錠爐的坩堝平臺的升降機構,以滿足準單晶矽鑄錠生產所需要的工藝要求。
[0004]為實現上述目的,本實用新型採用以下方案:
[0005]一種準單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構,包括坩堝平臺、石墨立柱、鋼立柱、託板、升降裝置、傳動裝置、電機。
[0006]所述坩堝平臺底面設有石墨立柱,石墨立柱向下伸出下保溫體外後與鋼立柱連接,採用石墨立柱是因為保溫體內部的高溫環境;鋼立柱向下伸出爐體後與水平設置的託板固定連接,爐體下固定設有升降裝置,升降裝置與託板連接;託板上設有傳動裝置及電機,升降裝置由傳動軟軸連接帶動,傳動軟軸由電機連接帶動。
[0007]工作時,所述電機帶動傳動軟軸,傳動軟軸通過高精度滾珠絲槓升降裝置把其變成直線運動帶動託板上下運動,託板通過鋼立柱及石墨立柱帶動坩堝平臺實現升降運動。
[0008]本實用新型結構合理,使坩堝平臺在鑄錠爐內可以上下移動,滿足了準單晶矽鑄錠生產所需要的工藝要求。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的準單晶鑄錠爐及其坩堝平臺升降機構結構示意圖。
[0010]圖2為圖1的仰視圖。
[0011]圖中:1為爐體、2為上保溫體、3為坩堝平臺、4為石墨立柱、5為下保溫體、6為鋼立柱、7為升降裝置、8為電機、9為託板、10為傳動軟軸。
【具體實施方式】
[0012]以下結合實施例及其附圖對本實用新型做進一步詳細的說明:[0013]見圖1、圖2,一種準單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構,包括坩堝平臺3、石墨立柱
4、鋼立柱6、託板9、升降裝置7、傳動軟軸10、電機8。
[0014]如圖1、圖2所示,所述上保溫體2、下保溫體5內部的坩堝平臺3底面設有三根石墨立柱4,石墨立柱4向下伸出下保溫體5外與鋼立柱6連接,鋼立柱6向下伸出爐體I後與水平設置的託板9固定連接,爐體I下固定設有三個升降裝置7,升降裝置7的絲槓與託板9配合連接,託板9上設有傳動軟軸10及電機8,升降裝置7與傳動軟軸10連接,傳動軟軸10與電機8相連。
[0015]所述電機8帶動兩根傳動軟軸10,傳動軟軸10通過滾珠絲槓帶動三個升降裝置7旋轉,升降裝置7的絲槓旋轉轉換為託板9的上下運動,託板9通過三根鋼立柱6及石墨立柱4帶動坩堝平臺3實現升降運動。
[0016]以上所述的僅是本實用新型的優選實施方式,應當指出,對於本領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型原理的前提下,還可以作出若干變型和改進,這些也應視為屬於本實用新型的保護範圍。
【權利要求】
1.一種準單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構,其特徵在於:包括坩堝平臺、石墨立柱、鋼立柱、託板、升降裝置、傳動軟軸和電機; 所述坩堝平臺底面設有石墨立柱,石墨立柱向下伸出下保溫體外後與鋼立柱連接,鋼立柱向下伸出爐體後與水平設置的託板固定連接;爐體下固定設有升降裝置,升降裝置與託板連接;託板上設有傳動軟軸及電機,升降裝置由傳動軟軸連接帶動,傳動軟軸由電機連接帶動。
【文檔編號】C30B28/04GK203382849SQ201320463112
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2013年8月1日 優先權日:2013年8月1日
【發明者】水川, 許柏 申請人:安徽大晟新能源設備科技有限公司