一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構的製作方法

2023-05-01 10:59:01 1

一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構的製作方法
【專利摘要】一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構，包括同軸殼體、磁密封部件、磁性傳動軸和軸承，所述磁密封部件設在磁性傳動軸的兩側，所述磁密封部件兩側的軸承用於固定磁性傳動軸和同軸殼體，所述磁性傳動軸兩側的同軸殼體腔體內各設有3～8組磁密封部件，所述相鄰兩磁密封部件內各設有中空的隔圈，所述磁性傳動軸內設有2～7個L型真空通道，所述真空通道一端連通磁性傳動軸大氣側的軸端出口，另一端連通隔圈的下端埠；此種結構使得磁性流體密封可在保持真空度的前提下，同時輸入2～7種工藝氣體，滿足CVD生產設備中需要在真空腔體中通入多種工藝氣體的需求。
【專利說明】一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種工程元件或部件的密封裝置，尤其是涉及一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構。
【背景技術】
[0002]磁性流體密封是利用在外加磁場作用下磁流體具有承受壓力差的能力而實現的密封，具有密封性能好、密封結構壽命長、可靠性高、傳輸相率高、傳遞速度高、無汙染等特性，在需要在真空腔體內導入工藝氣體、電流、冷卻介質等場合，常使用空心軸的磁性流體密封裝置，現有的真空CVD生產設備中需要在真空腔體中通入多種工藝氣體，並同時將動力傳入正空腔體中，單一的磁性流體密封裝置結構無法滿足此種需求。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的是為了提供一種可在保持真空度的前提下，根據傳動軸的大小可同時輸入2?7中工藝氣體的磁性流體密封裝置多氣體通道結構。
[0004]為了達到本實用新型的目的，技術方案如下:
[0005]一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構，包括同軸殼體、磁密封部件、磁性傳動軸和軸承，所述磁密封部件設在磁性傳動軸的兩側，所述磁密封部件兩側的軸承用於固定磁性傳動軸和同軸殼體，其特徵在於:所述磁性傳動軸兩側的同軸殼體腔體內各設有3?8組磁密封部件，所述相鄰兩磁密封部件內各設有中空的隔圈，所述磁性傳動軸內設有2?7個L型真空通道，所述真空通道一端連通磁性傳動軸大氣側的軸端出口，另一端連通隔圈的下端埠。
[0006]作為優選的技術方案:所述同軸殼體上設有與隔圈上端埠位置相貫通的真空接□。
[0007]作為優選的技術方案:還包括卡套管接頭，所述卡套管接頭與真空接口配合連接。
[0008]作為優選的技術方案:所述卡套管接頭的數量與真空通道的數量相同，所述卡套管接頭可根據外部配套設備要求與真空接口在任意位置配合連接。
[0009]本實用新型的有益效果為:此種結構使得磁性流體密封可在保持真空度的前提下，同時輸入2?7種工藝氣體，滿足CVD生產設備中需要在真空腔體中通入多種工藝氣體的需求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0011]圖中:10-同軸殼體、11-真空接口、20-磁密封部件、30-磁性傳動軸、31-軸端出口、40-軸承、50-隔圈、51-埠、60-真空通道、70-卡套管接頭。
【具體實施方式】[0012]下面結合實施例對本實用新型作進一步描述，但本實用新型的保護範圍不僅僅局限於實施例。
[0013]如圖1所示，一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構，包括同軸殼體10、磁密封部件20、磁性傳動軸30和軸承40，磁密封部件20設在磁性傳動軸30的兩側，磁密封部件20兩側的軸承40用於固定磁性傳動軸30和同軸殼體10，磁性傳動軸30兩側的同軸殼體10腔體內各設有3?8組磁密封部件20，相鄰兩磁密封部件20內各設有中空的隔圈50，磁性傳動軸30內設有2?7個L型真空通道60，真空通道60 —端連通磁性傳動軸30大氣側的軸端出口 31，另一端連通隔圈50的下端埠 51。
[0014]同軸殼體10上設有與隔圈50上端埠位置相貫通的真空接口 11 ;還包括卡套管接頭70，卡套管接頭70與真空接口 11配合連接；卡套管接頭70的數量與真空通道60的數量相同，卡套管接頭70可根據外部配套設備要求與真空接口 11在任意位置配合連接；此種結構使得磁性流體密封可在保持真空度的前提下，同時輸入2?7種工藝氣體，滿足CVD生產設備中需要在真空腔體中通入多種工藝氣體的需求，具有低速運轉、低負荷的特性。
[0015]最後應說明的是:以上實施例僅用以說明本實用新型而並非限制本實用新型所描述的技術方案，因此，儘管本說明書參照上述的各個實施例對本實用新型已進行了詳細的說明，但是，本領域的普通技術人員應當理解，仍然可以對本實用新型進行修改或等同替換，而一切不脫離本實用新型的精神和範圍的技術方案及其改進，其均應涵蓋在本實用新型的權利要求範圍中。
【權利要求】
1.一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構，包括同軸殼體(10)、磁密封部件(20)、磁性傳動軸(30 )和軸承(40 )，所述磁密封部件(20 )設在磁性傳動軸(30 )的兩側，所述磁密封部件(20)兩側的軸承(40)用於固定磁性傳動軸(30)和同軸殼體(10)，其特徵在於:所述磁性傳動軸(30)兩側的同軸殼體(10)腔體內各設有3?8組磁密封部件(20)，相鄰兩所述磁密封部件(20)內各設有中空的隔圈(50)，所述磁性傳動軸(30)內設有2?7個L型真空通道(60)，所述真空通道(60)—端連通磁性傳動軸(30)大氣側的軸端出口(31)，另一端連通隔圈(50)的下端埠(51)。
2.根據權利要求1所述的一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構，其特徵在於:所述同軸殼體(10)上設有與隔圈(50)上端埠位置相貫通的真空接口( 11 )。
3.根據權利要求1所述的一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構，其特徵在於:還包括卡套管接頭(70 )，所述卡套管接頭(70 )與真空接口( 11)配合連接。
4.根據權利要求3所述的一種磁性流體密封裝置多氣體通道結構，其特徵在於:所述卡套管接頭(70)的數量與真空通道(60)的數量相同，所述卡套管接頭(70)可根據外部配套設備要求與真空接口( 11)在任意位置配合連接。
【文檔編號】F16J15/43GK203796967SQ201420186157
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年4月17日 優先權日:2014年4月17日
【發明者】小林宏之 申請人:埃慕迪磁電科技(上海)有限公司