有機溶劑再生系統的製作方法
2023-12-06 16:28:06
專利名稱：有機溶劑再生系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種再生及循環利用碳酸酯(carbonate)類有機溶劑的有機溶劑再生系統，所述碳酸酯(carbonate)類有機溶劑用於去除製造平板顯示器用基板的過程中成形於基板上的感光薄膜。
背景技術：
一般情況下，用於平板顯示器(Flat Panel Display)、半導體晶板、液晶顯示器光掩膜玻璃等領域的基板，要經過光致抗蝕塗覆(Photoresist coatingP/R)、曝光(Expose)、顯影(Develop)、蝕刻(Etching)、剝離(Stripping)、清洗(Cleaning)、乾燥(Dry)等工藝流程進行處理。而剝離設備一般使用碳酸酯類溶劑作為剝離液，而且最好使用包含碳酸乙烯酯(Ethylene CarbonateEC)的溶劑。
即，在液晶顯示器製造工程中，將碳酸乙烯酯作為剝離劑，以去除光阻材料。
為此，特別需要對包含於碳酸乙烯酯等剝離液中的有機物進行分解，並對此進行再循環利用，但是目前還沒有有效的方法解決這一問題。
發明內容
本發明的目的是彌補上述不足，提供一種有機溶劑再生系統，以在製造平板顯示器用基板過程中，最大限度地提高包含於碳酸乙烯酯等剝離液中的有機物的分解能力。
為實現上述目的，本發明採取了如下技術方案。本發明有機溶劑再生系統包括可儲存有機溶劑、並設置有可使有機溶劑注入或排出的至少一個管道的第一儲液罐；結合於所述第一儲液罐，用於向儲存於所述第一儲液罐內的有機溶劑照射紫外線的紫外線照射器；連接於所述第一儲液罐，用於向所述第一儲液罐內部注入氧氣，使所述氧氣與所述紫外線發生反應，以分解有機物的氧氣注入器。
本發明還包括鄰接於所述第一儲液罐，通過管道與所述第一儲液罐連接，用於向第一儲液罐內注入或從第一儲液罐內排出有機溶劑，以臨時儲存有機溶劑的第二儲液罐。
所述管道上設置有閥門。
所述管道上設置有用於輸送有機溶劑的泵。
由於本發明能使包含於儲液罐內有機溶劑中的有機物與紫外線及氧氣(O2)發生反應而分解，從而可再生作為剝離劑的碳酸乙烯酯，並可再循環利用，進而降低了平板顯示器用基板的製造成本。
圖1是本發明實施例1的結構示意圖；圖2是本發明實施例2的結構示意圖。
具體實施例方式
下面結合附圖和實施例對本發明進行更為詳細的說明。
圖1是本發明有機溶劑再生系統實施例1的結構示意圖。如圖1所示，本發明有機溶劑再生系統，設置有可儲存有機溶劑的第一儲液罐1；設置於所述第一儲液罐1上部的紫外線照射器3；用於向所述第一儲液罐1供給氧氣(O2)的氧氣注入器5。
儲存於所述第一儲液罐1的剝離液為碳酸酯類溶劑，並優先使用碳酸乙烯酯(Ethylene CarbonateEC)。
所述的第一儲液罐1上連接有可使碳酸乙烯酯注入或排出的管道7、9。所述管道7、9用於輸送碳酸乙烯酯，即，將已在剝離工藝中被使用、並包含有機物的碳酸乙烯酯供應到第一儲液罐1，或者將通過紫外線的照射等過程而發生反應、從而去除掉有機物的碳酸乙烯酯排出，以使其能夠再次循環使用。
所述的管道7、9上分別設置有用於阻斷碳酸乙烯酯的注入和排出的閥門11、13。所述閥門11、13既可以通過電氣控制，也可通過手動控制，這些可根據設計要求自由選擇。
並且，所述的紫外線照射器3設置於所述第一儲液罐1的內側，並包括用於發出紫外線的紫外線燈3a。
所述的紫外線照射器3的作用是向儲存於第一儲液罐1中的碳酸乙烯酯照射紫外線，以分解包含於其中的有機物。因此，所述紫外線照射器3的結構並沒有特殊限制，只要能向碳酸乙烯酯照射紫外線即可採用。
另外，所述的第一儲液罐1的一側設置有氧氣注入器5，以向第一儲液罐1內部注入氧氣。所述氧氣注入器5通過管道連接於所述第一儲液罐1，用於向第一儲液罐1內部供給氧氣。
對所述氧氣注入器5的結構沒有特殊限制，只要能發生氧氣，並與儲存於第一儲液罐1內的碳酸乙烯酯混合，有助於去除有機物即可採用。
本發明中，所述的紫外線照射器3、氧氣注入器5和閥門11、13也可以通過其它控制器進行控制(未圖示)。採用這種方式，可以提高碳酸乙烯酯的再生處理效率。
如上所述，本發明中用於回收碳酸乙烯酯的回收裝置，通過管道7將碳酸乙烯酯溶液注入到所述的第一儲液罐1。並且，通過紫外線照射器3向所述碳酸乙烯酯照射紫外線。此外，在照射紫外線的同時，通過氧氣注入器5向儲存於所述第一儲液罐1的碳酸乙烯酯供給氧氣。
此時，由紫外線照射器3照射的紫外線(UV)與氧氣發生反應，轉化為不穩定的臭氧，而不穩定的臭氧形成氧自由基(oxygenradical)，與有機物發生反應，使有機物氧化斷鏈，從而得到可再循環利用的碳酸乙烯酯。其反應式如下所示
如上所述，本發明的碳酸乙烯酯與氧氣反應，在紫外線的作用下分解有機物，從而成為可再利用狀態。所述的碳酸乙烯酯通過管道9排出，可再用作剝離劑，從而可降低平板顯示器用基板的製造成本。
圖2是本發明實施例2的結構示意圖，用以說明有機溶劑再生系統。本發明的實施例2僅對不同於實施例1的部分進行了說明，對相同的部分不作重複說明。
如圖2所示，本發明有機溶劑再生系統包括用於儲存碳酸乙烯酯，並在紫外線的照射下分解有機物的第一儲液罐1(與實施例1中的編號相同)和與所述第一儲液罐1相隔一定距離而設置的第二儲液罐51。所述的第二儲液罐51，通過管道53、55連接於第一儲液罐1，用於臨時儲存碳酸乙烯酯。所述的管道53、55上設置有用以阻斷碳酸乙烯酯在第一儲液罐1和第二儲液罐51之間流通的閥門57、59。所述的閥門57、59可採用普通的閥門。為了便於說明，本發明圖示的是手動閥門。
用於連接所述的第一儲液罐1和第二儲液罐51的管道53、55上設置有用於輸送碳酸乙烯酯溶液的泵P。所述的泵P，可採用一般的泵。
本發明的實施例2中，所述第二儲液罐51上設置有可使碳酸乙烯酯注入或排出的管道7、9及閥門11、13。所述管道7、9及閥門11、13的功能與實施例1中的管道及閥門的功能相同。為了便於說明，採用了與實施例1相同的編號。
本發明的實施例2所採用的通過氧氣及紫外線分解包含於碳酸乙烯酯的有機物的結構及方法與實施例1相同。與實施例1比較，實施例2具有更多的實施方式。實施例2中，通過管道連接有第二儲液罐51，因而可減少由設備的安裝位置或場地大小所引起的影響。此外，與實施例1比較，實施例2中的第二儲液罐51可臨時儲存碳酸乙烯酯，起到緩衝罐的作用，因此可以連續再生處理碳酸乙烯酯。
權利要求
1.一種有機溶劑再生系統，其特徵在於它包括可儲存有機溶劑、並設置有可使有機溶劑注入或排出的至少一個管道的第一儲液罐；結合於所述第一儲液罐，用於向儲存於所述第一儲液罐內的有機溶劑照射紫外線的紫外線照射器；連接於所述第一儲液罐，用於向所述第一儲液罐內注入氧氣，使氧氣與所述紫外線發生反應，以分解有機物的氧氣注入器。
2.根據權利要求1所述的一種有機溶劑再生系統，其特徵在於它還包括鄰接於所述第一儲液罐，通過管道與所述第一儲液罐連接，用於向第一儲液罐內注入或從第一儲液罐內排出有機溶劑，以臨時儲存有機溶劑的第二儲液罐。
3.根據權利要求1或2所述的一種有機溶劑再生系統，其特徵在於所述管道上設置有閥門。
4.根據權利要求1或2所述的一種有機溶劑再生系統，其特徵在於所述管道上設置有用於輸送有機溶劑的泵。
全文摘要
本發明公開了一種可再生及循環利用碳酸酯(carbonate)類有機溶劑的有機溶劑再生系統，所述碳酸酯(carbonate)類有機溶劑用於去除製造平板顯示器用基板過程中成形於基板上的感光薄膜。本發明的有機溶劑再生系統包括可儲存有機溶劑、並設置有可使有機溶劑注入或排出的多個管道的第一儲液罐；結合於所述第一儲液罐，並用於向儲存於所述第一儲液罐內的有機溶劑照射紫外線的紫外線照射器；連接於所述第一儲液罐，並用於向所述第一儲液罐內部注入氧氣，使所述氧氣與所述紫外線發生反應，以分解有機物的氧氣注入器。
文檔編號G03F7/42GK1821885SQ20061000743
公開日2006年8月23日 申請日期2006年2月10日 優先權日2005年2月14日
發明者樸庸碩, 李碩周 申請人:顯示器生產服務株式會社