一種真空低溫泵中的組合冷板的製作方法

2023-11-02 07:06:57

一種真空低溫泵中的組合冷板的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種真空低溫泵中的組合冷板，其陣列板的中心成型有貫穿的槽孔，槽孔相對側邊的陣列板上成型有縱向的固定板，陣列板插套在冷板支架上，陣列板的固定板靠在冷板支架的兩側板上，陣列板的固定板和冷板支架的側板插接有兩組相對的彎管，彎管的中部橫管壓靠在固定板上，兩組彎管上相對的一端分別螺接在連接管的兩端，連接管固定有與連接管相連通的進液管，進液管上端穿過冷板支架的上板和冷板的頂板並螺接有螺母，頂板通過螺母固定在冷板支架上。本發明其夠有效地將陣列板和頂板固定在冷板支架上。另外，其進液管可以與壓縮機相連通，從而增加冷板冷卻降溫的速度，從而提高了冷凝空氣的速度。
【專利說明】一種真空低溫泵中的組合冷板
【技術領域】:
[0001]本發明涉及真空低溫泵的【技術領域】，更具體地說涉及一種真空低溫泵中結構改進的組合冷板。
【背景技術】:
[0002]低溫泵，又稱冷凝泵，是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵。其可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用於半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。而作為其冷凝氣體所用的冷板則是其關鍵的部件。現有的低溫泵的二級冷板內一般設有一個陣列組合的冷板來增加冷凝空氣的目的，現有的陣列組合的冷板如圖1所示，其頂板I和陣列板2通過螺栓8固定在冷板支架3上，現有的冷板支架3的側壁一般較薄，其上的螺紋的牙一般較少，同時其冷板支架3—般採用紫銅製成，銅材材質較軟，所以其螺栓8易發生滑絲，從而頂板I和陣列板2未能穩固的固定在冷板支架3上。

【發明內容】
:
[0003]本發明的目的就是針對現有技術之不足，而提供一種結構改進的真空低溫泵中的組合冷板，其夠有效地將陣列板和頂板固定在冷板支架上。
[0004]為實現上述目的，本發明的真空低溫泵中的組合冷板包括有頂板和陣列板，其中，陣列板的中心成型有貫穿的槽孔，槽孔相對側邊的陣列板上成型有縱向的固定板，所述的陣列板插套在冷板支架上，陣列板的固定板靠在冷板支架的兩側板上，陣列板的固定板和冷板支架的側板插接有兩組相對的彎管，彎管的中部橫管壓靠在固定板上，兩組彎管上相對的一端分別螺接在連接管的兩端，連接管固定有與連接管相連通的進液管，進液管上端穿過冷板支架的上板和冷板的頂板並螺接有螺母，頂板通過螺母固定在冷板支架上。
[0005]作為上述技術方案的優選，所述的連接管上成型有貫穿連接管外壁的螺紋孔，進液管上成型有外螺紋，連接管螺接在進液管上，進液管成型有沉孔與連接管相連通。
[0006]作為上述技術方案的優選，所述的連接管兩端的管內壁上成型有螺旋方向相反的螺紋，彎管兩端成型有外螺紋，相對的彎管的外螺紋為螺旋方向相反的螺紋。
[0007]作為上述技術方案的優選，所述的陣列板的固定板上成型有通孔，彎管兩側的豎管穿插在固定板的通孔內。
[0008]本發明的有益效果在於:其利用彎管和進液管來固定連接頂板和陣列板，有效的將陣列板和頂板固定在冷板支架上避免了螺栓滑絲而致使頂板和陣列板從冷板支架脫落的現象。另外，其進液管可以與壓縮機相連通，從而增加冷板冷卻降溫的速度，從而提高了冷凝空氣的速度。
【專利附圖】

【附圖說明】:
[0009]下面結合附圖對本發明做進一步的說明:[0010]圖1為現有的組合冷板的結構示意圖；
[0011]圖2為本發明的結構示意圖；
[0012]圖3為本發明換角度的結構示意圖；
[0013]圖4為本發明的陣列板的結構示意圖。
[0014]圖中符號說明:
[0015]I 一頂板；2 —陣列板；3 —冷板支架；4 一彎管；5 —連接管；6 —進液管；7 —螺母；8 一螺栓；21 —槽孔；22 —固定板；23 —通孔。
【具體實施方式】:
[0016]以下所述僅為體現本發明原理的較佳實施例，並不因此而限定本發明的保護範圍。
[0017]見圖2至圖4所示:本發明的一種真空低溫泵中的組合冷板包括冷板的頂板I和陣列板2，陣列板2的中心成型有貫穿的槽孔21，槽孔21相對側邊的陣列板2上成有縱向的固定板22 ;陣列板2插套在『匚』字形的冷板支架3上，陣列板2的固定板22的靠在冷板支架3的兩側板上，陣列板2的固定板22和冷板支架3的側板插接有兩組相對的『匚』字形的彎管4，彎管4的中部橫管壓靠在固定板22上；兩組彎管4上相對的一端分別螺接在連接管5的兩端,連接管5固定有與連接管5相連同的進液管6,進液管6的上端穿過冷板支架3的上板和冷板的頂板I螺接有螺母7，頂板I通過螺母7固定在冷板支架3上。
[0018]連接管5上成型有貫穿連接管5外壁的螺紋孔，所述的進液管6上成型有外螺紋，所述的連接管5螺接在進液管6上,進液管6成型有沉孔與連接管5相連通。
[0019]連接管5兩端的管內壁上成型有螺旋方向相反的螺紋，彎管4的兩端成型有外螺紋，相對的彎管4的外螺紋為螺旋方向相反的螺紋。
[0020]陣列板2的固定板22上成型有通孔23，彎管4兩側的豎管穿插在固定板22的通孔23內。
[0021]本發明的工作原理如下:裝配時，彎管4穿插在陣列板2和冷板支架3上，兩彎管
4上螺紋接有連接管5，通過連接管5旋轉能夠減小相對的兩彎管4之間的距離，從而能夠將陣列板2穩固的固定在冷板支架3上，使其不容易脫落，利用進液管6連通彎管4，再將進液管6連接壓縮機，從而能使低溫的冷卻氣體進過陣列組合的冷板上，增加冷板冷卻降溫的速度，從而提高了冷凝空氣的速度。
【權利要求】
1.一種真空低溫泵中的組合冷板，它包括有頂板(I)和陣列板(2)，其中，陣列板(2)的中心成型有貫穿的槽孔(21)，槽孔(21)相對側邊的陣列板(2)上成型有縱向的固定板(22)，所述的陣列板(2)插套在冷板支架(3)上，陣列板(2)的固定板(22)靠在冷板支架(3)的兩側板上，其特徵在於:陣列板(2)的固定板(22)和冷板支架(3)的側板插接有兩組相對的彎管(4)，彎管(4)的中部橫管壓靠在固定板(22)上，兩組彎管(4)上相對的一端分別螺接在連接管(5 )的兩端，連接管(5 )固定有與連接管(5 )相連通的進液管(6 )，進液管(6 )上端穿過冷板支架(3)的上板和冷板的頂板(I)並螺接有螺母(7)，頂板(I)通過螺母(7)固定在冷板支架(3)上。
2.根據權利要求1所述的一種真空低溫泵中的組合冷板，其特徵在於:所述的連接管(5)上成型有貫穿連接管(5)外壁的螺紋孔，進液管(6)上成型有外螺紋，連接管(5)螺接在進液管(6 )上，進液管(6 )成型有沉孔與連接管(5 )相連通。
3.根據權利要求1所述的一種真空低溫泵中的組合冷板，其特徵在於:所述的連接管(5)兩端的管內壁上成型有螺旋方向相反的螺紋，彎管(4)兩端成型有外螺紋，相對的彎管(4 )的外螺紋為螺旋方向相反的螺紋。
4.根據權利要求1所述的一種真空低溫泵中的組合冷板，其特徵在於:所述的陣列板(2)的固定板(22)上成型有通孔(23)，彎管(4)兩側的豎管穿插在固定板(22)的通孔(23)內。
【文檔編號】F04B39/06GK103742389SQ201310495456
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年10月18日 優先權日:2013年10月18日
【發明者】黃文成 申請人:崑山珍實複合材料有限公司