一種壓力式流體溫度傳感裝置的製作方法

2023-12-09 20:11:56 3

專利名稱：一種壓力式流體溫度傳感裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種壓力式流體溫度傳感裝置。
背景技術：
流體溫度的測量最簡單的方法是用水銀溫度計測量。但其無法輸出電信號，不能自動採集數據，也不能與計算機或網絡連接，實現遠程監控。採用熱電偶和鉬電阻測量流體溫度雖能輸出電信號、自動採集數據；但由於探頭本身帶電，對易燃易爆流體存在安全隱患，同時探頭也易受環境電磁幹擾，影響測量結果的準確性.。

實用新型內容本實用新型的目的是提供一種壓力式流體溫度傳感裝置，該種流體溫度傳感裝置抗電磁幹擾，適於易燃易爆流體的測量；且能輸出電信號、可與計算機或網絡連接，實現遠程監控。本實用新型解決的技術問題，所採用的技術方案為一種壓力式流體溫度傳感裝置，其組成是密封的內裝感溫流體的剛性溫包、剛性溫包經連接導管與能輸出電信號的流體壓力傳感器的感壓腔連通。本實用新型的工作過程和原理是將剛性溫包置於被測溫度的流體環境中，溫包內的感溫流體(氣體或液體)感測到包外流體溫度會熱脹冷縮而產生相應的正、負壓力，該壓力通過連接導管傳遞至流體壓力傳感器的感壓腔，流體壓力傳感器測出感壓腔的壓力而輸出電信號，該輸出電信號隨包內流體壓力成比例地變化，包內流體壓力又與包外被測流體環境溫度成比例地變化，由此實現溫包外流體環境溫度的檢測。與現有技術相比，本實用新型的有益效果是一、該傳感器能輸出電信號，便於與計算機或網絡連接，實現遠程監控。二、溫包與採用電量信號輸出的流體壓力傳感器在空間上被連通導管分隔開來， 測量時與被測流體直接接觸的溫包不帶電，有較高的防燃、防爆性能和安全性，適於易燃易爆流體的測量。三、溫包對溫度的敏感效應非電磁效應，抗電磁幹擾能力強，適於電磁幹擾大的環境中使用。上述的連接導管的內徑為0.5-2. 0mm。這樣，連接導管實際上為毛細管，既能有效的將溫包內的壓力傳遞給感壓腔；同時，又能減小溫包因熱傳導對流體壓力傳感器的影響。上述的流體壓力傳感器為矽壓阻式流體壓力傳感器。上述的流體壓力傳感器為矽電容式流體壓力傳感器。這兩種流體壓力傳感器為微電子工藝製作，體積小，且其靈敏度高。這樣，可減小整個儀表的體積，並提高其測量精度。[0016]
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步的描述。
圖1為本實用新型實施例一的壓力式流體溫度傳感裝置的剖面結構示意圖。圖2為本實用新型實施例二的壓力式流體溫度傳感裝置的剖面結構示意圖。
具體實施方式
實施例一圖1示出，本實用新型的一種具體實施方式
是，一種壓力式流體溫度傳感裝置，其組成是一種壓力式流體溫度傳感裝置，其組成是密封的內裝感溫流體的剛性溫包1、剛性溫包1經連接導管11與能輸出電信號的流體壓力傳感器3的感壓腔5連通。本例的連接導管11的內徑為0. 5-2. 0mm。本例的流體壓力傳感器3為矽壓阻式流體壓力傳感器。實施例二圖2示出，本例的壓力式流體溫度傳感裝置3與實施例一基本相同，不同的僅僅是本例的流體壓力傳感器3為矽電容式流體壓力傳感器。本實用新型的剛性溫包1可用傳熱好且剛性強的材料製成，如銅、不鏽鋼、鋁、鈦、 鎢等金屬，或陶瓷、玻璃等材料製成。感溫流體可以為空氣、氮氣、氬氣等氣體，也可以是氟裡昂、乙醚、氯甲烷等液體。連接導管11則可用銅、不鏽鋼、鈦或玻璃等製成。本實用新型的流體壓力傳感器3除可以是以上的矽壓阻式和矽電容式流體壓力傳感器外，還可以是各種能夠測量流體(氣體、液體)壓力，且能輸出電信號的壓力傳感器。
權利要求1.一種壓力式流體溫度傳感裝置，其組成是密封的內裝感溫流體的剛性溫包(1)、剛性溫包⑴經連接導管(11)與能輸出電信號的流體壓力傳感器⑶的感壓腔(5)連通。
2.根據權利要求1所述的壓力式流體溫度傳感裝置，其特徵在於，所述的連接導管 (11)的內徑為0. 5 2. Omm0
3.根據權利要求1所述的壓力式流體溫度傳感裝置，其特徵在於，所述流體壓力傳感器C3)為矽壓阻式流體壓力傳感器。
4.根據權利要求1所述的壓力式流體溫度傳感裝置，其特徵在於，所述的流體壓力傳感器C3)為矽電容式流體壓力傳感器。
專利摘要本實用新型公開了一種壓力式流體溫度傳感裝置，其組成是密封的內裝感溫流體的剛性溫包(1)、剛性溫包(1)經連接導管(11)與能輸出電信號的流體壓力傳感器(3)的感壓腔(5)連通。該種流體溫度傳感裝置抗電磁幹擾，適於易燃易爆流體的測量；且能輸出電信號、可與計算機或網絡連接，實現遠程監控。
文檔編號G01K5/46GK202182777SQ20112025153
公開日2012年4月4日 申請日期2011年7月16日 優先權日2011年7月16日
發明者林其斌, 陳向東 申請人:西南交通大學