基板缺陷檢知裝置的製作方法
2023-12-02 12:04:31 1
專利名稱：基板缺陷檢知裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種缺陷檢知裝置，特別是涉及一種適用於一基板，且當基板到達一基板檢測位置時，可通過位於上述基板角落處的檢知機構，檢知基板角落缺陷的缺陷檢知裝置。
背景技術：
在現有半導體或者薄膜電晶體液晶顯示器(Thin-Film Transistor LiquidCrystal Display，TFT-LCD)的製作工藝中，為了避免基板的汙染同時確保製作工藝中的潔淨度，進而提高最終產品的合格率，玻璃基板清洗程序便成為一極為重要的步驟。
其中，針對一種溼式基板清洗的程序，首先通過清洗溶液洗去玻璃基板表面的雜質，然後經過一機械手臂把基板置入一高速旋轉機臺中，由此將該基板上的殘留溶液旋幹，接著再取出乾淨的基板送入後段製作工藝。
在上述執行旋幹的過程中，一般旋轉機臺需與玻璃基板的四個角落相接觸，如此以避免基板在高速旋轉時脫落；然而，倘若在清洗的過程中，基板在角落處出現缺陷(如缺角、破損)，則在進行高速旋轉(約1200rpm/min)時，很有可能導致基板在旋轉機臺上脫落，進一步地基板將因高速旋轉而被甩裂並產生飛散的玻璃碎屑。
然而，由於玻璃碎屑的清理不易且也形成汙染，因此當上述情形發生時，往往需耗費大量的清理作業時間，又飛散的玻璃碎屑更經常會造成旋轉機臺的嚴重損壞；因此如何避免因基板缺陷造成製作工藝中的損壞，以及實時地檢測出基板的缺陷實為生產製作工藝中的一重要課題。
針對上述現有的缺點，尤其當發生基板被甩裂的狀況時，往往很難通過已無法識別的碎片，判斷出是基板的哪一個角落的缺陷所造成，因而也無法迅速地找出基板碎裂的原因；有鑑於此，若能在將基板送入該高速旋轉機臺前，甚至在執行每一道製作工藝前能先行檢測出基板是否具有缺陷，則可大大地減少因基板缺陷所造成的損壞。
發明內容
本發明的主要目的在於提供一種適用於一基板的缺陷檢知裝置，可檢測基板於四個角落處的缺陷。
本發明的目的是這樣實現的，即提供一種缺陷檢知裝置，適用於一基板，包括一本體；一限制部，設置於該本體上，使該基板靜止於一基板檢測位置；至少一檢知機構，設置於該本體內，當該基板位於一基板檢測位置時，該檢知機構位於該基板的角落處，以及該檢知機構包括一光傳感器，設置於該檢知機構內，當該基板位於該基板檢測位置時，該檢知機構通過該光傳感器檢知該基板角落的缺陷。
其中，上述缺陷檢知裝置還設有多個滾輪，該基板可通過該各滾輪滾動而移動至該基板檢測位置。
又，該檢知機構還包括一連杆以及一樞軸，該連杆可沿該樞軸旋轉；其中，該連杆的一端設有一滾輪，當該基板移動至該基板檢測位置時，該基板與該滾輪接觸。
此外，上述光傳感器可發出一光線，當該基板非位於基板檢測位置時，該連杆遮斷該光線；當該基板位於該基板檢測位置時，該連杆不會遮斷該光線；由此可判斷該基板角落處是否具有缺陷。
當基板到達上述基板檢測位置時，通過設置於基板角落處的檢知機構，本發明可以實時地檢測出玻璃基板的角落處是否有缺陷或破裂，若檢測有缺陷則發出警報並停止將該基板送入旋轉機臺中；如此，可防止玻璃基板在旋轉時因角落的缺陷而造成基板脫落甚至甩裂，進一步地可避免高速旋轉機臺的損壞、提高生產效率並確保製作工藝中的安全。
圖1為本發明的缺陷檢知裝置的示意圖；圖2為本發明的缺陷檢知裝置的上視圖；圖3為本發明在基板未到達基板檢測位置時的側視圖；圖4為本發明在基板位於基板檢測位置時的側視圖。
具體實施例方式
首先請參閱圖1，該圖表示本發明的缺陷檢知裝置1的示意圖。如前所述，在將基板2送入前述的高速旋轉基臺前，可通過本發明的缺陷檢知裝置1，預先對基板2實施一檢測的動作。
如圖1所示，本發明的缺陷檢知裝置1包括一本體10，其中在該本體10穿設有多個滾動軸11，又該各滾動軸11上設有多個滾輪12。
此外，該各滾動軸11另連接一馬達(未圖示)，通過馬達可驅動滾動軸11以及滾輪12轉動，由此可將置於該滾輪12上的基板2，運送至該缺陷檢知裝置1的上方(請參閱圖1箭頭所示)。
其中，在本體10的邊緣設置有限制部13，當基板2經滾輪12驅使而移動至缺陷檢知裝置1上方時，通過限制部13與基板2的前緣抵接，可使得基板2停止運動，並靜止於一基板檢測位置2』。
再請參閱圖2，該圖表示本發明的缺陷檢知裝置1的上視圖。如圖所示，在本體10內設置有四個檢知機構14，當基板2移動至基板檢測位置2』時，上述檢知機構14分別位於基板2的四個角落處；如此，當基板2移動至上述基板檢測位置2』時，位於基板2角落處的四個檢知機構14可直接對基板2實施檢測，同時以判斷該基板2的四個角落處是否具有缺陷或破裂的情形。
接著請同時參閱圖3以及圖4，如圖所示，前述的檢知機構14包括一中空的本體140，又本體140內設有一樞軸143；其中，一連杆142通過樞軸143樞接於本體140內，以及連杆142的一端設有一可自由轉動的滾輪141。
此外，該檢知機構14內部尚設有一光傳感器144，內合有一可發射光線(垂直紙面方向)的光發射組件以及光接收組件(未圖標)，通過上述的光傳感器144所發出的光線，可判斷該基板角落是否具有缺陷。
如圖3所示，在執行基板缺陷的檢測前，首先基板2可通過一馬達驅動的滾輪12帶動，而向該圖中的右方移動(如箭頭所示)，然而在未到達上述的基板檢測位置2』時，該滾輪141並未與該基板2接觸，又此時該連杆142呈一垂直姿態；其中，當該連杆142呈一垂直姿態時，該連杆142的下端將遮斷上述光線。
接著請參閱圖4，當該基板2如箭頭方向移動至上述的基板檢測位置2』時，即開始執行檢測的動作；假設該基板2為一良好且無缺陷的基板，則該基板2的前緣將與該連杆142上端的滾輪141相接觸，並隨著該基板2前進使得該連杆142呈一傾斜姿態；由於該連杆142呈上述的傾斜姿態，因此該連杆142的下端並未遮蔽上述光傳感器144所發出的光線(請參閱圖4所示)；此時，該光傳感器144因感知該基板2的角落，隨即發出一電壓信號，表示該基板2的角落處並未產生缺陷。
然而，當基板2位於上述的基板檢測位置2』，且該基板2的角落具有缺陷或破裂時，則該檢測動作雖啟動，但該基板2因為其角落處的缺陷，將使得該連杆142上方的滾輪141無法與該基板2相接觸；此時，該連杆142仍然保持一垂直姿態，且該光傳感器144將因上述感測光線被遮斷而產生一電壓信號，如此可檢知該基板2角落處具有缺陷，並提醒操作人員前來處理。
在本發明中，倘若於檢測時，位於基板2角落處的四個檢知機構14中，有任何一個未檢測到該基板2的角落，即判斷該基板2為一具有缺陷的基板；此時，與本發明的缺陷檢知裝置1連接的一警報系統(未圖標)，將發出一警報信號，提醒操作者或工程師檢測到具有缺陷的基板，並可及時地作適當處理。
通過上述的檢知機構14，本發明的缺陷檢知裝置1可在基板2做完溼式清洗後、以及在進行高速旋幹程序之前，預先檢知基板2的角落是否具有缺陷，如此可避免基板在進行高速旋轉時，基板2因角容具有缺陷產生脫落甚至甩出，進而造成基板與設備的損壞。
再者，本發明的缺陷檢知裝置1針對基板2的四個角落處實施檢測，當有任何一處檢測為具有缺陷時，則會發出一警報信號，由此可提醒操作人員實時地取出該具有缺陷的基板，可提高製作工藝上的效率與安全性。
又，本發明也可應用於前述半導體或者是薄膜電晶體液晶顯示器(Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)的各製作工藝中以及運送的輸送裝置上，由此可實時地進行對於基板或製作工藝中半成品的缺陷檢測，並可防止因上述角落缺陷而造成後段製作工藝中的損失。
綜上所述，本發明的特徵在於針對一基板2的四個角落設置檢知機構14，如此可以在製作工藝中檢知基板2是否在角落處具有缺陷，並及早發覺先前製作工藝的問題點以及造成基板缺陷的原因；另一方面，通過本發明可避免具有缺陷的基板流入後段製作工藝(如前述的高速旋轉機臺中)，進一步地可防止的設備損壞、提高生產效率並確保製作工藝中的安全。
雖然結合以上較佳實施例揭露了本發明，然而其並非用以限定本發明的範圍，任何本領域技術人員在不脫離本發明的精神和範圍內，可做一些更動與潤飾，因此本發明的保護範圍應以權利要求所界定的為準。
權利要求
1.一種缺陷檢知裝置，適用於一基板，包括一本體；一限制部，設置於該本體上，使該基板靜止於一基板檢測位置；至少一檢知機構，設置於該本體內，當該基板位於一基板檢測位置時，該檢知機構位於該基板的角落處，以及該檢知機構包括一光傳感器，設置於該檢知機構內，當該基板位於該基板檢測位置時，該檢知機構通過該光傳感器檢知該基板角落的缺陷。
2.如權利要求1所示的缺陷檢知裝置，其中該限制部與該基板抵接，使該基板靜止於該基板檢測位置。
3.如權利要求1所示的缺陷檢知裝置，還包括多個滾輪，該基板置於該滾輪上，並通過該各滾輪滾動而移至該基板檢測位置。
4.如權利要求1所示的缺陷檢知裝置，其中該限制部設置於該本體的邊緣。
5.如權利要求1所示的缺陷檢知裝置，其中該缺陷檢知裝置包括四個檢知機構，分別位於該基板檢測位置的四個角落。
6.如權利要求1所示的缺陷檢知裝置，其中該檢知機構還包括一連杆以及一樞軸，設置於該檢知機構內部，其中該連杆可沿該樞軸旋轉。
7.如權利要求6所示的缺陷檢知裝置，其中該連杆的一端設有一滾輪，當該基板移動至該基板檢測位置時，該滾輪與該基板接觸。
8.如權利要求6所示的缺陷檢知裝置，其中該光傳感器可發出一光線，當該連杆呈一垂直狀態時遮斷該光線，當該連杆呈一傾斜狀態時不會遮斷該光線。
全文摘要
本發明公開了一種缺陷檢知裝置，適用於一基板，包括一本體、一限制部以及一檢知機構。其中，限制部設置在該本體上，通過限制部與基板抵接，使基板位於一基板檢測位置。又，檢知機構設置於本體內，當基板到達前述基板檢測位置時，檢知機構位於基板的角落處，此時通過檢知機構可檢知該基板角落的缺陷。
文檔編號G01B11/00GK1512555SQ0215982
公開日2004年7月14日 申請日期2002年12月27日 優先權日2002年12月27日
發明者黃鉦琅, 陳殷緒, 韓家仁 申請人:友達光電股份有限公司